정전기 척 (ESC)이란 무엇입니까?

정전기 척 (ESC, E-Chuck)으로도 알려진 정전기 척 (ESC)은 정전기 흡착의 원리를 사용하여 흡착 된 재료를 보유하고 고정시키는 고정물입니다. 진공 및 혈장 환경에 적합합니다. 주요 기능은 Ultra-를 흡수하는 것입니다.얇은 얇은 시트 (예 : 실리콘 웨이퍼)를 깨끗하게하고 흡착 된 재료를 좋은 평탄도로 유지하면 공정 동안 흡착 된 재료의 변형을 억제 할 수 있으며 흡착 물의 온도를 조정할 수 있습니다.

정전기 척 (ESC)은 정전기력을 사용하여 물체 (워크 피스)를 잡고, 누르고 픽업하는 특수 유형의 척입니다. 모든 재료는 육안으로 보이지 않는 긍정적 및 음전하를 가지고 있습니다. 재료가 ESC에 배치되고 ESC의 내부 전극에 바이폴라 전압이 적용될 때, ESC의 내부 전극의 극성과 일치하도록 재료 내에서 양전하가 이동합니다. ESC와 재료 사이 의이 매력을 정전기력이라고하며 척의 기본 원리이기도합니다.

제품 장점

넓은 작동 온도 범위 (-50 ~ 700 ℃)가 있습니다.

이 정전기 흡입 컵은 탁월한 강도, 열전도율 및 열 충격 저항을 특징으로하며 NGK의 독점 세라믹 부피 저항 제어를 통해 넓은 온도 범위에 적응할 수 있습니다.

높은 부식 저항

이 정전기 흡입 컵은 할로겐 가스에 대한 우수한 내식성을 가지고 있습니다.

저쪽 입자 처리

표면 처리 및 특수 세정을 통해 저자추 처리를 달성 할 수 있습니다.

고순도

순도가 99.9% 이상인 제품도 제공됩니다.

가열 기능

고정밀 가열 요소 임베딩 기술은 히터 기능과 통합 될 수 있으며 웨이퍼 온도는 ± 1%이내에 제어 할 수 있습니다.

냉각 기능

이 정전기 흡입 컵은 높은 열전도율 및 냉각 플레이트를 갖는 세라믹 플레이트를 결합하여 매우 높은 냉각 성능을 갖습니다.

무선 주파수 전극

벌크 금속 전극은 동시에 안정적인 웨이퍼 클램핑 및 무선 주파수 혈장 생성을 제공 할 수 있습니다.

PARAMETER

1.반도체 및 전자 제조 분야에서 : 반도체 및 전자 제조 공정에서, 정전기 흡입 컵은 얇고 깨지기 쉬운 실리콘 웨이퍼, 웨이퍼 등을 고정하고 처리하는 데 사용됩니다. 장점은 강력한 흡착력, 기계적 스트레스 및 단순한 작동에있어 생산 효율성 및 제품 품질을 효과적으로 향상시킵니다.

2. 유리 및 세라믹 산업 : 유리 및 세라믹의 절단, 연삭 및 취급 과정에서 정전기 흡입 컵은 취성 재료에 대한 비파괴적인 작업을 수행하여 제품 파손 속도를 줄일 수 있습니다.

3. 정밀 기계 및 광학 성분의 제조 : 정밀 기계 및 광학 성분의 경우, 정전기 흡입 컵은 가공 동안 변형 또는 긁힘을 방지 할 수 있습니다.

4. 자동화 된 생산 라인 : 자동화 된 생산 라인에서 정전기 흡입 컵은 부품의 위치, 취급 및 조립에 널리 사용되며 생산 라인의 자동화 정도 및 효율성을 향상시킵니다.