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TAC 코팅 행성 감수기
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TAC 코팅 행성 감수기

TAC 코팅 행성 감수체는 Aixtron 에피 택시 장비의 뛰어난 제품입니다. Vetek 반도체의 TAC 코팅은 우수한 고온 저항성과 화학적 불활성을 제공합니다. 이 독특한 조합은 까다로운 환경에서도 안정적인 성능과 긴 서비스 수명을 보장합니다. Vetek은 고품질 제품을 제공하고 경쟁력있는 가격을 가진 중국 시장에서 장기 파트너로 봉사하기 위해 노력하고 있습니다.

반도체 제조 영역에서, TAC 코팅 행성 감수체는 중요한 역할을한다. 그것은 Aixtron G5 시스템과 같은 장비에서 실리콘 카바이드 (SIC) 에피 택셜 층의 성장에 널리 사용됩니다. 또한, SIC 에피 택시를위한 탄탈 룸 카바이드 (TAC) 코팅 증착에서 외부 디스크로 사용될 때, TAC 코팅 행성 감수체는 필수지지 및 안정성을 제공한다. 그것은 탄탈 룸 카바이드 층의 균일 한 증착을 보장하여 우수한 표면 형태 및 원하는 필름 두께를 갖는 고품질 에피 택셜 층의 형성에 기여한다. TAC 코팅의 화학적 불활성은 원치 않는 반응과 오염을 방지하여 에피 택셜 층의 무결성을 유지하고 우수한 품질을 보장합니다.


TAC 코팅의 탁월한 열전도율은 효율적인 열 전달을 가능하게하여 균일 한 온도 분포를 촉진하고 에피축 성장 공정 동안 열 응력을 최소화합니다. 이로 인해 결정 학적 특성이 향상되고 전기 전도성이 향상된 고품질 SIC 에피 택셜 층의 생산을 초래합니다.


TAC 코팅 행성 디스크의 정확한 치수와 강력한 구조는 기존 시스템에 쉽게 통합하여 원활한 호환성과 효율적인 작동을 보장 할 수 있도록합니다. 신뢰할 수있는 성능과 고품질 TAC 코팅은 SIC 에피 택시 프로세스에서 일관되고 균일 한 결과에 기여합니다.


Sic Epitaxy의 탁월한 성능과 신뢰성을위한 Trust Vetek 반도체 및 TAC 코팅 행성 디스크. 우리의 혁신적인 솔루션의 장점을 경험하여 반도체 산업의 기술 발전의 최전선에서 당신을 배치하십시오.


TAC 코팅 및 SIC 코팅 예비 부품 Veteksemi 공급 :

TaC coating and SiC coating spare parts


TAC 코팅 행성 감수자의 제품 매개 변수 :

TAC 코팅의 물리적 특성
밀도 14.3 (g/cm³)
특정 방사율 0.3
열 팽창 계수 6.3*10-6/케이
경도 (HK) 2000 hk
저항 1 × 10-5옴*cm
열 안정성 <2500 ℃
흑연 크기 변화 -10 ~ -20UM
코팅 두께 ≥20UM 일반 값 (35um ± 10um)


반도체의 개요 칩 에피 택시 산업 체인:

Overview of the Semiconductor Chip Epitaxy Industry Chain


반도체TAC 코팅 행성 감수기생산 상점

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