PECVD 흑연 보트의 핵심 재료는 고순도 등방성 흑연 물질 (순도는 일반적으로 ≥99.999%)이며, 이는 전기 전도성, 열전도율 및 밀도를 갖는다. 일반적인 흑연 보트와 비교하여 PECVD 흑연 보트는 많은 물리적 및 화학적 특성 이점을 가지고 있으며 주로 반도체 및 태양 광 산업, 특히 PECVD 및 CVD 공정에서 사용됩니다.
이 블로그는 "어떻게 다공성 흑연이 실리콘 카바이드 결정 성장을 향상 시키는가?" 주제로서, 다공성 흑연 키 테이크 아웃, 반도체 기술에서 실리콘 카바이드의 역할, 다공성 흑연의 독특한 특성, 다공성 흑연이 PVT 공정, 다공성 흑연 물질의 혁신 및 기타 각도를 최적화하는 방법에 대해 자세히 논의합니다.
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ASM용 SiC 코팅 흑연 서셉터는 에피택시 시스템 내부의 단순한 교체 부품이 아닙니다. 이는 열 균일성, 웨이퍼 청결도, 코팅 내구성, 챔버 안정성 및 장기 생산 비용에 영향을 미치는 공정에 중요한 캐리어입니다.
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CVD TaC 코팅 커버는 단순한 보호 뚜껑이나 코팅된 흑연 구성 요소가 아닙니다. 고온 반도체 공정에서는 챔버 청결도, 열 안정성, 부품 수명 및 공정 일관성에 영향을 미칠 수 있습니다.
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고온 응용 분야에서의 관련성과 함께 구조, 성능 특성 및 일반적인 응용 분야를 포함하여 CVD SiC 코팅이 반도체 공정에 어떻게 사용되는지 알아보세요.
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