TAC 코팅 회전 플레이트

Vetek 반도체의 TAC 코팅 회전 플레이트는 고순도 조성물, 5ppm 미만의 불순물 함량 및 조밀하고 균일 한 구조를 가지고 있으며, 이는 LPE EPI 시스템, Aixtron 시스템, Nuflare 시스템, Tel CVD 시스템, Veeco 시스템, TSI 시스템에 널리 사용됩니다.

● 우수한 기계적 특성 :

내마모성이 우수한 2300HV까지 코팅 경도.

코팅과 기판 사이의 접착력은 강하고 떨어지거나 껍질을 벗기는 것은 쉽지 않습니다.

코팅은 여전히 ​​고온에서 우수한 구조적 안정성을 유지할 수 있습니다.

●  우수한 부식 저항 :

TAC 재료 자체는 우수한 화학적 안정성과 부식 저항을 갖습니다.

Vetek 반도체의 코팅은 다양한 공격적인 가스 환경에서 잘 작동합니다.

장비의 내부 부품을 부식 손상으로부터 효과적으로 보호 할 수 있습니다.

● 높은 표면 마감 :

Vetek 반도체는 정확한 코팅 공정을 사용하여 원하는 마감 처리를 생성합니다.

낮은 표면 거칠기는 입자 축적 및 증착을 줄이는 데 도움이됩니다.

● 코팅 일관성이 좋습니다.

Vetek 반도체는 배치 간의 일관된 성능을 보장하기위한 음질 제어 시스템을 보유하고 있습니다.

코팅 두께는 균등하게 분포되어 있으며 명백한 국소 결함은 없습니다.

● 우수한 실제 응용 프로그램 성능 :

Vetek 반도체의 TAC 코팅은 국내외의 많은 잘 알려진 에피 택셜 장비 제조업체에서 널리 사용됩니다.

TAC 코팅 회전 플레이트의 제품 물리적 매개 변수 :

미세한 단면에서의 탄탈 럼 탄화물 코팅