탄탈륨 카바이드 코팅

VeTek 반도체는 반도체 산업을 위한 탄탈륨 카바이드 코팅 재료의 선도적인 제조업체입니다. 당사의 주요 제품으로는 CVD 탄탈륨 카바이드 코팅 부품, SiC 결정 성장 또는 반도체 에피택시 공정용 소결 TaC 코팅 부품이 있습니다. ISO9001을 통과한 VeTek Semiconductor는 품질에 대한 통제력이 뛰어납니다. VeTek Semiconductor는 반복적인 기술의 지속적인 연구 및 개발을 통해 탄탈륨 카바이드 코팅 산업의 혁신자가 되기 위해 최선을 다하고 있습니다.

주요 제품은TaC 코팅 가이드 링, CVD TaC 코팅 세 꽃잎 가이드 링, 탄탈륨 카바이드 TaC 코팅 하프문, CVD TaC 코팅 유성 SiC 에피택셜 서셉터, 탄탈륨 카바이드 코팅 링, 탄탈륨 카바이드 코팅 다공성 흑연, TaC 코팅 회전 서셉터, 탄탈륨 카바이드 링, TaC 코팅 회전판, TaC 코팅 웨이퍼 서셉터, TaC 코팅 디플렉터 링, CVD TaC 코팅 커버, TaC 코팅척등, 순도는 5ppm 미만이며 고객 요구 사항을 충족할 수 있습니다.

TaC 코팅 흑연은 독점 화학 기상 증착(CVD) 공정을 통해 고순도 흑연 기판의 표면을 미세한 탄탈륨 탄화물 층으로 코팅하여 생성됩니다. 장점은 아래 그림에 나와 있습니다.

Excellent properties of TaC coating graphite

탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅은 최대 3880°C의 높은 융점, 우수한 기계적 강도, 경도 및 열충격에 대한 저항성으로 인해 주목을 받고 있으며, 더 높은 온도 요구 사항이 있는 화합물 반도체 에피택시 공정에 대한 매력적인 대안이 되고 있습니다. Aixtron MOCVD 시스템 및 LPE SiC 에피택시 공정과 같은 PVT 방식의 SiC 결정 성장 공정에도 폭넓게 적용됩니다.

주요 특징:

●온도 안정성

●초고순도

●H2, NH3, SiH4, Si에 대한 내성

●열 재고에 대한 저항

●흑연과의 강한 접착력

●컨포멀 코팅 적용 범위

● 직경 최대 750mm(중국 유일의 제조업체가 이 크기에 도달함)

응용:

●웨이퍼 캐리어

● 유도가열 서셉터

● 저항 발열체

●위성 디스크

●샤워 헤드

●가이드 링

●LED 에피 수신기

●분사노즐

●마스킹 링

● 열 차폐

미세한 단면에 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

VeTek Semiconductor 탄탈륨 카바이드 코팅의 매개변수:

TaC 코팅의 물리적 특성
밀도	14.3(g/cm3)
특정 방사율	0.3
열팽창계수	6.3 10^-6/케이
경도(홍콩)	2000홍콩
저항	1×10^-5옴*cm
열 안정성	<2500℃
흑연 크기 변화	-10~-20um
코팅 두께	≥20um 일반 값(35um±10um)

TaC 코팅 EDX 데이터：

EDX data of TaC coating

TaC 코팅 결정 구조 데이터:

요소	원자퍼센트
	백금. 1	백금. 2	백금. 3	평균
씨케이	52.10	57.41	52.37	53.96
그들을	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC 코팅척 TaC 코팅 유성디스크
TaC 코팅판 TaC 코팅 회전판 TaC 코팅수신기 CVD TaC 코팅 커버 CVD TaC 코팅링 TaC 코팅판

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탄탈륨 탄화물 코팅 된 다공성 흑연

탄탈륨 카바이드 코팅 다공성 흑연은 반도체 공정 공정, 특히 SIC 결정 성장 공정에서 없어서는 안 될 제품입니다. 지속적인 R&D 투자와 기술 업그레이드를 통해 VeTek Semiconductor의 TaC 코팅 다공성 흑연 제품 품질은 유럽과 미국 고객으로부터 높은 평가를 받았습니다. 추가 상담을 환영합니다.

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CVD TAC 코팅 행성 SIC 에피 택셜 감성기

CVD TaC 코팅 유성 SiC 에피택셜 서셉터는 MOCVD 유성 반응기의 핵심 구성 요소 중 하나입니다. CVD TaC 코팅 유성 SiC 에피택셜 서셉터를 통해 큰 디스크 궤도와 작은 디스크가 회전하며 수평 흐름 모델이 멀티 칩 장비로 확장되어 단일의 고품질 에피택시 파장 균일성 관리와 결함 최적화를 모두 갖습니다. -칩 기계 및 멀티 칩 기계의 생산 비용 이점. VeTek Semiconductor는 고객에게 고도로 맞춤화된 CVD TaC 코팅 유성 SiC 에피택셜 서셉터를 제공할 수 있습니다. Aixtron과 같은 유성 MOCVD 용광로를 만들고 싶다면 우리에게 오십시오!

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TAC 코팅 링

Vetek Semiconductor는 중국의 TAC 코팅 링 제품의 주요 제조업체 및 공급 업체로서 다양한 TAC 코팅 제품의 R & D 및 생산에 중점을두고 있습니다. TAC 코팅 제품의 주요 고객으로서 유럽 및 미국 제조업체는 코팅 제품에 높은 평가를 받았습니다. 추가 상담에 오신 것을 환영합니다.

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간 에피 택시 장의사

Vetek Semiconductor는 Gan Epitaxy 감수자의 세계적 수준의 제조업체이자 공급 업체 인 중국 회사입니다. 우리는 실리콘 카바이드 코팅 및 Gan 에피 택시 감수체와 같은 반도체 산업에서 오랫동안 일해 왔습니다. 우수한 제품과 유리한 가격을 제공 할 수 있습니다. Vetek 반도체는 장기 파트너가되기를 기대합니다.

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TAC 코팅 웨이퍼 감수기

Vetek 반도체 TAC 코팅 웨이퍼 감수기는 웨이퍼 품질 및 성능을 향상시키기 위해 실리콘 카바이드 에피 택셜 성장을 위해 탄탈 룸 탄화물로 코팅 된 흑연 트레이입니다. Vetek은 고급 코팅 기술과 내구성있는 솔루션으로 인해 선정되어 우수한 SIC 에피 택시 결과와 확장 된 감수자 수명을 보장하고 추가 문의를 환영합니다.

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TAC 코팅 가이드 링

Vetek 반도체 TAC 코팅 가이드 링은 중국의 TAC 코팅 가이드 링 제품의 주요 제조업체로서 MOCVD 장비의 중요한 구성 요소로, 에피 택셜 성장 중에 정확하고 안정적인 가스 전달을 보장하며 반도체 에피축 성장에서 없어서는 안될 재료입니다. 당사와 상담에 오신 것을 환영합니다.

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중국의 전문가 탄탈륨 카바이드 코팅 제조업체 및 공급 업체로서 우리는 자체 공장을 가지고 있습니다. 해당 지역의 특정 요구를 충족시키기 위해 맞춤형 서비스가 필요하거나 중국에서 만든 고급 및 내구성 탄탈륨 카바이드 코팅을 구매하려면 메시지를 남길 수 있습니다.