실리콘 카바이드 세라믹

VeTek Semiconductor는 반도체 처리 분야의 혁신적인 파트너입니다. 광범위한 반도체급 실리콘 카바이드 세라믹 재료 조합, 부품 제조 역량 및 응용 엔지니어링 서비스 포트폴리오를 통해 당사는 귀사가 심각한 과제를 극복하도록 도울 수 있습니다. 엔지니어링 기술 실리콘 카바이드 세라믹은 탁월한 재료 성능으로 인해 반도체 산업에 널리 적용됩니다. VeTek Semiconductor의 초순수 탄화규소 세라믹은 반도체 제조 및 가공의 전체 주기에 걸쳐 자주 사용됩니다.

확산 및 LPCVD 공정

VeTek Semiconductor는 다음을 포함하여 배치 확산 및 LPCVD 요구 사항을 위해 특별히 설계된 엔지니어링 세라믹 부품을 제공합니다.

• 배플 및 홀더
• 주사기
• 라이너 및 프로세스 튜브
• 실리콘 카바이드 캔틸레버 패들
• 웨이퍼 보트 및 받침대

SiC 캔틸레버 패들 SiC 공정 튜브 실리콘 카바이드 프로세스 튜브 SiC 수직형 웨이퍼 보트 SiC 수평형 웨이퍼 보트 SiC 수평형 쿼어 웨이퍼 보트 SiC LPCVD 웨이퍼 보트 SiC 수평 플레이트 보트 SiC 세라믹 씰 링

에칭 공정 구성 요소

다음을 포함하여 엄격한 플라즈마 식각 공정을 위해 설계된 고순도 구성 요소를 사용하여 오염과 예정되지 않은 유지 관리를 최소화합니다.

초점 링

노즐

방패

샤워헤드

창문 / 뚜껑

기타 맞춤 구성요소

급속 열 처리 및 에피택셜 공정 구성 요소

VeTek Semiconductor는 반도체 산업의 고온 열 처리 응용 분야에 맞춰진 고급 소재 부품을 제공합니다. 이러한 응용 분야에는 RTP, Epi 공정, 확산, 산화 및 어닐링이 포함됩니다. 당사의 기술 세라믹은 열충격을 견디도록 설계되어 안정적이고 일관된 성능을 제공합니다. VeTek Semiconductor의 부품을 통해 반도체 제조업체는 효율적이고 고품질의 열 처리를 달성하여 반도체 생산의 전반적인 성공에 기여할 수 있습니다.

• 디퓨저

• 절연체

• 서셉터

• 기타 맞춤형 열 구성요소

재결정화된 탄화규소의 물리적 특성
재산	일반적인 값
작동 온도(°C)	1600°C(산소 포함), 1700°C(환원 환경)
SiC/SiC 함량	> 99.96%
Si / 자유 Si 함량	< 0.1%
부피 밀도	2.60-2.70g/cm3
겉보기 다공성	< 16%
압축강도	> 600MPa
냉간 굽힘 강도	80-90MPa(20°C)
뜨거운 굽힘 강도	90-100MPa(1400°C)
열팽창 @1500°C	4.7010-6/°C
열전도도 @1200°C	23 W/m•K
탄성률	240GPa
열충격 저항	매우 좋음

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SIC 캔틸레버 패들

Veteksemicon sic 캔틸레버 패들은 수평 확산 용광로 및 에피 택셜 반응기에서 웨이퍼 취급을 위해 설계된 고급 실리콘 카바이드지지 암입니다. 탁월한 열전도율, 부식 저항 및 기계적 강도를 통해이 패들은 까다로운 반도체 환경에서 안정성과 청결을 보장합니다. 맞춤형 크기로 제공되며 긴 서비스 수명에 최적화되었습니다.

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SIC 블록

Veteksemicon의 SIC 블록은 실리콘 및 사파이어 웨이퍼의 고효율 연삭 및 얇아 지도록 설계되었습니다. 우수한 열전도율 (≥120 W/M · K), 높은 열 충격 저항 및 우수한 내마모성 (MOHS ≥9)을 사용하면 공정 안정성을 향상시키고 공구 변화 주파수를 줄입니다. 120mm ~ 480mm 크기로 제공되며 다양한 생산 요구를 충족시키기 위해 맞춤형 옵션과 빠른 배송으로 제공됩니다.

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SIC 도자기 막

Veteksemicon sic ceramics 막은 무기 막의 유형이며 막 분리 기술에서 고체 막 물질에 속합니다. Sic 멤브레인은 2000 년 이상의 온도에서 발사됩니다. 입자의 표면은 매끄럽고 둥글다. 지지 계층과 각 층에는 닫힌 기공이나 채널이 없습니다. 그들은 일반적으로 기공 크기가 다른 3 개의 층으로 구성됩니다.

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다공성 sic 세라믹 플레이트

우리의 다공성 siC 세라믹 플레이트는 주요 구성 요소로서 실리콘 카바이드로 만든 다공성 세라믹 재료이며 특수 공정에 의해 처리된다. 그것들은 반도체 제조, 화학 증기 증착 (CVD) 및 기타 공정에서 필수 물질입니다.

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SIC 도자기 웨이퍼 보트

Vetek Semiconductor는 중국의 주요 SIC 도자기 웨이퍼 보트 공급 업체, 제조업체 및 공장입니다. 우리의 SIC Ceramics Wafer Boat는 태양 광, 전자 제품 및 반도체 산업을 수용하는 고급 웨이퍼 처리 프로세스의 중요한 구성 요소입니다. 귀하의 상담을 기대합니다.

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실리콘 카바이드 세라믹 웨이퍼 보트

VeTek Semiconductor는 다양한 반도체 공정 요구 사항을 충족하기 위해 수직/기둥 및 수평 구성의 고품질 웨이퍼 보트, 받침대 및 맞춤형 웨이퍼 캐리어를 전문적으로 제공합니다. 탄화규소 코팅 필름의 선두 제조업체이자 공급업체인 당사의 탄화규소 세라믹 웨이퍼 보트는 높은 비용 효율성과 우수한 품질로 유럽과 미국 시장에서 선호되며 고급 반도체 제조 공정에 널리 사용됩니다. VeTek Semiconductor는 글로벌 고객과 장기적이고 안정적인 협력 관계를 구축하기 위해 최선을 다하고 있으며 특히 중국에서 신뢰할 수 있는 반도체 공정 파트너가 되기를 희망합니다.

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중국의 전문가 실리콘 카바이드 세라믹 제조업체 및 공급 업체로서 우리는 자체 공장을 가지고 있습니다. 해당 지역의 특정 요구를 충족시키기 위해 맞춤형 서비스가 필요하거나 중국에서 만든 고급 및 내구성 실리콘 카바이드 세라믹을 구매하려면 메시지를 남길 수 있습니다.