탄탈륨 카바이드 코팅

VeTek 반도체는 반도체 산업을 위한 탄탈륨 카바이드 코팅 재료의 선도적인 제조업체입니다. 당사의 주요 제품으로는 CVD 탄탈륨 카바이드 코팅 부품, SiC 결정 성장 또는 반도체 에피택시 공정용 소결 TaC 코팅 부품이 있습니다. ISO9001을 통과한 VeTek Semiconductor는 품질에 대한 통제력이 뛰어납니다. VeTek Semiconductor는 반복적인 기술의 지속적인 연구 및 개발을 통해 탄탈륨 카바이드 코팅 산업의 혁신자가 되기 위해 최선을 다하고 있습니다.

주요 제품은TaC 코팅 가이드 링, CVD TaC 코팅 세 꽃잎 가이드 링, 탄탈륨 카바이드 TaC 코팅 하프문, CVD TaC 코팅 유성 SiC 에피택셜 서셉터, 탄탈륨 카바이드 코팅 링, 탄탈륨 카바이드 코팅 다공성 흑연, TaC 코팅 회전 서셉터, 탄탈륨 카바이드 링, TaC 코팅 회전판, TaC 코팅 웨이퍼 서셉터, TaC 코팅 디플렉터 링, CVD TaC 코팅 커버, TaC 코팅척등, 순도는 5ppm 미만이며 고객 요구 사항을 충족할 수 있습니다.

TaC 코팅 흑연은 독점 화학 기상 증착(CVD) 공정을 통해 고순도 흑연 기판의 표면을 미세한 탄탈륨 탄화물 층으로 코팅하여 생성됩니다. 장점은 아래 그림에 나와 있습니다.

Excellent properties of TaC coating graphite

탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅은 최대 3880°C의 높은 융점, 우수한 기계적 강도, 경도 및 열충격에 대한 저항성으로 인해 주목을 받고 있으며, 더 높은 온도 요구 사항이 있는 화합물 반도체 에피택시 공정에 대한 매력적인 대안이 되고 있습니다. Aixtron MOCVD 시스템 및 LPE SiC 에피택시 공정과 같은 PVT 방식의 SiC 결정 성장 공정에도 폭넓게 적용됩니다.

주요 특징:

●온도 안정성

●초고순도

●H2, NH3, SiH4, Si에 대한 내성

●열 재고에 대한 저항

●흑연과의 강한 접착력

●컨포멀 코팅 적용 범위

● 직경 최대 750mm(중국 유일의 제조업체가 이 크기에 도달함)

응용:

●웨이퍼 캐리어

● 유도가열 서셉터

● 저항 발열체

●위성 디스크

●샤워 헤드

●가이드 링

●LED 에피 수신기

●분사노즐

●마스킹 링

● 열 차폐

미세한 단면에 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

VeTek Semiconductor 탄탈륨 카바이드 코팅의 매개변수:

TaC 코팅의 물리적 특성
밀도	14.3(g/cm3)
특정 방사율	0.3
열팽창계수	6.3 10^-6/케이
경도(홍콩)	2000홍콩
저항	1×10^-5옴*cm
열 안정성	<2500℃
흑연 크기 변화	-10~-20um
코팅 두께	≥20um 일반 값(35um±10um)

TaC 코팅 EDX 데이터：

EDX data of TaC coating

TaC 코팅 결정 구조 데이터:

요소	원자퍼센트
	백금. 1	백금. 2	백금. 3	평균
씨케이	52.10	57.41	52.37	53.96
그들을	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC 코팅척 TaC 코팅 유성디스크
TaC 코팅판 TaC 코팅 회전판 TaC 코팅수신기 CVD TaC 코팅 커버 CVD TaC 코팅링 TaC 코팅판

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SIC 단결정의 PVT 성장을위한 TAC 코팅 링

Vetek Semiconductor는 중국의 주요 TAC 코팅 제품 공급 업체 중 하나 인 고객에게 고품질 TAC 코팅 맞춤형 부품을 제공 할 수 있습니다. SIC 단결정의 PVT 성장을위한 TAC 코팅 링은 Vetek 반도체의 가장 뛰어난 성숙한 제품 중 하나입니다. SIC 결정 공정의 PVT 성장에서 중요한 역할을하며 고객이 고품질 SIC 결정을 성장시키는 데 도움이 될 수 있습니다. 귀하의 문의를 기대합니다.

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CVD TAC 코팅 된 3-Petal Guide 링

Vetek Semiconductor는 수년간의 기술 개발을 경험했으며 CVD TAC 코팅의 주요 공정 기술을 마스터했습니다. CVD TAC 코팅 된 3- 페탈 가이드 링은 Vetek 반도체의 가장 성숙한 CVD TAC 코팅 제품 중 하나이며 PVT 방법에 의해 SIC 결정을 준비하는 데 중요한 구성 요소입니다. Vetek 반도체의 도움으로 SIC 결정 생산이 더 매끄럽고 효율적이라고 생각합니다.

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탄탈 룸 탄화물 코팅 고리

Vetek 반도체 탄탈 룸 카바이드 코팅 링은 반도체 산업, 특히 SIC 웨이퍼의 에칭에 없어서는 안될 구성 요소입니다. 흑연베이스와 TAC 코팅의 조합은 고온 및 화학적으로 공격적인 환경에서 우수한 성능을 보장합니다. 열정 안정성, 부식성 및 기계적 강도를 높이기 위해 탄탈륨 탄소 코팅 링은 반도체 제조업체가 생산 공정에서 정밀, 신뢰성 및 고품질 결과를 달성하도록 도와줍니다.

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TaC 코팅링

TaC Coating Ring은 반도체 공정에 사용하도록 설계된 고성능 부품으로, VeTek 반도체 TaC Coating Ring은 높은 열 안정성, 화학적 부식에 대한 저항성, 우수한 기계적 강도를 가지며, 특히 에칭 공정에서 SiC 웨이퍼를 고정 및 지지하는 데 사용됩니다. 고품질 웨이퍼를 얻기 위해서는 정밀한 제어와 내구성이 필수입니다. 우리는 귀하의 추가 상담을 기대하고 있습니다.

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TAC 코팅 도가니

Vetek Semiconductor의 TAC 코팅 Crucible은 중국의 전문 TAC 코팅 도가니 공급 업체 및 제조업체로서 우수한 열 전도성, 뛰어난 화학적 안정성 및 향상된 부식 저항성을 갖는 반도체의 단결정 성장 공정에서 돌이킬 수없는 역할을합니다. 추가 문의를 환영합니다.

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탄탈륨 카바이드 코팅 가이드 링

중국 최고의 TaC 코팅 가이드 링 공급업체 및 제조업체인 VeTek Semiconductor 탄탈륨 카바이드 코팅 가이드 링은 PVT(물리적 증기 수송) 방법에서 반응성 가스의 흐름을 안내하고 최적화하는 데 사용되는 중요한 구성 요소입니다. 가스 흐름의 분포와 속도를 조정하여 성장 영역에서 SiC 단결정의 균일한 증착을 촉진합니다. VeTek Semiconductor는 중국은 물론 전 세계적으로 TaC 코팅 가이드 링을 제조 및 공급하는 선두업체로서 귀하의 상담을 기대하고 있습니다.

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중국의 전문가 탄탈륨 카바이드 코팅 제조업체 및 공급 업체로서 우리는 자체 공장을 가지고 있습니다. 해당 지역의 특정 요구를 충족시키기 위해 맞춤형 서비스가 필요하거나 중국에서 만든 고급 및 내구성 탄탈륨 카바이드 코팅을 구매하려면 메시지를 남길 수 있습니다.