제품

반도체 석영

Vetek Semiconductor는 반도체 석영 제품을 전문으로하는 전문 제조업체로 광범위한 산업 경험과 강력한 기술 기능을 자랑합니다. 우리는 쿼츠로드, 석영 튜브, 석영 도가니 및 석영 보트를 포함한 고품질 및 고성능 반도체 석영을 고객에게 반도체 제조, 광전지 발전 및 광섬유 통신 등의 응용 분야 요구를 충족시키기 위해 고객에게 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다.



제품 장점 :



고순도: 당사의 반도체 석영 제품은 고급 쿼츠 모래를 원료로 사용하며, 엄격한 정제 및 가공 기술 후에 제품 순도는 99.99% 이상에 도달하여 불순물 함량이 매우 낮아 제품의 안정성과 신뢰성을 보장합니다.

높은 정밀도: 당사의 석영 제품에는 정확한 치수, 매끄러운 표면이 있으며 다양한 응용 프로그램 시나리오의 요구를 충족시키기 위해 고객 요구에 따라 사용자 정의 할 수 있습니다.

높은 내열 저항: 우리의 석영 제품은 우수한 내열성을 가지고 있으며 고온 환경에서 우수한 안정성을 유지할 수 있으며, 반도체 제조와 같은 고온 공정의 요구를 충족시킬 수 있습니다.

높은 전염: 우리의 석영 제품은 높은 투과율을 가지며 신호 전송 안정성 및 광전 전환 효율을 보장하기 위해 광섬유 통신 및 광전자 전력 생성과 같은 필드에서 사용될 수 있습니다.




반도체 제조에서의 제품 적용 :


1. 쿼츠로드 :

Quartz rod

웨이퍼 제조 : 실리콘 웨이퍼 제조의 원료로서, 드로잉 및 연마와 같은 공정을 통해 실리콘 웨이퍼로 가공됩니다.


2. 석영 튜브 :

Quartz tube

반도체 장비 : 확산 용광로, 에칭 기계, CVD 장비의 반응 챔버 등과 같은 반도체 장비의 구조적 재료로서


3. Quartz Crucible :

Quartz crucible

반도체 재료 성장 : 실리콘 단결정 및 사파이어 결정과 같은 반도체 재료를 재배하기위한 용기로 사용됩니다.


4. 쿼츠 보트 :

Quartz boat

반도체 장치 제조 : 확산, 어닐링 및 기타 공정과 같은 열 처리 된 반도체 장치 용 컨테이너로서.


5. 기타 석영 제품 :


석영 웨이퍼: 반도체 장치 제조에 사용되는 마스크.

석영 창: 반도체 장비 및 광학 기기의 관찰 창으로 사용됩니다.

석영 섬유: 복합 재료의 강도를 향상시키는 데 사용됩니다.





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고순도 석영 에칭 링

고순도 석영 에칭 링

건식 플라즈마 식각 챔버는 웨이퍼 주위의 정밀한 경계 제어에 의존하여 플라즈마 밀도, 가스 흐름 및 전기장 분포를 안정적으로 유지합니다. VeTek Semiconductor 고순도 석영 에칭 링은 수산화 융합 석영으로 만든 반도체 등급 챔버 구성 요소입니다. 웨이퍼 가장자리의 프로세스 영역을 정의하고, 플라즈마를 제한하고, 가스 흐름을 원활하게 하며, 웨이퍼 주변을 보호하여 2~12인치 실리콘, SiC, GaN 및 사파이어 웨이퍼 전반에 걸쳐 보다 균일한 식각 속도와 보다 깨끗한 프로파일을 지원합니다.
고순도 석영 웨이퍼 캐리어

고순도 석영 웨이퍼 캐리어

VeTek Semiconductor의 고순도 석영 웨이퍼 캐리어는 고온 열 처리, 박막 증착, 습식 공정 및 진공 응용 분야에서 안정적인 웨이퍼 처리를 위해 정밀하게 설계된 반도체 등급 고정 장치입니다. 반도체 등급 탈수산화 용융 석영(JGS2 등가)으로 제조된 이 웨이퍼 캐리어는 초고순도, 우수한 열충격 저항성, 화학적 불활성, 낮은 가스 방출 및 높은 평탄도를 제공하여 2~12인치 실리콘, SiC, GaN 및 사파이어 기판에 대한 안정적이고 오염 없는 지원을 보장합니다.
확산로용 석영로 튜브

확산로용 석영로 튜브

VeTek Semiconductor의 고순도 석영로 튜브는 반도체 열 처리 장비의 핵심 공정 챔버 구성 요소입니다. 반도체 등급 탈수산 용융 석영으로 제조된 이 튜브는 산화로, 확산로, 어닐링로 및 LPCVD 시스템에서 밀봉된 반응 공동 역할을 합니다. 이 제품은 탁월한 순도, 열 안정성 및 내화학성을 제공하여 4/6/8/12인치 웨이퍼 처리를 위한 균일한 온도 필드, 안정적인 가스 흐름 및 초저 오염을 보장합니다.
TEL용 고순도 석영 웨이퍼 보트

TEL용 고순도 석영 웨이퍼 보트

TEL 반도체 장비용 VETEK 고순도 석영 웨이퍼 보트는 반도체급 석영 소재로 제조되며 확산, 산화, 어닐링 및 CVD와 같은 고온 공정에서 웨이퍼 핸들링을 위해 설계되었습니다. 뛰어난 열 안정성, 내화학성, 낮은 오염 특성을 갖춘 이 제품은 반도체 제조 응용 분야에 안정적인 웨이퍼 지원을 제공합니다.
MOCVD용 고순도 불투명 석영 쉴드 및 셔터

MOCVD용 고순도 불투명 석영 쉴드 및 셔터

MOCVD의 고온 및 화학적 반응 환경, 반응 챔버 보호 및 공정 제어의 정밀도가 가장 중요합니다. VETEK은 반도체 장비 내에서 "클린룸" 및 "정밀 게이트" 역할을 하도록 특별히 설계된 프리미엄 불투명(유백색) 석영 부품을 제공합니다. 이러한 구성 요소는 열 복사를 관리하고 오염을 방지하기 위한 비용 효율적이면서 고성능 솔루션을 제공합니다.
AMAT 커버 탑 쿼츠 8인치 PCII

AMAT 커버 탑 쿼츠 8인치 PCII

AMAT Cover Top Quartz 8" PCII(0200-00218)는 Applied Materials Endura PVD 챔버용으로 설계된 고순도 석영 부품으로 탁월한 오염 제어, 플라즈마 안정성 및 연장된 서비스 수명을 제공합니다. 200mm 반도체 프로세스용으로 설계된 이 부품은 챔버 상단 영역에서 중요한 보호 및 절연 요소 역할을 하여 수율과 프로세스 일관성을 향상시키는 데 도움이 됩니다. Vetek Semiconductor는 신뢰할 수 있는 성능과 글로벌 공급을 통해 정밀 제조된 OEM 호환 석영 부품을 제공합니다. 우리는 귀하의 문의를 환영합니다.

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Veteksemicon offers semiconductor-grade quartz products made from ultra-pure raw materials, ideal for CVD, RTP, diffusion, and wafer cleaning processes.


With excellent thermal stability, optical clarity, and extremely low impurity levels, our quartz components are suitable for applications such as wafer boats, support rings, furnace tubes, and liners. Available for 150mm, 200mm, and 300mm wafer platforms, our quartz delivers exceptional dimensional precision and high thermal resistance. The low thermal expansion and minimal particle generation make it ideal for high-temperature environments like photolithography and advanced packaging.


Whether for thermal processing or optical exposure systems, Veteksemicon provides reliable, cleanroom-compatible quartz solutions engineered for performance.


To learn more, please visit Veteksemicon’s Semiconductor Quartz product page or contact us for technical specifications.


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