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TAC 코팅 플레이트
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TAC 코팅 플레이트

Vetek Semiconductor의 TAC 코팅 플레이트는 정밀도로 설계되고 완벽하게 설계된 실리콘 카바이드 (SIC) 단일 결정 성장 공정의 다양한 응용 분야에 맞게 조정되어 있습니다. TAC 코팅 플레이트의 정확한 치수와 강력한 구조는 존재하는 시스템에 쉽게 통합 할 수있게 해주겠습니다. 신뢰할 수있는 성능과 고품질 코팅은 SIC Crystal Growth Applications에서 일관되고 균일 한 결과에 기여합니다. 우리는 경쟁력있는 가격으로 양질의 제품을 제공하고 중국에서 장기적인 파트너가되기를 기대합니다.

최고의 TAC 코팅 플레이트 제조업체 및 공급 업체로서 Vetek 반도체 TAC 코팅 플레이트는의 주요 부분으로 작동합니다.반도체 에피 택시 반응기이는 탁월한 에피 택셜 층 수율 및 성장 효율을 돕고 제품 품질을 향상시킵니다. 공장에서 TAC 코팅 플레이트를 구입하도록 안심할 수 있습니다.


금속 유기 화학 증기 증착 (MOCVD)에 의한 제 3 주요 그룹 질화물 에피 택시 시트 (GAN)의 제조와 같은 가혹하고 가혹한 제조 환경을 갖는 새로운 반도체의 생산 및 화학 vapor 증착 (CVD)에 의한 SIC 에피축 성장 필름의 제조는 H와 같은 가스에 의한 SIC 에피축 성장 필름의 제조이다.2그리고 NH3고온 환경에서. 기존 성장 담체 또는 가스 채널의 표면에있는 SIC 및 BN 보호 층은 화학 반응에 관여하여 실패 할 수 있으며, 이는 결정 및 반도체와 같은 생성물의 품질에 악영향을 미칩니다. 


따라서, 결정, 반도체 및 기타 제품의 품질을 향상시키기위한 보호 층으로서 화학적 안정성과 내식성이 향상 된 재료를 찾아야한다. 탄탈 룸 카바이드는 강한 화학적 결합의 역할, 고온 화학적 안정성 및 부식 저항성이 SIC, BN 등보다 훨씬 높기 때문에 우수한 물리적 및 화학적 특성을 가지고 있습니다.


Vetek Semiconductor에는 고급 생산 장비와 완벽한 품질 관리 시스템, 엄격한 프로세스 제어가 있습니다.TAC 코팅성능의 일관성에 따라이 회사는 대규모 생산 능력을 보유하고 있으며, 대량의 공급으로 고객의 요구를 충족시키고, 각 제품의 품질을 안정적이고 신뢰할 수 있도록 완벽한 품질 모니터링 메커니즘.


미세한 단면에서 탄탈 룸 탄화물 코팅 :

Tantalum carbide coating on a microscopic cross-section


TAC 코팅 플레이트의 기본 제품 매개 변수 :

TAC 코팅의 물리적 특성
코팅 밀도 14.3 (g/cm³)
특정 방사율 0.3
열 팽창 계수 6.3*10-6/케이
TAC 코팅 경도 (HK) 2000 hk
저항 1 × 10-5 옴*cm
열 안정성 <2500 ℃
흑연 크기 변화 -10 ~ -20UM
코팅 두께 ≥20UM 일반 값 (35um ± 10um)


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