VeTek 반도체는 반도체 산업을 위한 탄탈륨 카바이드 코팅 재료의 선도적인 제조업체입니다. 당사의 주요 제품으로는 CVD 탄탈륨 카바이드 코팅 부품, SiC 결정 성장 또는 반도체 에피택시 공정을 위한 소결 TaC 코팅 부품이 있습니다. ISO9001을 통과한 VeTek Semiconductor는 품질에 대한 통제력이 뛰어납니다. VeTek Semiconductor는 반복적인 기술의 지속적인 연구 및 개발을 통해 탄탈륨 카바이드 코팅 산업의 혁신자가 되기 위해 최선을 다하고 있습니다.
주요 제품으로는 TaC 코팅 가이드 링, CVD TaC 코팅 세 꽃잎 가이드 링, 탄탈륨 카바이드 TaC 코팅 하프문, CVD TaC 코팅 유성 SiC 에피택시 서셉터, 탄탈륨 카바이드 코팅 링, 탄탈륨 카바이드 코팅 다공성 흑연, TaC 코팅 회전 서셉터, 탄탈륨 카바이드 링, TaC 코팅 회전 플레이트, TaC 코팅 웨이퍼 서셉터, TaC 코팅 등이 있습니다. Deflector Ring, CVD TaC Coating Cover, TaC Coated Chuck 등 순도 5ppm 이하로 고객 요구 사항을 충족할 수 있습니다.
TaC 코팅 흑연은 독점 화학 기상 증착(CVD) 공정을 통해 고순도 흑연 기판의 표면을 미세한 탄탈륨 탄화물 층으로 코팅하여 생성됩니다. 장점은 아래 그림에 나와 있습니다.
탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅은 최대 3880°C의 높은 융점, 우수한 기계적 강도, 경도 및 열충격에 대한 저항성으로 인해 주목을 받아 Aixtron MOCVD 시스템 및 LPE SiC 에피택시 공정과 같이 고온 요구 사항이 높은 화합물 반도체 에피택시 공정에 대한 매력적인 대안이 되었습니다. 또한 PVT 방식의 SiC 결정 성장 공정에도 폭넓게 적용됩니다.
주요 특징
● 최대 2500°C의 온도 안정성과 열충격에 대한 저항력이 뛰어납니다.
● 초고순도(<5ppm)와 흑연과의 강력한 접착력으로 파티클 발생을 최소화합니다.
● 열악한 공정 환경에서 H2, NH₃, SiH₄ 및 Si 증기에 대한 탁월한 내성.
● 최대 직경 750mm 크기의 컨포멀 코팅 적용 범위는 중국에서만 사용할 수 있습니다.
제품 사양
VeTek Semiconductor 탄탈륨 카바이드 코팅의 매개변수:
| TaC 코팅의 물리적 특성 |
| 밀도 |
14.3g/cm³ |
| 경도 |
2000홍콩 |
| 열팽창 |
6.3×10⁻⁶/K |
| 저항 |
1×10⁻⁵ 옴·cm |
| 열 안정성 |
<2500°C |
| 코팅 두께 |
≥20μm(일반 35±10μm) |
미세한 단면에 탄화물(TaC) 코팅:
TaC 코팅 EDX 데이터:
TaC 코팅 결정 구조 데이터:
| 요소 |
원자퍼센트 |
|
|
백금. 1 |
백금. 2 |
백금. 3 |
평균 |
| 씨케이 |
52.10
|
57.41
|
52.37
|
53.96
|
| 타엠 |
47.90
|
42.59
|
47.63
|
46.04
|
응용
VeTek은 반도체 공정의 다양한 요구 사항을 충족하기 위해 탄탈륨 카바이드 코팅 제품을 제공합니다. 다음 표에서는 이를 주요 응용 분야별로 분류하고 일반적인 구성 요소와 적용 가능한 프로세스를 나열합니다.
| 적용분야 |
대표적인 제품 |
애플리케이션 설명 |
| SiC 에피택시 |
CVD TaC 코팅 유성 서셉터,TaC 코팅 웨이퍼 서셉터,TaC 코팅 가이드 링
|
고온 SiC 에피택셜 공정(예: LPE 방법)에 적합하며 높은 열 안정성과 낮은 오염 인터페이스를 제공하여 필름 균일성을 보장합니다. |
| GaN/LED 에피택시(MOCVD) |
샤워헤드, 위성디스크, 마스킹링, 방열판, 분사노즐 |
Aixtron MOCVD 시스템에 적합하며 H2/NH3 부식에 강하고 입자 오염을 줄이고 LED 에피택시 수율을 향상시킵니다. |
| SiC 결정 성장(PVT 방법) |
TaC 코팅 다공성 흑연,TaC 코팅된 반달,가이드 링,씌우다,척
|
PVT SiC 잉곳 성장에 사용되며 최대 2500°C까지 견딜 수 있고 흑연 반응을 방지하며 결정 순도를 보장합니다. |
| 고온 가열 및 지지 부품 |
유도 가열 서셉터,저항 발열체, 웨이퍼 캐리어
|
유도 가열 또는 저항 가열 시스템에 적합하며 높은 경도와 열충격 저항성을 제공하고 부품 수명을 3~5배 연장합니다. |
보다 자세한 프로세스 매칭 솔루션은 다음을 참조하세요.실리콘 카바이드 에피택시관련 신청 페이지입니다.
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