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다이아몬드-알루미늄 복합재는 다이아몬드의 우수한 열 전도성과 알루미늄의 경량 특성을 결합한 고급 금속 매트릭스 복합재입니다. 다이아몬드 입자를 알루미늄 또는 알루미늄 합금 매트릭스에 통합함으로써 이 소재는 높은 열 전도성, 조정 가능한 열 팽창, 열 성능과 무게 간의 유리한 균형을 제공합니다.

다이아몬드-탄화규소(Diamond/SiC) 복합재는 다이아몬드의 높은 열 전도성과 탄화규소의 구조적 안정성 및 경도를 결합합니다. 구성 및 제조 경로에 따라 효율적인 열 전달, 열 팽창 제어 및 정밀 열 관리 구성 요소를 위해 설계할 수 있습니다.

건식 플라즈마 식각 챔버는 웨이퍼 주위의 정밀한 경계 제어에 의존하여 플라즈마 밀도, 가스 흐름 및 전기장 분포를 안정적으로 유지합니다. VeTek Semiconductor 고순도 석영 에칭 링은 수산화 융합 석영으로 만든 반도체 등급 챔버 구성 요소입니다. 웨이퍼 가장자리의 프로세스 영역을 정의하고, 플라즈마를 제한하고, 가스 흐름을 원활하게 하며, 웨이퍼 주변을 보호하여 2~12인치 실리콘, SiC, GaN 및 사파이어 웨이퍼 전반에 걸쳐 보다 균일한 식각 속도와 보다 깨끗한 프로파일을 지원합니다.

VeTek Semiconductor의 고순도 석영 웨이퍼 캐리어는 고온 열 처리, 박막 증착, 습식 공정 및 진공 응용 분야에서 안정적인 웨이퍼 처리를 위해 정밀하게 설계된 반도체 등급 고정 장치입니다. 반도체 등급 탈수산화 용융 석영(JGS2 등가)으로 제조된 이 웨이퍼 캐리어는 초고순도, 우수한 열충격 저항성, 화학적 불활성, 낮은 가스 방출 및 높은 평탄도를 제공하여 2~12인치 실리콘, SiC, GaN 및 사파이어 기판에 대한 안정적이고 오염 없는 지원을 보장합니다.

VeTek Semiconductor는 차세대 초광대역 밴드갭 반도체 장치용 고품질 질화알루미늄(AlN) 단결정 웨이퍼와 기판을 공급합니다. 약 6.2eV의 매우 넓은 밴드갭, 뛰어난 열 전도성, 뛰어난 전기 절연성, GaN과의 뛰어난 격자 및 열팽창 매칭을 갖춘 AlN 웨이퍼는 고전력 RF 장치, 고전압 전력 전자 장치 및 심자외선(DUV) 광전자공학에 이상적입니다.

VeTek Semiconductor의 고순도 석영로 튜브는 반도체 열 처리 장비의 핵심 공정 챔버 구성 요소입니다. 반도체 등급 탈수산 용융 석영으로 제조된 이 튜브는 산화로, 확산로, 어닐링로 및 LPCVD 시스템에서 밀봉된 반응 공동 역할을 합니다. 이 제품은 탁월한 순도, 열 안정성 및 내화학성을 제공하여 4/6/8/12인치 웨이퍼 처리를 위한 균일한 온도 필드, 안정적인 가스 흐름 및 초저 오염을 보장합니다.