최적화 및 대량생산

NPI(신제품 도입)에서 HVM(대량 제조)으로 원활하게 전환하는 데 있어 가장 큰 과제는 일관성입니다. 프로세스 잠금, SPC 통계적 프로세스 제어, 현장 반품 부품 심층 진단을 통해 1,000번째 제품이 첫 번째 샘플과 품질이 구별되지 않도록 보장합니다.

대량 생산 보증 시스템:

• 대용량 CVD 생산 능력 및 균일한 열장:여러 개의 대형, 다중 구역 고순도 CVD 반응기를 사용하면 대형 흑연 기판에 효율적으로 증착할 수 있어 배치 생산 중 열 및 유동장의 일관성이 매우 높아집니다.
• 엄격한 "정확한 복사" 제어:대량 생산 검증 후 흑연 원료 배치, CNC 가공 경로, CVD 반응 가스 순도, 퍼니스 온도 램프 곡선 및 챔버 압력이 고정되어 배치 간 변동이 최소화됩니다.
• SPC 통계적 공정 제어:대량 생산 중 필름 두께 분포, 표면 거칠기 및 저항률과 같은 중요한 측정 항목에 대한 전체 프로세스 모니터링을 통해 전체 데이터 추적성을 통해 핵심 매개변수를 안정적인 수렴으로 유도합니다.
• 현장 반품 부품에 대한 심층 진단:고객과 협력하여 극한의 작동 조건에서 반환된 부품에 대한 현미경 진단(SEM + 단면 분석)을 수행하고 국부적인 마모 및 응력 집중 지점을 정확하게 찾아냅니다.
• 구조 및 프로세스 레시피의 동적 미세 조정:실제 챔버 마모 데이터를 기반으로 부품 형상 및 증착 공정 매개변수를 역최적화하여 소스에서 후속 배치의 서비스 수명을 연장하고 선순환을 형성합니다.

실제 사례 및 고객 혜택(경험):

선도적인 TOPCon 광전지 제조업체:초기 도입 과정에서 흑연 보트 액세서리는 배치 간 필름 두께 변화(±15%)를 나타내어 코팅 균일성에 영향을 미쳤습니다. 우리는 전체 프로세스 SPC 모니터링을 시작하고 세 가지 중요한 프로세스 매개변수(증착 온도, 가스 유량, 챔버 압력)를 고정했습니다.3주 만에 막두께 균일성 편차가 ±15%에서 ±3% 이내로 줄어들었습니다.현재 이 라인은 200개 이상의 배치에 대해 안정적으로 공급되었으며 배치 합격률은 지속적으로 99.2% 이상을 유지하여 고객이 웨이퍼 파손률을 1.5%까지 줄이는 데 도움이 됩니다.

FAQ

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