TAC 코팅 척

Vetek 반도체의 TAC 코팅 척은 SIC EPI 프로세스에서 뛰어난 결과를 달성하기위한 이상적인 솔루션입니다. 탄탈 럼 탄화물 코팅, 고온 저항성 및 화학적 불활성을 통해 우리의 제품을 사용하면 정밀하고 신뢰성을 갖춘 고품질의 결정을 생산할 수 있습니다.

Tac Tantalum 카바이드는 에피 택셜 장비의 내부 부분의 표면을 코팅하는 데 일반적으로 사용되는 재료입니다. 다음 특성이 있습니다.

● 우수한 고온 저항: 탄탈 룸 탄화물 코팅은 최대 2200 ° C의 온도를 견딜 수있어 에피 택셜 반응 챔버와 같은 고온 환경에서의 응용에 이상적입니다.

● 높은 경도: 탄탈 룸 카바이드의 경도는 약 2000 HK에 도달하며, 이는 일반적으로 사용되는 스테인레스 스틸 또는 알루미늄 합금보다 훨씬 단단하며, 이는 표면 마모를 효과적으로 방지 할 수 있습니다.

● 강한 화학적 안정성: 탄탈 룸 탄화물 코팅은 화학적 부식성 환경에서 잘 작동하며 에피 택셜 장비 구성 요소의 서비스 수명을 크게 확장 할 수 있습니다.

● 좋은 전기 전도성: 코팅 표면은 전기 전도성이 우수하며, 이는 정전기 방출 및 열 전도에 도움이됩니다.

이러한 특성으로 인해 TAC 탄탈 룸 카바이드 코팅은 내부 부싱, 반응 챔버 벽 및 에피 택셜 장비의 가열 요소와 같은 중요한 부품을 제조하는 데 이상적인 재료가됩니다. 이러한 구성 요소를 TAC로 코팅함으로써 에피 택셜 장비의 전반적인 성능 및 서비스 수명을 향상시킬 수 있습니다.

실리콘 카바이드 에피 택시의 경우, TAC 코팅 청크도 중요한 역할을 할 수 있습니다. 표면 코팅 매끄럽고 조밀하며 고품질 실리콘 카바이드 필름의 형성에 도움이됩니다. 동시에 TAC의 우수한 열전도율은 장비 내부 온도 분포의 균일 성을 향상시켜 에피 택셜 프로세스의 온도 제어 정확도를 향상시키고 궁극적으로 더 높은 품질을 달성하는 데 도움이 될 수 있습니다.실리콘 카바이드 에피 택셜층 성장.

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