탄탈륨 카바이드 코팅

VETEK에서 생산하는 다공성 TaC 코팅 흑연 링은 경량의 다공성 흑연 기재를 사용하고 고순도 탄탈륨 카바이드 코팅으로 코팅되어 고온, 부식성 가스 및 플라즈마 침식에 대한 저항성이 우수합니다.

우리의 TAC 코팅 된 흑연 가이드 링은 반도체 웨이퍼 제조를위한 정밀 코어 구성 요소입니다. 이들은 내마모 및 화학적으로 불활성 탄탈 룸 (TAC) 코팅으로 코팅 된 고순도 흑연 기판을 특징으로한다. 에피 택셜 증착 및 혈장 에칭과 같은 까다로운 프로세스를 위해 설계된 정확한 웨이퍼 정렬 및 안정성을 보장하고, 오염을 효과적으로 제어하며, 구성 요소 수명을 크게 확장시킵니다. Veteksemicon은 장비 및 프로세스 요구 사항을 완벽하게 일치시키기 위해 사용자 정의 서비스를 제공합니다.

Vetek Semiconductor는 중국의 주요 TAC 코팅 제품 공급 업체 중 하나 인 고객에게 고품질 TAC 코팅 맞춤형 부품을 제공 할 수 있습니다. SIC 단결정의 PVT 성장을위한 TAC 코팅 링은 Vetek 반도체의 가장 뛰어난 성숙한 제품 중 하나입니다. SIC 결정 공정의 PVT 성장에서 중요한 역할을하며 고객이 고품질 SIC 결정을 성장시키는 데 도움이 될 수 있습니다. 귀하의 문의를 기대합니다.

Vetek Semiconductor는 수년간의 기술 개발을 경험했으며 CVD TAC 코팅의 주요 공정 기술을 마스터했습니다. CVD TAC 코팅 된 3- 페탈 가이드 링은 Vetek 반도체의 가장 성숙한 CVD TAC 코팅 제품 중 하나이며 PVT 방법에 의해 SIC 결정을 준비하는 데 중요한 구성 요소입니다. Vetek 반도체의 도움으로 SIC 결정 생산이 더 매끄럽고 효율적이라고 생각합니다.

Vetek 반도체 탄탈 룸 카바이드 코팅 링은 반도체 산업, 특히 SIC 웨이퍼의 에칭에 없어서는 안될 구성 요소입니다. 흑연베이스와 TAC 코팅의 조합은 고온 및 화학적으로 공격적인 환경에서 우수한 성능을 보장합니다. 열정 안정성, 부식성 및 기계적 강도를 높이기 위해 탄탈륨 탄소 코팅 링은 반도체 제조업체가 생산 공정에서 정밀, 신뢰성 및 고품질 결과를 달성하도록 도와줍니다.

TaC Coating Ring은 반도체 공정에 사용하도록 설계된 고성능 부품으로, VeTek 반도체 TaC Coating Ring은 높은 열 안정성, 화학적 부식에 대한 저항성, 우수한 기계적 강도를 가지며, 특히 에칭 공정에서 SiC 웨이퍼를 고정 및 지지하는 데 사용됩니다. 고품질 웨이퍼를 얻기 위해서는 정밀한 제어와 내구성이 필수입니다. 우리는 귀하의 추가 상담을 기대하고 있습니다.