Vetek Semiconductor는 중국 우시에서 열린 CSEAC 2026에 참가하여 첨단 CVD SiC 및 TaC 코팅, 흑연 부품, SiC 세라믹 및 기타 반도체 핵심 소재를 선보였습니다. 이번 행사는 글로벌 반도체 산업 전반에 걸쳐 고객 파트너십을 강화하고, 신기술을 논의하고, 협력 프로젝트를 발전시키고, 미래 기회를 모색할 수 있는 귀중한 기회를 제공했습니다.
VETEK Semiconductor는 CVD SiC 코팅, CVD TaC 코팅, 고체 SiC, 고순도 흑연 및 탄소 섬유, 석영 및 고급 세라믹, 반도체 웨이퍼를 포함한 6가지 주요 제품 범주를 전문으로 합니다. 당사의 제품은 에피택시, 에칭, 결정 성장과 같은 중요한 반도체 공정에 사용됩니다. 이중 R&D 플랫폼, 완전히 통합된 제조 시스템, 글로벌 공급 역량을 통해 우리는 국가 전문화되고 정교한 "작은 거인" 기업으로 인정받고 있습니다.
SiC 코팅 흑연 웨이퍼 캐리어는 GaN 및 LED 에피택시를 위한 MOCVD 시스템의 중요한 열적, 기계적 구성 요소입니다. 이 기술 문서에서는 캐리어 형상, 포켓 깊이, 평탄도, 흑연 특성 및 CVD SiC 코팅 조건이 웨이퍼 온도 분포, 에피택셜 균일성 및 공정 반복성에 어떻게 영향을 미치는지 설명합니다. 또한 열 균일성과 장치 수율, 일반적인 코팅 저하 메커니즘, 서비스 수명 고려 사항 및 맞춤형 또는 교체 MOCVD 웨이퍼 캐리어를 지정할 때 필요한 엔지니어링 데이터 간의 관계를 조사합니다.
SiC 코팅 흑연은 고순도 흑연의 기계 가공성과 열적 특성을 화학적으로 안정적인 CVD 실리콘 카바이드 공정 표면과 결합합니다. 이 기술 백서에서는 순수 흑연이 에피택시 반응기에서 화학적 상호 작용, 불순물 및 입자의 소스가 될 수 있는 이유, CVD SiC가 보다 안정적인 공정 경계를 생성하는 방법, 코팅 무결성, 기판 호환성, 기하학적 구조 및 열 동작을 함께 엔지니어링해야 하는 이유를 설명합니다. 또한 실리콘 및 SiC 에피택시의 다양한 요구 사항을 검토하고 반도체 응용 분야에 코팅된 서셉터를 지정하는 방법을 간략하게 설명합니다.
SiC 코팅 흑연 서셉터는 단순한 웨이퍼 홀더가 아닌 반도체 에피택시에서 중요한 열장 구성 요소입니다. 이 기술 문서에서는 서셉터 형상, 평탄도, 포켓 설계, 흑연 특성 및 CVD SiC 코팅 품질이 어떻게 함께 작용하여 웨이퍼 열 경계, 온도 분포 및 에피택시 균일성에 영향을 미치는지 설명합니다. 또한 일반적인 서셉터 고장 모드, 코팅 저하, 입자 위험 및 맞춤형 또는 교체 에피택시 서셉터를 지정할 때 필요한 주요 엔지니어링 매개변수를 검사합니다.
CVD 탄화규소 코팅은 제어된 기상 및 표면 반응을 통해 고순도 흑연에 조밀한 SiC 층을 증착하여 생성됩니다. 이 기사에서는 기판 준비, MTS 기반 CVD 성장, 핵 생성 및 물질 이동, 코팅 두께 및 균일성, SiC/흑연 인터페이스 응력, 일반적인 결함 및 반도체 등급 검사에 대해 설명합니다. 또한 에피택시와 MOCVD에 사용되는 서셉터와 웨이퍼 캐리어에 대해 공정 매개변수와 구성요소 기하학적 구조를 함께 설계해야 하는 이유도 보여줍니다.
실리콘 카바이드 코팅은 반도체 공정에 사용되는 고순도 흑연 부품에 적용되는 치밀한 CVD SiC 층입니다. 이 기사에서는 흑연이 SiC로 코팅되는 이유, CVD SiC가 형성되는 방법, 코팅 특성과 인터페이스 요소가 성능을 제어하는 방법, SiC 코팅 흑연이 실리콘 에피택시, SiC 에피택시 및 MOCVD를 지원하는 방법에 대해 설명합니다. 또한 서셉터, 웨이퍼 캐리어 및 기타 코팅 구성 요소를 지정할 때 필요한 코팅 두께, CTE 불일치, 박리 위험 및 엔지니어링 정보를 검사합니다.
현대 칩 제조에서 기판은 물리적 지지와 열 방출 경로를 제공하는 반면 에피택셜 레이어는 장치의 전기적 성능 한계를 결정합니다. 이 기사에서는 단결정 실리콘과 실리콘 카바이드 기판과 CVD/MBE 에피택셜 공정 간의 근본적인 차이점에 대한 심층 분석을 제공하고, 에피택셜 기술이 결함 밀도를 줄이고 변형 엔지니어링을 통합하여 고주파 및 고전압 장치의 성능을 향상시키는 방법을 보여줍니다. 프로세스 엔지니어이든 조달 의사결정자이든 이 가이드는 가장 적합한 웨이퍼 선택 전략을 신속하게 식별하는 데 도움이 됩니다.