CVD TaC 코팅 흑연 링

일반 제품 정보

제품 비즈니스 용어

애플리케이션: Veteksemicon CVD TaC Coated Ring은 특수 개발된 제품입니다.SiC 결정 성장 공정. 고온 반응 챔버 내의 주요 하중 지지 구성 요소인 고유한 TaC 코팅은 실리콘 증기 부식을 효과적으로 격리하고 불순물 오염을 방지하며 장기간 고온 환경에서 구조적 안정성을 보장하여 고품질 결정을 얻을 수 있는 신뢰성 있는 보증을 제공합니다.

제공할 수 있는 서비스: 고객 응용 시나리오 분석, 자료 매칭, 기술 문제 해결.

회사 프로필e：Veteksemicon에는 20년의 재료 경험과 R&D, 생산, 테스트 및 검증 능력을 갖춘 전문가 팀인 2개의 실험실이 있습니다.

나의 라이벌 CVD TaC 코팅 링은 첨단 반도체 재료, 특히 탄화규소의 고온 화학 기상 증착 및 결정 성장을 위해 설계된 핵심 소모품입니다. 우리는 독특하고 최적화된 화학 기상 증착 기술을 활용하여 조밀하고 균일한 증착을 수행합니다.탄탈륨 카바이드 코팅고순도 흑연 기판 위에. 뛰어난 내열성, 우수한 내식성 및 극도로 긴 사용 수명을 갖춘 이 제품은 결정 품질을 효과적으로 보호하고 전체 생산 비용을 크게 줄여 공정 안정성과 최고의 수율이 요구되는 공정에 필수적인 선택입니다.

기술적인 매개변수:

나의 라이벌 CVD TaC 코팅 링 핵심 장점

비교할 수 없는 순도와 안정성

온도가 2000°C를 초과하는 극한의 SiC 결정 성장 환경에서는 미량의 불순물이라도 전체 결정의 전기적 특성을 파괴할 수 있습니다. 우리의CVD TaC 코팅, 탁월한 순도로 링의 오염을 근본적으로 제거합니다. 또한 탁월한 고온 안정성은 장기간의 고온 및 열 순환 중에 코팅이 분해되거나 휘발되거나 공정 가스와 반응하지 않도록 보장하여 결정 성장을 위한 순수하고 안정적인 증기상 환경을 제공합니다.

부식성이 우수하고침식 저항

실리콘 증기에 의한 흑연의 부식은 전통적인 흑연 링의 파손 및 입자 오염의 주요 원인입니다. 실리콘과의 화학적 반응성이 극히 낮은 당사의 TaC 코팅은 실리콘 증기를 효과적으로 차단하여 하부 흑연 기판이 침식되는 것을 방지합니다. 이는 링 자체의 수명을 크게 연장할 뿐만 아니라, 더 중요하게는 기판 부식 및 파손으로 인해 생성된 입자상 물질을 크게 줄여 결정 성장 수율과 내부 품질을 직접적으로 향상시킵니다.

뛰어난 기계적 성능과 수명

CVD 공정으로 형성된 TaC 코팅은 밀도가 매우 높고 비커스 경도가 높아 마모 및 물리적 충격에 매우 강합니다. 실제 응용 분야에서 당사 제품은 기존 흑연 링이나 열분해 탄소/탄화 규소 코팅 링에 비해 서비스 수명을 3~8배 연장할 수 있습니다. 이는 교체를 위한 가동 중지 시간이 줄어들고 장비 활용도가 높아져 단결정 생산의 전체 비용이 크게 절감된다는 것을 의미합니다.

우수한 코팅 품질

코팅의 성능은 균일성과 결합 강도에 따라 크게 달라집니다. 당사의 최적화된 CVD 공정을 통해 가장 복잡한 링 형상에서도 매우 균일한 코팅 두께를 달성할 수 있습니다. 더 중요한 것은 코팅이 고순도 흑연 기판과 강력한 야금학적 결합을 형성하여 급속 가열 및 냉각 주기 동안 열팽창 계수의 차이로 인해 발생하는 박리, 균열 또는 박리를 효과적으로 방지하고 제품 수명 주기 전반에 걸쳐 지속적으로 신뢰할 수 있는 성능을 보장한다는 것입니다.

생태 사슬 검증 승인

나의 라이벌 CVD TaC Coated Ring의 생태학적 사슬 검증은 원자재부터 생산까지 포괄하며, 국제 표준 인증을 통과했으며, 반도체 및 신에너지 분야에서 신뢰성과 지속 가능성을 보장하기 위한 다수의 특허 기술을 보유하고 있습니다.

자세한 기술 사양, 백서 또는 샘플 테스트 준비를 원하시면기술 지원팀에 문의하세요나의 라이벌이 어떻게 프로세스 효율성을 향상시킬 수 있는지 알아보세요.