CVD 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅 서셉터

주요 특징

응용

일반적인 응용 분야는 다음과 같습니다.

• SiC 에피택셜 성장

• GaN MOCVD 에피택시

• AlN 에피택셜 성장

• 3세대 반도체 제조

• 고전력 전자 장치

• RF 장치

• 마이크로LED 생산

• 연구 및 파일럿 생산 시스템

호환 장비

호환되는 플랫폼은 다음과 같습니다.

• 액스트론

• LPE

• 비코

• AMEC

• 누플레어

• 맞춤형 CVD 및 MOCVD 반응기

또한 사용 가능:

• 웨이퍼 캐리어

• 유성 서셉터

• 배럴 서셉터

• 회전 디스크

• 반달 부품

• 커버 플레이트

• 흑연 어셈블리

• 맞춤형 열전계 구성요소

기술 사양

자주 묻는 질문

1. CVD TaC 코팅 서셉터란?

에피택셜 성장 중 웨이퍼 캐리어로 사용되는 조밀한 CVD TaC 코팅으로 보호되는 고순도 흑연 구성 요소입니다.

2. TaC coa를 사용하는 이유SiC 코팅 대신에?

TaC는 더 높은 온도 저항성, 우수한 화학적 안정성 및 더 긴 서비스 수명을 제공합니다.

3.TaC-c를 사용하는 반도체 공정오티드 서셉터?

SiC 에피택시, GaN MOCVD, AlN 에피택시 및 기타 고온 결정 성장 공정.

4. VETEK은 맞춤형 서셉터를 제조할 수 있나요?

예. 우리는 고객 도면 및 프로세스 요구 사항을 기반으로 맞춤형 설계를 제공합니다.

5. 어떤 리액터 브랜드가 지원되나요?

Aixtron, LPE, Veeco, AMEC, NuFlare 및 기타 주류 시스템.