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우리의 석영 웨이퍼 보트는 반도체, LED, 태양 전지 및 배터리 제조 공정에 맞게 조정 된 고급 웨이퍼 캐리어 솔루션입니다. 고온과 화학적으로 공격적인 환경을 견딜 수 있도록 설계된이 석영 보트는 낮은 열 팽창, 우수한 전기 절연 및 장기 치수 안정성을 특징으로합니다. 확산, 산화 및 LPCVD 공정에 이상적 인 정확한 웨이퍼 정렬을 지원하며 다양한 장비 요구 사항을 충족하기 위해 다양한 크기로 제공됩니다.

Veteksemicon sic 캔틸레버 패들은 수평 확산 용광로 및 에피 택셜 반응기에서 웨이퍼 취급을 위해 설계된 고급 실리콘 카바이드지지 암입니다. 탁월한 열전도율, 부식 저항 및 기계적 강도를 통해이 패들은 까다로운 반도체 환경에서 안정성과 청결을 보장합니다. 맞춤형 크기로 제공되며 긴 서비스 수명에 최적화되었습니다.

Veteksemicon의 SIC 블록은 실리콘 및 사파이어 웨이퍼의 고효율 연삭 및 얇아 지도록 설계되었습니다. 우수한 열전도율 (≥120 W/M · K), 높은 열 충격 저항 및 우수한 내마모성 (MOHS ≥9)을 사용하면 공정 안정성을 향상시키고 공구 변화 주파수를 줄입니다. 120mm ~ 480mm 크기로 제공되며 다양한 생산 요구를 충족시키기 위해 맞춤형 옵션과 빠른 배송으로 제공됩니다.

Veteksemicon의 실리콘 카바이드 코팅 웨이퍼 홀더는 MoCVD, LPCVD 및 고온 어닐링과 같은 고급 반도체 프로세스의 정밀성 및 성능을 위해 설계됩니다. 균일 한 CVD SIC 코팅을 사용 하여이 웨이퍼 홀더는 탁월한 열전도율, 화학적 불활성 및 기계적 강도를 보장합니다.

반도체 에칭 장비를 위해 특별히 설계된 Veteksemicon High-Purity Sic Edge 링, 뛰어난 부식 저항 및 열 안정성을 특징으로하며, 웨이퍼 수율을 크게 향상시킵니다.

Veteksemicon sic ceramics 막은 무기 막의 유형이며 막 분리 기술에서 고체 막 물질에 속합니다. Sic 멤브레인은 2000 년 이상의 온도에서 발사됩니다. 입자의 표면은 매끄럽고 둥글다. 지지 계층과 각 층에는 닫힌 기공이나 채널이 없습니다. 그들은 일반적으로 기공 크기가 다른 3 개의 층으로 구성됩니다.