실리콘 에피택시

실리콘 에피택시, EPI, 에피택시, 에피택시란 단결정 실리콘 기판에 동일한 결정 방향과 다른 결정 두께를 갖는 결정층의 성장을 의미합니다. 반도체에 포함된 불순물에는 N형과 P형이 포함되어 있기 때문에 반도체 개별 부품 및 집적회로 제조에는 에피택셜 성장 기술이 필요합니다. 다양한 유형의 조합을 통해 반도체 장치는 다양한 기능을 발휘합니다.

실리콘 에피택시 성장 방법은 기상 에피택시, 액상 에피택시(LPE), 고체상 에피택시로 나눌 수 있으며, 격자 무결성을 충족시키기 위해 화학 기상 증착 성장 방법이 전 세계적으로 널리 사용되고 있습니다.

전형적인 실리콘 에피텍셜 장비는 이탈리아 회사인 LPE로 대표되며, 팬케이크 에피택셜 하이프노틱터, 배럴형 하이프노틱터, 반도체 하이프노틱, 웨이퍼 캐리어 등을 보유하고 있습니다. 원통형 에피택셜 하이펠렉터 반응챔버의 개략도는 다음과 같다. VeTek Semiconductor는 배럴 모양의 웨이퍼 에피텍셜 하이 펠렉터를 제공할 수 있습니다. SiC 코팅 HY 펠렉터의 품질은 매우 성숙합니다. SGL과 동등한 품질; 동시에 VeTek Semiconductor는 실리콘 에피택셜 반응 공동 석영 노즐, 석영 배플, 벨자 및 기타 완제품도 제공할 수 있습니다.

실리콘 에피택시를 위한 수직 에피택셜 서셉터:

Schematic diagram of Vertical Epitaxial Susceptor for Silicon Epitaxy

VeTek Semiconductor의 주요 수직 에피택셜 서셉터 제품

EPI용 SiC 코팅 흑연 배럴 서셉터 SiC 코팅 배럴 서셉터 CVD SiC 코팅 배럴 서셉터 LPE SI EPI 수용체 세트

실리콘 에피택시를 위한 수평 에피택셜 서셉터:

Schematic diagram of Horizontal Epitaxial Susceptor for Silicon Epitaxy

Vetek Semiconductor의 주요 수평 에피택셜 서셉터 제품

SiC 코팅 단결정 실리콘 에피텍셜 트레이 LPE PE2061S용 SiC 코팅 지원 흑연 회전 수신기

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SiC 코팅 단결정 실리콘 에피텍셜 트레이

SiC 코팅 단결정 실리콘 에피택셜 트레이는 단결정 실리콘 에피택셜 성장로의 중요한 액세서리로 오염을 최소화하고 안정적인 에피택셜 성장 환경을 보장합니다. VeTek Semiconductor의 SiC 코팅 단결정 실리콘 에피택셜 트레이는 매우 긴 서비스 수명을 가지며 다양한 맞춤 옵션을 제공합니다. VeTek Semiconductor는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.

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CVD SIC 코팅 배럴 감수기

Vetek 반도체 CVD SIC 코팅 배럴 감수자는 배럴 유형 에피 택셜 퍼니스의 핵심 구성 요소입니다. CVD SIC 코팅 배럴 감수자 감수자의 도움을 받아 에피 택셜 성장의 양과 품질이 크게 향상되었습니다. Vetek 반도체는 전문 제조업체이자 Sic Coated Barrel 감수자의 공급 업체이며 Sic Coated Barrel 감수자의 공급 업체입니다. 반도체는 반도체 산업에서 당신과 긴밀한 협력 관계를 구축하기를 기대합니다.

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흑연 회전 지원

고순도 흑연 회전 감수자는 질화 갈륨의 에피 택셜 성장 (MOCVD 공정)의 에피 택셜 성장에 중요한 역할을합니다. Vetek 반도체는 중국의 주요 흑연 회전 감수기 제조업체 및 공급 업체입니다. 우리는 반도체 산업의 요구 사항을 완전히 충족하는 고급 흑연 재료를 기반으로 한 많은 고급 흑연 제품을 개발했습니다. Vetek 반도체는 흑연 감수자 회전에서 파트너가되기를 기대합니다.

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CVD SIC 팬케이크 감수자

중국의 CVD SIC Pancake 감수자 제품의 주요 제조업체 및 혁신가로서. Vetek 반도체 CVD SIC 팬케이크 감수자는 반도체 장비를 위해 설계된 디스크 형 성분으로서 고온 에피 택셜 증착 동안 얇은 반도체 웨이퍼를 지원하는 핵심 요소입니다. Vetek Semiconductor는 고품질 SIC 팬케이크 감수체 제품을 제공하고 경쟁력있는 가격으로 중국의 장기 파트너가되기 위해 노력하고 있습니다.

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CVD SIC 코팅 배럴 감수기

Vetek Semiconductor는 중국의 CVD SIC 코팅 흑연 감수자의 주요 제조업체이자 혁신가입니다. 우리의 CVD SIC 코팅 배럴 감수자는 우수한 제품 특성으로 웨이퍼에서 반도체 재료의 에피 택셜 성장을 촉진하는 데 중요한 역할을합니다. 추가 상담에 오신 것을 환영합니다.

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EPI 지지자

EPI 감수자는 까다로운 Epitaxial 장비 응용 프로그램을 위해 설계되었습니다. 고순도 실리콘 카바이드 (SIC) 코팅 된 흑연 구조는 탁월한 내열, 일관된 에피 택셜 층 두께 및 저항을위한 균일 한 열 균일 성을 제공합니다. 우리는 당신과 협력하기를 고대합니다.

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중국의 전문가 실리콘 에피택시 제조업체 및 공급 업체로서 우리는 자체 공장을 가지고 있습니다. 해당 지역의 특정 요구를 충족시키기 위해 맞춤형 서비스가 필요하거나 중국에서 만든 고급 및 내구성 실리콘 에피택시을 구매하려면 메시지를 남길 수 있습니다.