TAC 코팅 웨이퍼 감수기

Vetek 반도체 TAC 코팅 웨이퍼 감수기는 사용되는 핵심 구성 요소입니다.금속 유기 화학 증기 증착 (MOCVD)원자로반도체 에피 택셜 (EPI) 프로세스. 이 특수한 둥근베이스는 고품질 흑연으로 만들어지며 탁월한 열 및 화학적 특성으로 잘 알려진 탄탈 룸 카바이드 (TAC)로 코팅됩니다.

TAC 코팅의 주요 기능은 반도체 제조의 가혹한 조건 하에서 웨이퍼 감수체의 성능 및 내구성을 향상시키는 것입니다. 탄탈 룸 카바이드는 경도, 높은 융점 및 뛰어난 내마모성으로 유명하여 이상적인 보호 층으로 유명합니다. 이 코팅은 부식성 화학 반응 및 내에서 발생하는 기계적 응력으로부터 기초 흑연베이스를 보호합니다.MOCVD 반응기, 장비의 수명을 연장하고 신뢰성을 향상시킵니다.

반도체 재료의 에피 택셜 성장 동안, TAC 코팅 웨이퍼 감수기는 정확한 필름 증착을 보장함으로써 중요한 역할을한다. 고온과 가혹한 화학 환경에 대한 저항은 반도체 장치의 정확한 생산에 중요하므로 장비가 까다로운 공정 조건에서 안정적으로 작동 할 수 있습니다.

a의 조합흑연 코어그리고TAC 코팅감수체 전체에 걸쳐 균일 한 열 분포를 보장하며, 이는 MoCVD 공정 동안 성장한 반도체 층의 반복성 및 품질을 향상시키는 데 필수적이다. 이 고급 재료 설계는 내구성을 제공 할뿐만 아니라 고성능 전자 부품을위한 현대적인 반도체 제조의 엄격한 요구를 충족시킵니다.

Vetek Semiconductor는 TAC 코팅 웨이퍼 감수기의 주요 공급 업체 및 제조업체로서 반도체 산업을위한 고품질 기술 솔루션을 제공하기 위해 노력하고 있습니다. 우리는 신뢰할 수 있고 맞춤형 제품을 제공하는 중국에서 장기 신뢰할 수있는 파트너가되기를 기대합니다.

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