VeTek 반도체는 반도체 산업을 위한 탄탈륨 카바이드 코팅 재료의 선도적인 제조업체입니다. 당사의 주요 제품으로는 CVD 탄탈륨 카바이드 코팅 부품, SiC 결정 성장 또는 반도체 에피택시 공정용 소결 TaC 코팅 부품이 있습니다. ISO9001을 통과한 VeTek Semiconductor는 품질에 대한 통제력이 뛰어납니다. VeTek Semiconductor는 반복적인 기술의 지속적인 연구 및 개발을 통해 탄탈륨 카바이드 코팅 산업의 혁신자가 되기 위해 최선을 다하고 있습니다.
주요 제품은TaC 코팅 가이드 링, CVD TaC 코팅 세 꽃잎 가이드 링, 탄탈륨 카바이드 TaC 코팅 하프문, CVD TaC 코팅 유성 SiC 에피택셜 서셉터, 탄탈륨 카바이드 코팅 링, 탄탈륨 카바이드 코팅 다공성 흑연, TaC 코팅 회전 서셉터, 탄탈륨 카바이드 링, TaC 코팅 회전판, TaC 코팅 웨이퍼 서셉터, TaC 코팅 디플렉터 링, CVD TaC 코팅 커버, TaC 코팅척등, 순도는 5ppm 미만이며 고객 요구 사항을 충족할 수 있습니다.
TaC 코팅 흑연은 독점 화학 기상 증착(CVD) 공정을 통해 고순도 흑연 기판의 표면을 미세한 탄탈륨 탄화물 층으로 코팅하여 생성됩니다. 장점은 아래 그림에 나와 있습니다.
탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅은 최대 3880°C의 높은 융점, 우수한 기계적 강도, 경도 및 열충격에 대한 저항성으로 인해 주목을 받고 있으며, 더 높은 온도 요구 사항이 있는 화합물 반도체 에피택시 공정에 대한 매력적인 대안이 되고 있습니다. Aixtron MOCVD 시스템 및 LPE SiC 에피택시 공정과 같은 PVT 방식의 SiC 결정 성장 공정에도 폭넓게 적용됩니다.
주요 특징:
●온도 안정성
●초고순도
●H2, NH3, SiH4, Si에 대한 내성
●열 재고에 대한 저항
●흑연과의 강한 접착력
●컨포멀 코팅 적용 범위
● 직경 최대 750mm(중국 유일의 제조업체가 이 크기에 도달함)
응용:
●웨이퍼 캐리어
● 유도가열 서셉터
● 저항 발열체
●위성 디스크
●샤워 헤드
●가이드 링
●LED 에피 수신기
●분사노즐
●마스킹 링
● 열 차폐
미세한 단면에 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅:
VeTek Semiconductor 탄탈륨 카바이드 코팅의 매개변수:
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TaC 코팅의 물리적 특성
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밀도
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14.3(g/cm3)
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특정 방사율
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0.3
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열팽창계수
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6.3 10-6/케이
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경도(홍콩)
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2000홍콩
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저항
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1×10-5옴*cm
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열 안정성
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<2500℃
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흑연 크기 변화
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-10~-20um
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코팅 두께
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≥20um 일반 값(35um±10um)
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TaC 코팅 EDX 데이터：
TaC 코팅 결정 구조 데이터:
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요소
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원자퍼센트
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백금. 1
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백금. 2
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백금. 3
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평균
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씨케이
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52.10
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57.41
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52.37
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53.96
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그들을
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47.90
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42.59
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47.63
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46.04
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