PECVD 흑연 보트의 핵심 재료는 고순도 등방성 흑연 물질 (순도는 일반적으로 ≥99.999%)이며, 이는 전기 전도성, 열전도율 및 밀도를 갖는다. 일반적인 흑연 보트와 비교하여 PECVD 흑연 보트는 많은 물리적 및 화학적 특성 이점을 가지고 있으며 주로 반도체 및 태양 광 산업, 특히 PECVD 및 CVD 공정에서 사용됩니다.
이 블로그는 "어떻게 다공성 흑연이 실리콘 카바이드 결정 성장을 향상 시키는가?" 주제로서, 다공성 흑연 키 테이크 아웃, 반도체 기술에서 실리콘 카바이드의 역할, 다공성 흑연의 독특한 특성, 다공성 흑연이 PVT 공정, 다공성 흑연 물질의 혁신 및 기타 각도를 최적화하는 방법에 대해 자세히 논의합니다.
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