다공성 sic

Vetek 반도체는 반도체 산업을위한 다공성 SIC 세라믹의 주요 제조업체입니다. ISO9001을 통과 한 Vetek 반도체는 품질을 잘 제어합니다. Vetek 반도체는 항상 다공성 SIC 세라믹 산업의 혁신가이자 리더가되기 위해 노력해 왔습니다.

다공성 sic 세라믹 디스크

다공성 SIC 세라믹은 고온에서 발사되고 내부에 상호 연결된 또는 닫힌 모공이 많은 세라믹 물질입니다. 그것은 2 ~ 100UM 범위의 기공 크기를 가진 미세 다공성 진공 흡입 컵이라고도합니다.

다공성 SIC 세라믹은 야금, 화학 산업, 환경 보호, 생물학, 반도체 및 기타 분야에서 널리 사용되었습니다. 다공성 SIC 세라믹은 발포 방법, 졸 겔 방법, 테이프 주조 방법, 고체 소결 방법 및 함침 열분해 방법에 의해 제조 될 수있다.

소결 방법에 의한 다공성 siC 세라믹의 준비

다공성의 함수로서 상이한 방법에 의해 제조 된 다공성 실리콘 카바이드 세라믹의 특성

반도체 웨이퍼 제조에서 다공성 SIC 세라믹 흡입 컵

Vetek 반도체의 다공성 SIC 세라믹은 반도체 생산에서 클램핑 및 웨이퍼를 운반하는 역할을합니다. 그들은 밀도가 높고 균일하고 강도가 높고 공기 투과성이 좋으며 흡착에서 균일합니다.

그들은 웨이퍼 들여 쓰기 및 칩 정전기 분해와 같은 많은 어려운 문제를 효과적으로 해결하고 매우 고품질 웨이퍼의 처리를 달성하는 데 도움이됩니다.

다공성 SIC 세라믹의 작업 다이어그램 :

다공성 SIC 세라믹의 작동 원리 : 실리콘 웨이퍼는 진공 흡착 원리에 의해 고정됩니다. 처리하는 동안, 다공성 SIC 세라믹의 작은 구멍은 실리콘 웨이퍼와 세라믹 표면 사이의 공기를 추출하여 실리콘 웨이퍼와 세라믹 표면이 저압에 있도록 실리콘 웨이퍼를 고정시킵니다.

가공 후, 혈장 수는 구멍 밖으로 흐르며 실리콘 웨이퍼가 세라믹 표면에 부착되는 것을 방지하고, 동시에 실리콘 웨이퍼와 세라믹 표면이 세척됩니다.

다공성 SIC 세라믹의 미세 구조

장점과 기능을 강조 표시합니다.

● 고온 저항

● 마모에 대한 저항

● 화학 저항

● 높은 기계적 강도

● 재생하기 쉽습니다

● 우수한 열 충격 저항

목	단위	다공성 sic 도자기
기공 직경	하나	10 ~ 30
밀도	G / CM3	1.2 ~ 1.3
표면 루그hness	하나	2.5 ~ 3
공기 흡수 값	KPA	-45
굽힘 강도	MPA	30
유전 상수	1MHz	33
열전도율	w/(m · k)	60 ~ 70

다공성 SIC 세라믹에 대한 몇 가지 높은 요구 사항이 있습니다.

1. 강한 진공 흡착

2. 평탄도는 매우 중요합니다. 그렇지 않으면 작동 중에 문제가 있습니다.

3. 변형과 금속 불순물이 없습니다

따라서, Vetek 반도체의 다공성 sic 세라믹의 공기 흡수 값은 -45kpa에 도달합니다. 동시에, 그들은 불순물을 제거하기 위해 공장을 떠나고 진공 백에 포장 된 전에 1.5 시간 동안 1200 ℃에서 강화됩니다.

다공성 SIC 세라믹은 웨이퍼 처리 기술, 전송 및 기타 링크에 널리 사용됩니다. 그들은 결합, 다이 싱, 장착, 연마 및 기타 링크에서 큰 성과를 거두었습니다.