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TAC 코팅 척
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TAC 코팅 척

고온 저항, 화학적 불활성 및 탁월한 성능으로 Vetek Semiconductor의 TAC 코팅 척은 반도체 용광로 용으로 설계되었습니다. 우리는 우리의 제품이 당신에게 고급 기술과 고품질 제품 솔루션을 제공 할 수 있다고 생각합니다.

Vetek Semiconductor는 전문가 리더 China TAC 코팅 척, TAC 코팅 튜브, TAC 코팅 홀더, TAC 코팅 흑연 트레이 제조업체입니다. 저희에게 연락하는 것에 오신 것을 환영합니다.

Vetek 반도체의 TAC 코팅 척은 반도체 제조에서 고성능 부품의 필수 부분입니다. 다음 주요 특성에 따라 다릅니다.


진공 청소기가 높습니다: TAC 코팅 척은 전체 가공주기에 걸쳐 높은 수준의 진공 완전성을 유지하여 결과적으로 아파트 싱 및 오염을 줄여 반도체 재료의 순도와 품질을 보장합니다.

고온 및 화학 저항: TAC 코팅은 매우 열적 및 화학적으로 내성이 있으며, 최대 2200 ° C의 온도에서 작동 할 수 있으며 수소, 암모니아 및 실리콘 증기와 같은 부식성 가스에 저항 할 수 있습니다.

확장 된 장비 수명: TAC 코팅 척은 마모 및 열 충격에 대한 우수한 저항으로 인해 장비 수명을 크게 연장하고 유지 보수의 필요성을 줄일 수 있습니다.

생산 효율성 향상: 오염을 줄이고 재료 순도를 개선함으로써 TAC 코팅 척은 생산 효율성과 제품 품질을 향상시키고 생산 비용을 줄이는 데 도움이됩니다.


또한, TAC 코팅 척은 우수한 다양성을 나타내며 광범위한 반도체 기판 크기 및 형상을 수용 할 수 있습니다. 맞춤형 설계를 통해 TAC 코팅 척은 기존 반도체 용광로 시스템에 원활하게 통합되어 다운 타임을 크게 줄이고 생산성을 극대화 할 수 있습니다. 이러한 유연성은 장비 호환성을 향상시킬뿐만 아니라 생산 공정의 연속성과 효율성을 보장하여 반도체 제조업체에게 신뢰할 수 있고 효율적인 솔루션을 제공합니다.

Vetek Semiconductor의 TAC 코팅 척의 성능 및 적응성 장점은 반도체 제조에서 필수적이고 중요한 구성 요소가됩니다.

TAC 코팅 척의 제품 매개 변수:

TAC 코팅의 물리적 특성
TAC 코팅 밀도
14.3 (g/cm³)
특정 방사율
0.3
열 팽창 계수 6.3*10-6/케이
TAC 코팅 경도 (HK)
2000 hk
저항
1 × 10-5옴*cm
열 안정성
<2500 ℃
흑연 크기 변화
-10 ~ -20UM
코팅 두께
≥20UM 일반 값 (35um ± 10um)


생산 상점:

VeTek Semiconductor Production Shop


반도체 칩 에피 택시 산업 체인의 개요:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain

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