TAC 코팅 서브

Vetek 반도체는 뛰어난 TAC 코팅을 통해 TAC 코팅 감수자를 제시합니다.이 감수자는 기존 시스템으로 원활하게 설계하는 수많은 이점을 제공합니다. Vetek 반도체의 TAC 코팅 감수자는 공동성 및 효율적인 작동을 보장합니다. 신뢰할 수있는 성능과 고품질 TAC 코팅은 SIC 에피 택시 프로세스에서 탁월한 결과를 지속적으로 제공합니다. 우리는 경쟁력있는 가격으로 고품질 제품을 제공하고 중국에서 장기적인 파트너가되기를 기대합니다.

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제품 설명

Three views of TaC coated susceptor

Vetek 반도체의 TAC 코팅 감수기 및TAC 코팅반지LPE 실리콘 카바이드 에피 택셜 성장 반응기에서 함께 작업하십시오.

● 고온 저항:TAC 코팅감수자는 우수한 고온 저항을 가지고 있으며, 최대 1500 ° C의 극한 온도를 견딜 수 있습니다.LPE 반응기. 이를 통해 장기 작업 중에 장비 및 부품이 변형되거나 손상되지 않도록합니다.

● 화학적 안정성: TAC 코팅 감수자는 부식성 실리콘 탄화물 성장 환경에서 예외적으로 잘 작동하여 부식성 화학 공격으로부터 반응기 구성 요소를 효과적으로 차폐하여 서비스 수명을 확장시킵니다.

● 열 안정성: TAC 코팅 감수기는 우수한 열 안정성을 가지며, 표면 형태와 거칠기를 유지하여 반응기 내의 온도 장의 균일 성을 보장하며, 이는 실리콘 탄화물 에피 택셜 층의 고품질 성장에 유리합니다.

● 오염 방지: 매끄러운 TAC 코팅 된 표면 및 우수한 TPD (온도 프로그래밍 된 탈착) 성능은 반응기 내부의 입자 및 불순물의 축적 및 흡착을 최소화하여 에피 택셜 층의 오염을 방지 할 수 있습니다.

요약하면, TAC 코팅 감수체 및 링은 LPE 실리콘 카바이드 에피 택셜 성장 반응기에서 중요한 보호 역할을하여 장비의 장기 안정적인 작동 및 에피 택셜 층의 고품질 성장을 보장합니다.

TAC 코팅 감수자의 제품 매개 변수 :

TAC 코팅의 물리적 특성
코팅 밀도	14.3 (g/cm³)
특정 방사율	0.3
열 팽창 계수	6.3 10^-6/케이
TAC 코팅 경도 (HK)	2000 hk
저항	1 × 10^-5옴*cm
열 안정성	<2500 ℃
흑연 크기 변화	-10 ~ -20UM
코팅 두께	≥20UM 일반 값 (35um ± 10um)