다공성 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅 흑연 링

제품특징

• 핵심 장비:PVT 기술로 작동하는 SiC 단결정 성장로용입니다.
• 기본 응용 프로그램:3세대 반도체 SiC 결정 성장의 열장 시스템에 적합합니다.
• 고온 안정성:TaC 코팅은 초고온에서도 구조적 무결성을 유지하여 까다로운 열 환경에서 확장된 작동을 지원합니다.
• 부식 방지:조밀한 CVD TaC 층은 SiC 성장 중에 발생하는 실리콘 증기, 탄소 함유 가스 및 기타 부식성 종으로부터 흑연 기판을 보호합니다.
• 열장 성능:다공성 흑연 베이스는 열 분포와 증기 수송을 도와 안정적인 성장 조건을 유지하는 데 도움이 됩니다.
• 낮은 오염도:고순도 출발 물질과 조밀한 코팅은 불순물 방출과 입자 배출을 제한하여 결정 품질에 도움이 됩니다.
• 수명 연장:TaC 층은 내산화성, 표면 경도 및 고온에서의 전반적인 내구성을 향상시킵니다.
• 코팅 접착력:CVD 공정은 TaC 필름과 흑연 기판 사이에 강한 결합을 생성합니다.
• 맞춤 옵션:치수, 구조적 세부 사항 및 코팅 사양은 다양한 SiC 성장로 요구 사항에 맞게 조정될 수 있습니다.

기술 사양

응용

VETEK Porous TaC 코팅 흑연 링은 주로 다음 용도로 사용됩니다.

• PVT를 통한 SiC 단결정 성장
• 3세대 반도체 제조
• SiC 기판 생산
• 결정 성장로의 열장 시스템
• 고온 반도체 처리
• 고급 흑연 핫존 구성 요소

FAQ

1. 다공성 TaC 코팅 흑연 링이란 무엇입니까?

SiC 결정 성장로용 열장 부품입니다. 다공성 흑연 구조와 CVD TaC 코팅을 결합하여 열 관리 및 고온 부식 방지 기능을 제공합니다.

2. SiC 결정 성장에 TaC 코팅을 사용하는 이유는 무엇입니까?

TaC는 고온 안정성과 내화학성을 제공합니다. 실리콘 증기 공격으로부터 흑연을 보호하고 깨끗하고 안정적인 성장 환경을 유지하는 데 도움이 됩니다.

3. 다공성 흑연 구조는 무엇을 제공합니까?

다공성 설계는 용광로 내 열 분포 및 가스 수송을 지원하여 안정적인 SiC 결정 성장 조건에 기여합니다.

4. VETEK은 맞춤형 TaC 코팅 흑연 링을 생산할 수 있습니까?

예. VETEK은 치수, 기판 구성 및 코팅 매개변수를 포함한 고객 도면, 용광로 설계 및 프로세스 요구 사항을 기반으로 맞춤화를 제공합니다.