제품

당사의 실리콘 카바이드 (SIC) 로봇 암은 고급 반도체 제조에서 고성능 웨이퍼 취급을 위해 설계되었습니다. 고순도 실리콘 카바이드로 만들어진이 로봇 암은 고온, 플라즈마 부식 및 화학 공격에 대한 탁월한 저항을 제공하여 까다로운 청소실 환경에서 신뢰할 수있는 작동을 보장합니다. 탁월한 기계적 강도와 치수 안정성은 오염 위험을 최소화하면서 정확한 웨이퍼 처리를 가능하게하여 MoCVD, 에피 택시, 이온 임플란트 및 기타 중요한 웨이퍼 처리 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다. 귀하의 문의를 환영합니다.

Veteksemicon은 반도체 산업에 맞춤형 쿼츠 웨이퍼 보트 제품을 제공하는 것을 전문으로합니다. 당사의 제품 라인에는 반도체 융합 석영 유리 보트, 석영 확산 보트 및 맞춤형 석영 어닐링 보트가 포함되어 있으며, 이는 확산, 산화 및 CVD와 같은 고정밀 공정에서 널리 사용됩니다. Veteksemicon은 제품 및 기술에 대한 포괄적 인 맞춤형 서비스를 제공 할 것을 주장합니다. 추가 상담을 기대합니다.

Veteksemicon SIC 웨이퍼 보트는 반도체 제조에서 중요한 고온 공정에서 널리 사용되며, 실리콘 기반 통합 회로를위한 산화, 확산 및 어닐링 공정을위한 신뢰할 수있는 캐리어 역할을합니다. 또한 3 세대 반도체 부문에서 탁월하며, EPI (Epitaxial Growth) 및 SIC 및 GAN 전력 장치에 대한 금속 유기 화학 증기 증착 (MOCVD)과 같은 까다로운 공정에 완벽하게 적합합니다. 또한 태양 광 산업에서 고효율 태양 전지의 고온 제조를 지원합니다. 추가 상담을 기대합니다.

Veteksemicon의 CVD SIC 코팅 흑연 샤워 헤드는 반도체 화학 증기 증착 (CVD) 프로세스를 위해 특별히 설계된 고성능 구성 요소입니다. 고급 흑연으로부터 제조되고 화학 증기 증착 (CVD) 실리콘 카바이드 (SIC) 코팅으로 보호 된이 샤워 헤드는 뛰어난 내구성, 열 안정성 및 부식성 공정 가스에 대한 내성을 제공합니다. 추가 상담을 기대합니다.

석영 가스 분포판으로도 알려진 석영 샤워 헤드는 CVD (화학 증기 증착), PECVD (플라즈마 강화 CVD) 및 ALD (원자 층 증착)와 같은 반도체 박막 증착 공정에 사용되는 중요한 구성 요소입니다. 고급 융합 석영으로 만들어진이 구성 요소는 초저 오염과 우수한 열 안정성을 보장하여 웨이퍼 표면을 가로 질러 정밀한 가스 전달 및 균일 한 필름 성장을 가능하게합니다. 추가 상담을 기대합니다.

우리의 TAC 코팅 된 흑연 가이드 링은 반도체 웨이퍼 제조를위한 정밀 코어 구성 요소입니다. 이들은 내마모 및 화학적으로 불활성 탄탈 룸 (TAC) 코팅으로 코팅 된 고순도 흑연 기판을 특징으로한다. 에피 택셜 증착 및 혈장 에칭과 같은 까다로운 프로세스를 위해 설계된 정확한 웨이퍼 정렬 및 안정성을 보장하고, 오염을 효과적으로 제어하며, 구성 요소 수명을 크게 확장시킵니다. Veteksemicon은 장비 및 프로세스 요구 사항을 완벽하게 일치시키기 위해 사용자 정의 서비스를 제공합니다.