중국 실리콘 질화물 공급 업체, 제조업체 및 공장 -Vetek

질화 실리콘

Vetek 반도체는 질화 실리콘 제조에 중점을두고 있으며 선임 전문가와 최고의 기술 인재로 구성된 연구 개발 팀을 보유하고 있습니다. 실리콘 질화물 세라믹은 일반 세라믹 재료의 경도, 내열, 내마모성 및 부식성의 장점을 가지고 있으며, 우수한 열 충격 저항, 고온 크리프 저항성, 우수한 자기 윤활 및 우수한 화학적 안정성의 장점을 가지고 있으며 새로운 에너지, 화학 산업, 공기 및 반도체 분야에서 널리 사용됩니다.

Vetek 반도체의 실리콘 질화물 재료는 두드러진 이점을 가지고 있습니다.

1. 우수한 화학적 안정성

실리콘 질화물 세라믹은 우수한 화학적 안정성을 가지며 다양한 강산, 알칼리 및 부식성 가스를 견딜 수 있습니다. 반도체 제조 공정에서 부식성 화학 물질을 다루어야하는 경우가 많기 때문에 실리콘 질화물 세라믹은 장기적인 안정적인 성능 보장을 제공 할 수 있습니다.

2. 우수한 기계적 특성

실리콘 질화물 세라믹은 경도가 높고 압축 강도 및 내마모성이 높으며 기계적 스트레스 및 표면 마모를 견딜 수 있으며 변형이나 파열이 쉬운 것이 아닙니다. 이 기계적 특성은 반도체 장비의 구조 및 공정 부품의 재료로 매우 적합합니다.

3. 고온 안정성

실리콘 질화물 세라믹은 고온 환경에서 안정성을 유지하고 부드럽거나 용해하기 쉽지 않으며 반도체 제조 공정에서 고온 가공 및 취급을 견딜 수 있습니다. 이를 통해 그리퍼, 반응 챔버 구성 요소 등과 같은 고온 공정 장비 제조에 사용할 수 있습니다.

4. 우수한 단열 특성

단열 특성은 반도체 장치 제조에서 중요합니다. 실리콘 질화물 세라믹은 좋은 절연 특성을 가지고 있으며, 이는 전류 누출 또는 전자기 간섭으로부터 회로 부품을 효과적으로 분리하고 보호하여 장치의 안정성과 신뢰성을 향상시키는 데 도움이 될 수 있습니다.

5. 열전도율 및 열전도도

실리콘 질화물 세라믹은 열전도율이 높고 장치에 의해 생성 된 열을 효과적으로 전도 및 소산하여 작동 공정에서 장치의 온도 안정성을 유지할 수 있습니다. 이는 반도체 장치의 고성능 작동에 중요합니다.

태양 광 및 반도체 산업에서 Vetek 반도체의 질화물 재료의 적용은 주로 다음을 포함합니다.

1. 정전기 척 및 에칭 챔버 구성 요소

실리콘 질화물 세라믹은 종종 우수한 화학적 안정성과 고온 저항성으로 인해 반도체 제조에서 정전기 척 및 에칭 챔버 성분을위한 재료로 사용됩니다. 정전기 척은 웨이퍼 또는 기판을 고정하고 안정화시키는 데 사용되는 반면, 에칭 챔버 구성 요소는 부식성 가스 및 고온 환경을 견딜 때 사용됩니다.

2. 가스 분포판 및 반사기

실리콘 질화물 세라믹은 또한 가스 분포판 및 반사기의 반도체 장비 제조에 사용됩니다. 가스 분포 플레이트는 반응 챔버에 반응성 또는 보호 가스를 균일하게 분포하는데, 반사기는 반응 챔버 내의 빛의 분포 및 반사를 최적화하여 반응 효율 및 균일 성을 향상시키는 데 사용된다.

3. 홀더 및 열 구성 요소

실리콘 질화물 세라믹은 종종 반도체 제조 장비의 홀더 및 열 관리 부품으로 사용됩니다. 이러한 구성 요소는 안정적인 장비 작동 및 장치 처리 정확도를 보장하기 위해 우수한 기계적 강도, 내마모성 및 열전도율을 가져야합니다.

4. 화학 기계적 연마 (CMP) 패드

실리콘 질화물 세라믹은 화학 기계적 연마 (CMP) 공정에서 패드 재료로 널리 사용됩니다. 그것은 평탄도와 내마모성이 우수하며, 반도체 웨이퍼 표면의 평평성과 정밀도를 보장하기 위해 연마 공정 동안 안정적인지지를 제공 할 수 있습니다.

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