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PECVD용 Veteksemicon 흑연 보트는 고순도 흑연을 정밀 가공하고 플라즈마 강화 화학 기상 증착 공정을 위해 특별히 설계되었습니다. 반도체 열전계 재료에 대한 깊은 이해와 정밀 가공 능력을 활용하여 탁월한 열 안정성, 우수한 전도성 및 긴 수명을 갖춘 흑연 보트를 제공합니다. 이 보트는 까다로운 PECVD 공정 환경에서 모든 웨이퍼에 매우 균일한 박막 증착을 보장하여 공정 수율과 생산성을 향상시키도록 설계되었습니다.

Veteksemicon의 CVD TaC 코팅 흑연 링은 반도체 웨이퍼 처리의 극한 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 화학 기상 증착(CVD) 기술을 활용하여 조밀하고 균일한 탄탈륨(TaC) 코팅을 고순도 흑연 기판에 적용하여 탁월한 경도, 내마모성 및 화학적 불활성을 달성합니다. 반도체 제조에서 CVD TaC 코팅 흑연 링은 MOCVD, 에칭, 확산 및 에피택셜 성장 챔버에 널리 사용되며 웨이퍼 캐리어, 서셉터 및 차폐 어셈블리의 핵심 구조 또는 밀봉 구성 요소 역할을 합니다. 앞으로도 많은 상담을 기대합니다.

VETEK에서 생산하는 다공성 TaC 코팅 흑연 링은 경량의 다공성 흑연 기재를 사용하고 고순도 탄탈륨 카바이드 코팅으로 코팅되어 고온, 부식성 가스 및 플라즈마 침식에 대한 저항성이 우수합니다.

Veteksemicon의 실리콘 카바이드 캔틸레버 패들은 반도체 제조의 고급 웨이퍼 처리를 위해 설계되었습니다. 고순도 SiC로 제작되어 뛰어난 열 안정성, 우수한 기계적 강도, 고온 및 부식 환경에 대한 탁월한 저항성을 제공합니다. 이러한 기능은 MOCVD, 에피택시, 확산과 같은 공정에서 정밀한 웨이퍼 핸들링, 연장된 서비스 수명 및 안정적인 성능을 보장합니다. 상담을 환영합니다.

Veteksemicon SiC 웨이퍼용 세라믹 진공 척은 반도체 웨이퍼 처리에서 탁월한 정밀도와 신뢰성을 제공하도록 설계되었습니다. 고순도 탄화규소로 제조되어 뛰어난 열 전도성, 내화학성, 우수한 기계적 강도를 보장하므로 에칭, 증착, 리소그래피와 같은 까다로운 응용 분야에 이상적입니다. 매우 평평한 표면은 안정적인 웨이퍼 지지를 보장하고 결함을 최소화하며 공정 수율을 향상시킵니다. 이 진공 척은 고성능 웨이퍼 핸들링을 위한 신뢰할 수 있는 선택입니다.

Veteksemi 솔리드 SiC 포커스 링은 웨이퍼 가장자리의 전기장과 공기 흐름을 정밀하게 제어하여 에칭 균일성과 공정 안정성을 크게 향상시킵니다. 실리콘, 유전체, 화합물반도체 재료 등의 정밀 식각 공정에 널리 사용되며, 대량 생산 수율과 장기적으로 안정적인 장비 작동을 보장하는 핵심 부품입니다.