탄탈륨 카바이드 코팅

VeTek 반도체는 반도체 산업을 위한 탄탈륨 카바이드 코팅 재료의 선도적인 제조업체입니다. 당사의 주요 제품으로는 CVD 탄탈륨 카바이드 코팅 부품, SiC 결정 성장 또는 반도체 에피택시 공정용 소결 TaC 코팅 부품이 있습니다. ISO9001을 통과한 VeTek Semiconductor는 품질에 대한 통제력이 뛰어납니다. VeTek Semiconductor는 반복적인 기술의 지속적인 연구 및 개발을 통해 탄탈륨 카바이드 코팅 산업의 혁신자가 되기 위해 최선을 다하고 있습니다.

주요 제품은TaC 코팅 가이드 링, CVD TaC 코팅 세 꽃잎 가이드 링, 탄탈륨 카바이드 TaC 코팅 하프문, CVD TaC 코팅 유성 SiC 에피택셜 서셉터, 탄탈륨 카바이드 코팅 링, 탄탈륨 카바이드 코팅 다공성 흑연, TaC 코팅 회전 서셉터, 탄탈륨 카바이드 링, TaC 코팅 회전판, TaC 코팅 웨이퍼 서셉터, TaC 코팅 디플렉터 링, CVD TaC 코팅 커버, TaC 코팅척등, 순도는 5ppm 미만이며 고객 요구 사항을 충족할 수 있습니다.

TaC 코팅 흑연은 독점 화학 기상 증착(CVD) 공정을 통해 고순도 흑연 기판의 표면을 미세한 탄탈륨 탄화물 층으로 코팅하여 생성됩니다. 장점은 아래 그림에 나와 있습니다.

Excellent properties of TaC coating graphite

탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅은 최대 3880°C의 높은 융점, 우수한 기계적 강도, 경도 및 열충격에 대한 저항성으로 인해 주목을 받고 있으며, 더 높은 온도 요구 사항이 있는 화합물 반도체 에피택시 공정에 대한 매력적인 대안이 되고 있습니다. Aixtron MOCVD 시스템 및 LPE SiC 에피택시 공정과 같은 PVT 방식의 SiC 결정 성장 공정에도 폭넓게 적용됩니다.

주요 특징:

●온도 안정성

●초고순도

●H2, NH3, SiH4, Si에 대한 내성

●열 재고에 대한 저항

●흑연과의 강한 접착력

●컨포멀 코팅 적용 범위

● 직경 최대 750mm(중국 유일의 제조업체가 이 크기에 도달함)

응용:

●웨이퍼 캐리어

● 유도가열 서셉터

● 저항 발열체

●위성 디스크

●샤워 헤드

●가이드 링

●LED 에피 수신기

●분사노즐

●마스킹 링

● 열 차폐

미세한 단면에 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

VeTek Semiconductor 탄탈륨 카바이드 코팅의 매개변수:

TaC 코팅의 물리적 특성
밀도	14.3(g/cm3)
특정 방사율	0.3
열팽창계수	6.3 10^-6/케이
경도(홍콩)	2000홍콩
저항	1×10^-5옴*cm
열 안정성	<2500℃
흑연 크기 변화	-10~-20um
코팅 두께	≥20um 일반 값(35um±10um)

TaC 코팅 EDX 데이터：

EDX data of TaC coating

TaC 코팅 결정 구조 데이터:

요소	원자퍼센트
	백금. 1	백금. 2	백금. 3	평균
씨케이	52.10	57.41	52.37	53.96
그들을	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC 코팅척 TaC 코팅 유성디스크
TaC 코팅판 TaC 코팅 회전판 TaC 코팅수신기 CVD TaC 코팅 커버 CVD TaC 코팅링 TaC 코팅판

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TAC 코팅 튜브

VeTek Semiconductor의 TaC 코팅 튜브는 탄화규소 단결정의 성공적인 성장을 위한 핵심 구성 요소입니다. 높은 내열성, 화학적 불활성 및 탁월한 성능을 통해 일관된 결과로 고품질 결정을 생산할 수 있습니다. PVT 방법 SiC 결정 성장 공정을 향상하고 우수한 결과를 얻으려면 당사의 혁신적인 솔루션을 믿으십시오. 문의해 주셔서 감사합니다.

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TAC 코팅 예비 부품

TAC 코팅은 현재 실리콘 카바이드 단결정 성장 (PVT 방법), 에피 택시 디스크 (실리콘 카바이드 에피 택시, LED 에피 택시 포함)와 같은 공정에 주로 사용됩니다. TAC 코팅 플레이트의 우수한 장기 안정성과 결합 된 Veteksemicon의 TAC 코팅 플레이트는 TAC 코팅 부품의 벤치 마크가되었습니다. 우리는 당신이 우리의 장기 파트너가되기를 고대합니다.

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EPI 수신기의 간

SIC EPI 감수자의 GAN은 우수한 열전도율, 고온 처리 능력 및 화학적 안정성을 통해 반도체 처리에 중요한 역할을하며 GAN 에피 택셜 성장 공정의 고효율 및 재료 품질을 보장합니다. Vetek Semiconductor는 SIC EPI 감수자에 대한 GAN의 China Professional Manufacturer입니다. 우리는 귀하의 추가 상담을 진심으로 기대합니다.

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CVD TAC 코팅 캐리어

CVD TAC 코팅 캐리어는 주로 반도체 제조의 에피 택셜 공정을 위해 설계되었습니다. CVD TAC 코팅 캐리어의 초고 융점, 우수한 부식 저항 및 뛰어난 열 안정성은 반도체 에피 택셜 공정 에서이 제품의 필수 불가능 성을 결정합니다. 추가 문의를 환영합니다.

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TaC 코팅 흑연 수신기

Vetek 반도체의 TAC 코팅 흑연 감수자는 화학 증기 증착 (CVD) 방법을 사용하여 흑연 부품의 표면에서 탄탈 룸 카바이드 코팅을 준비합니다. 이 과정은 가장 성숙하며 최고의 코팅 특성을 가지고 있습니다. TAC 코팅 된 흑연 감수기는 흑연 성분의 서비스 수명을 연장하고 흑연 불순물의 이동을 억제하며 에피 택시의 품질을 보장 할 수 있습니다. 우리는 귀하의 문의를 기대하고 있습니다.

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TAC 코팅 서브

Vetek 반도체는 뛰어난 TAC 코팅을 통해 TAC 코팅 감수자를 제시합니다.이 감수자는 기존 시스템으로 원활하게 설계하는 수많은 이점을 제공합니다. Vetek 반도체의 TAC 코팅 감수자는 공동성 및 효율적인 작동을 보장합니다. 신뢰할 수있는 성능과 고품질 TAC 코팅은 SIC 에피 택시 프로세스에서 탁월한 결과를 지속적으로 제공합니다. 우리는 경쟁력있는 가격으로 고품질 제품을 제공하고 중국에서 장기적인 파트너가되기를 기대합니다.

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중국의 전문가 탄탈륨 카바이드 코팅 제조업체 및 공급 업체로서 우리는 자체 공장을 가지고 있습니다. 해당 지역의 특정 요구를 충족시키기 위해 맞춤형 서비스가 필요하거나 중국에서 만든 고급 및 내구성 탄탈륨 카바이드 코팅을 구매하려면 메시지를 남길 수 있습니다.