SiC 에피택시 공정

VeTek Semiconductor의 고유한 초경 코팅은 까다로운 반도체 및 복합 반도체 재료 처리를 위한 SiC 에피택시 공정에서 흑연 부품에 대한 탁월한 보호 기능을 제공합니다. 그 결과 흑연 구성 요소 수명이 연장되고, 반응 화학양론이 보존되고, 에피택시 및 결정 성장 응용 분야로 불순물 이동이 억제되어 수율과 품질이 향상됩니다.

당사의 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅은 뜨거운 암모니아, 수소, 실리콘 증기 및 용융 금속으로부터 고온(최대 2200°C)에서 중요한 용광로 및 반응기 구성 요소를 보호합니다. VeTek Semiconductor는 귀하의 맞춤형 요구 사항을 충족할 수 있는 광범위한 흑연 처리 및 측정 기능을 보유하고 있으므로 귀하와 귀하의 특정 응용 분야에 적합한 솔루션을 설계할 준비가 되어 있는 전문 엔지니어 팀과 함께 유료 코팅 또는 풀 서비스를 제공할 수 있습니다. .

화합물 반도체 결정

VeTek Semiconductor는 다양한 부품 및 캐리어에 특수 TaC 코팅을 제공할 수 있습니다. VeTek Semiconductor의 업계 선도적인 코팅 공정을 통해 TaC 코팅은 고순도, 고온 안정성 및 높은 내화학성을 얻을 수 있어 결정 TaC/GaN) 및 EPl 층의 제품 품질을 향상시키고 중요한 원자로 구성 요소의 수명을 연장할 수 있습니다.

단열재

도가니, 시드 홀더, 디플렉터 및 필터를 포함한 SiC, GaN 및 AlN 결정 성장 부품. 저항 가열 요소, 노즐, 차폐 링 및 브레이징 고정 장치를 포함한 산업용 어셈블리, 웨이퍼 캐리어, 위성 트레이, 샤워 헤드, 캡 및 받침대를 포함한 GaN 및 SiC 에피택셜 CVD 반응기 구성 요소, MOCVD 구성 요소.

목적:

● LED(Light Emitting Diode) 웨이퍼캐리어

● ALD(반도체) 수신기

● EPI 수용체(SiC 에피택시 공정)

CVD TaC 코팅 유성 SiC 에피택셜 서셉터 SiC 에피택셜 반응기용 TaC 코팅 링 TaC 코팅 세잎 반지 LPE용 탄탈륨 카바이드 코팅 하프문 부품

SiC 코팅과 TaC 코팅의 비교:

	SiC	TaC
주요 특징	초고순도, 우수한 내플라즈마성	우수한 고온 안정성(고온 공정 적합성)
청정	>99.9999%	>99.9999%
밀도(g/cm2³)	3.21	15
경도(kg/mm²)	2900-3300	6.7-7.2
비저항 [Ωcm]	0.1-15,000	<1
열전도율(W/m-K)	200-360	22
열팽창계수(10^-6/℃)	4.5-5	6.3
애플리케이션	반도체장비 세라믹지그(포커스링, 샤워헤드, 더미웨이퍼)	SiC 단결정성장, Epi, UV LED 장비부품

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CVD TAC 코팅 된 3-Petal Guide 링

Vetek Semiconductor는 수년간의 기술 개발을 경험했으며 CVD TAC 코팅의 주요 공정 기술을 마스터했습니다. CVD TAC 코팅 된 3- 페탈 가이드 링은 Vetek 반도체의 가장 성숙한 CVD TAC 코팅 제품 중 하나이며 PVT 방법에 의해 SIC 결정을 준비하는 데 중요한 구성 요소입니다. Vetek 반도체의 도움으로 SIC 결정 생산이 더 매끄럽고 효율적이라고 생각합니다.

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탄탈륨 탄화물 코팅 된 다공성 흑연

탄탈륨 카바이드 코팅 다공성 흑연은 반도체 공정 공정, 특히 SIC 결정 성장 공정에서 없어서는 안 될 제품입니다. 지속적인 R&D 투자와 기술 업그레이드를 통해 VeTek Semiconductor의 TaC 코팅 다공성 흑연 제품 품질은 유럽과 미국 고객으로부터 높은 평가를 받았습니다. 추가 상담을 환영합니다.

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CVD TAC 코팅 행성 SIC 에피 택셜 감성기

CVD TaC 코팅 유성 SiC 에피택셜 서셉터는 MOCVD 유성 반응기의 핵심 구성 요소 중 하나입니다. CVD TaC 코팅 유성 SiC 에피택셜 서셉터를 통해 큰 디스크 궤도와 작은 디스크가 회전하며 수평 흐름 모델이 멀티 칩 장비로 확장되어 단일의 고품질 에피택시 파장 균일성 관리와 결함 최적화를 모두 갖습니다. -칩 기계 및 멀티 칩 기계의 생산 비용 이점. VeTek Semiconductor는 고객에게 고도로 맞춤화된 CVD TaC 코팅 유성 SiC 에피택셜 서셉터를 제공할 수 있습니다. Aixtron과 같은 유성 MOCVD 용광로를 만들고 싶다면 우리에게 오십시오!

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간 에피 택시 장의사

Vetek Semiconductor는 Gan Epitaxy 감수자의 세계적 수준의 제조업체이자 공급 업체 인 중국 회사입니다. 우리는 실리콘 카바이드 코팅 및 Gan 에피 택시 감수체와 같은 반도체 산업에서 오랫동안 일해 왔습니다. 우수한 제품과 유리한 가격을 제공 할 수 있습니다. Vetek 반도체는 장기 파트너가되기를 기대합니다.

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TAC 코팅 웨이퍼 감수기

Vetek 반도체 TAC 코팅 웨이퍼 감수기는 웨이퍼 품질 및 성능을 향상시키기 위해 실리콘 카바이드 에피 택셜 성장을 위해 탄탈 룸 탄화물로 코팅 된 흑연 트레이입니다. Vetek은 고급 코팅 기술과 내구성있는 솔루션으로 인해 선정되어 우수한 SIC 에피 택시 결과와 확장 된 감수자 수명을 보장하고 추가 문의를 환영합니다.

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TAC 코팅 가이드 링

Vetek 반도체 TAC 코팅 가이드 링은 중국의 TAC 코팅 가이드 링 제품의 주요 제조업체로서 MOCVD 장비의 중요한 구성 요소로, 에피 택셜 성장 중에 정확하고 안정적인 가스 전달을 보장하며 반도체 에피축 성장에서 없어서는 안될 재료입니다. 당사와 상담에 오신 것을 환영합니다.

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중국의 전문가 SiC 에피택시 공정 제조업체 및 공급 업체로서 우리는 자체 공장을 가지고 있습니다. 해당 지역의 특정 요구를 충족시키기 위해 맞춤형 서비스가 필요하거나 중국에서 만든 고급 및 내구성 SiC 에피택시 공정을 구매하려면 메시지를 남길 수 있습니다.