PECVD 흑연 보트는 무엇입니까?

ⅰ. PECVD 흑연 보트의 재료는 무엇입니까?

의 핵심 재료PECVD 흑연 보트(플라즈마 강화 화학 증기 증착 흑연 보트)는 고순도로 만들어졌습니다.등방성 흑연 물질(순도는 일반적으로 ≥99.999%), 특수 공정 (예 : 화학 증기 증착 CVD 또는 표면 코팅)에 의해 변형된다. 고급 흑연은 우수한 전기 전도도와 높은 열전도율 (80 ~ 150 w/m · k)으로 인해 PECVD 시스템에서 널리 사용됩니다. 이것고순도 흑연 물질고온 환경에서 우수한 구조적 안정성과 화학적 안정성을 유지할 수 있으며, 반응성 가스 및 혈장의 부식에 저항 할 수 있습니다.

ⅱ. 흑연 보트의 물리적 특성은 무엇입니까?

PECVD 흑연 보트의 물리적 특성에는 다음이 포함됩니다.

● 전기 전도성: 등방성 흑연은 우수한 전기 전도성을 가지며,이를 통해 PECVD 공정에서 전기 에너지를 효과적으로 관리하고 플라즈마의 생성 및 유지를 촉진 할 수 있습니다.

●  열전도율: 흑연의 높은 열 전도도 (약 80 ~ 150 w/m · k)는 PECVD 공정 동안 안정적인 온도 환경을 유지하고 박막의 균일 한 증착을 보장하는 데 도움이됩니다.

●  밀도: 상업용 다결정 흑연의 밀도는 1.30 g/cm³ ~ 1.88 g/cm³ 범위입니다. 밀도가 높을수록 물리적 및 기계적 특성이 더 좋으며 제품의 서비스 수명을 향상시킬 수 있습니다.

ⅲ. 일반 흑연 보트와 비교하여 PECVD 흑연 보트의 장점은 무엇입니까?

일반 흑연 보트와 비교하여 PECVD 흑연 보트에는 다음과 같은 장점이 있습니다.

ⅳ. Veteksemicon의 PecVD 흑연 보트를 선택하는 이유는 무엇입니까?

우리 모두 알다시피, Veteksemicon은 반도체 코팅 제품의 주요 제조업체이자 공급 업체이며흑연 제품중국에서. 우리의PECVD 흑연 보트주로 반도체 및 태양 광 산업, 특히 PECVD 및 CVD 공정에서 사용됩니다.

흑연 보트는 일반적으로 고온 및 플라즈마 환경에서 이러한 재료의 안전한 취급 및 운송을 보장하기 위해 실리콘 웨이퍼 또는 기타 재료를 운반하는 운송 업체로 사용됩니다. 예를 들어, 반도체 제조 공정에서 Veteksemicon의 PECVD 흑연 보트는 플라즈마 강화 화학 증기 증착 공정을 위해 설계되었습니다. 흑연 보트는 실리콘 질화물 (SINT) 패권 층 및 저 유전 상수 (저 -K) 필름을 증착하는 역할을한다.

태양 광 분야에서, PECVD 흑연 보트는 실리콘 기반의 박막 태양 전지 (예 : 비정질 실리콘 A-SI : H) 및 PERC 세포 복귀 패시베이션 층을 제조하는데 사용된다. Veteksemicon의 PECVD 흑연 보트는 실리콘 웨이퍼를 효과적으로 간격하고 균일 한 코팅 증착을 달성하기 위해 글로우 방전을 유도함으로써 코팅 공정을 최적화합니다.

더 중요한 것은 Veteksemicon은 맞춤형 제품 및 기술 서비스를 제공 할 수 있으며 실제 프로세스 요구 사항에 따라 다양한 사양의 흑연 보트 제품을 설계 및 제조 할 수 있습니다. Veteksemicon을 선택한다는 것은 반도체 및 태양 광 산업에서 강한 강점을 가진 업계 리더를 선택하는 것을 의미합니다. 우리는 당신의 장기 파트너가되기를 진심으로 기대합니다.