TAC 코팅 받침대지지 판

Vetek Semiconductor는 주로 CVD TAC 코팅 감수기, 흡입 링, 웨이퍼 Chunck, TAC 코팅 홀더, TAC 코팅 받침대지지 판, 수년간의 경험을 가진 중국 제조업체 및 공급 업체입니다. 당신과 비즈니스 관계를 구축하기를 바랍니다.

TAC 세라믹은 최대 3880 ℃, 높은 경도 (MOHS 경도 9 ~ 10), 큰 열전도율 (22W · M^-1·케이^-1), 큰 굽힘 강도 (340 ~ 400mpa) 및 작은 열 팽창 계수 (6.6 × 10^-6K^-1), 우수한 열 화학적 안정성과 우수한 물리적 특성을 보여줍니다. 흑연 및 C/C 복합 재료와의 화학적 및 기계적 호환성이 우수하므로 TAC 코팅은 항공 우주 열 보호, 단결정 성장 및 반도체 산업에서 Aixtron, LPE EPI 반응기와 같은 에피 택셜 리액터에 널리 사용됩니다. 

TAC 코팅 된 흑연은 베어 스톤 잉크 또는 SIC 코팅 흑연보다 화학적 차단 저항성이 우수하며, 2200 ° 고온에서 안정적으로 사용될 수 있으며, 많은 금속 요소와 반응하지 않으며, 3 세대의 반도체 단결정 성장, 에피 택시 및 웨이퍼 에칭 장면의 최상의 성능 코팅 및 웨이퍼 에칭 장면은 온도의 고품질 정제 및 불순물 제제를 크게 향상시킬 수 있습니다. 웨이퍼. PVT 장비에서 MOCVD 장비 및 SIC 단결정에서 GAN 또는 ALN 단일 결정을 성장시키는 데 특히 적합하며, 성장한 단결정의 품질은 분명히 개선된다.