VeTek Semiconductor는 실리콘화 흑연, 열분해 탄소, 다공성 흑연, 유리질 탄소 코팅, 고순도 흑연 시트 및 고순도 등방성 흑연과 같은 특수 흑연을 제공하며 공통 특성과 용도를 공유하는 여러 유형의 특수 흑연 재료입니다. 다음은 해당 기능과 응용 프로그램에 대한 간략한 소개입니다.
● 규소화 흑연: 규소화 흑연은 흑연과 규소 화합물을 결합하여 형성된 특수 흑연 소재입니다. 우수한 내열성, 내식성, 기계적 성질을 나타냅니다. 규소화 흑연은 일반적으로 고온 용광로, 부식 방지 장비 및 반도체 제조에 사용됩니다.
● 열분해탄소(Pyrolytic Carbon): 열분해탄소는 석탄, 석유코크스 등의 유기물질을 고온 열분해하여 얻어지는 탄소재료이다. 높은 순도, 밀도, 강도, 낮은 전기 전도성을 자랑합니다. 열분해 탄소는 반도체, 화학 장비, 항공우주 및 기타 분야의 고온 재료 및 구조 부품으로 폭넓게 응용됩니다.
● 다공성 흑연: 다공성 흑연은 미세 다공성 구조와 메조 다공성 구조를 지닌 특수 흑연 소재입니다. 비표면적이 크고 다공성이 커서 흡착력과 열전도율이 뛰어납니다. 다공성 흑연은 일반적으로 가스 분리, SiC 결정 성장 및 기타 응용 분야에 사용됩니다.
● Glassy Carbon Coating : Glassy Carbon 코팅은 Glassy Carbon 소재를 표면 코팅으로 적용하는 기술을 말합니다. 내식성, 내마모성, 전기 전도성이 뛰어납니다. 유리질 탄소 코팅은 부식 방지 코팅, E-Beam Gun용 코팅 재료 및 기타 반도체 분야에서 자주 활용됩니다.
● 고순도 등방성 흑연: 고순도 등방형 흑연은 고온 등방압 프레싱 공정을 통해 제조된 고순도 특수 흑연 소재입니다. 균일한 미세구조, 높은 밀도, 낮은 산소 함량이 특징입니다. 고순도 등방성 흑연은 정밀 가공, 방열 재료, 반도체 제조, 광전지, 항공우주 및 기타 산업에 광범위하게 사용됩니다.
고순도 흑연지는 반도체 산업에 사용되는 특수 소재입니다. 탁월한 열 및 전기 전도성을 통해 방열판, 열 인터페이스 재료 및 전기 절연과 같은 응용 분야에서 중요한 역할을 합니다. 고순도 흑연 종이의 가볍고 유연한 특성은 열 관리를 강화하고 반도체 장치의 성능을 최적화하는 데 이상적입니다. 순도가 높아(5ppm 미만의 불순물) 안정적이고 효율적인 작동을 보장하므로 반도체 제조 및 조립에 귀중한 구성 요소가 됩니다.
이러한 특수 흑연 소재는 해당 분야에서 고유한 특성과 응용 장점을 제공합니다. 고온 환경, 내식성, 전자, 에너지, 화학 공학, 항공우주, 반도체 산업에서 중요한 역할을 하며 이러한 분야의 발전과 혁신을 위한 필수적인 지원을 제공합니다.
주요 특징
● 중요한 반도체 공정을 위한 불순물 수준이 5ppm 미만인 초고순도 옵션입니다.
● PVT SiC 결정성장 및 진공로에 적합한 우수한 고온 안정성과 열충격 저항성을 가지고 있습니다.
● 다양한 재료 형태: 등방성 흑연, 다공성 흑연, 실리콘화 흑연, PyC 코팅, 유리질 탄소 코팅 및 유연한 흑연 시트.
● 가스 관리 및 열 현장 적용을 위한 우수한 내식성, 내마모성 및 제어된 다공성.
● 자체 가공 및 코팅 능력(SiC/TaC/PyC)으로 원스톱 맞춤형 솔루션이 가능합니다.
● 주요 반도체 및 결정 성장 장비 플랫폼과 호환됩니다.
제품 사양
| 열분해 탄소(PyC) 코팅 매개변수 |
| 목 |
단위 |
값 |
| 결정 구조 |
-
|
육각형 |
| 조정 |
-
|
001 방향을 따라 지향되거나 지향되지 않음 |
| 벌크 밀도 |
g/cm3 |
~2.24 |
| 미세구조 |
-
|
다결정/다층 그래핀 |
| 경도 |
평점 |
1.1
|
| 탄성률 |
평점 |
10
|
| 일반적인 두께 |
μm |
30-100 |
| 표면 거칠기 |
μm |
1.5
|
| 제품 순도 |
ppm |
5ppm 이하 |
응용
반도체 및 고온 공정의 다양한 요구 사항을 충족하기 위해 VeTek은 특수 흑연 제품을 제공합니다. 다음 표에서는 주요 응용 분야별로 분류하고 일반적인 재료/구성 요소와 적용 가능한 프로세스를 나열합니다.
| 적용분야 |
대표적인 재료/제품 |
애플리케이션 설명 |
| SiC 결정 성장(PVT) |
다공성 흑연, PyC 코팅 흑연 링, 등방성 흑연 도가니, 가이드 링
|
PVT SiC 결정 성장 열장에 사용됩니다. 제어된 증기 수송, 고순도 및 최대 2200°C의 열 안정성을 제공하여 입자 오염을 줄입니다. |
| 반도체 에피택시 / MOCVD |
히터, PyC / 유리질 탄소 코팅 부품
|
Si/SiC/GaN 에피택시 및 MOCVD 시스템을 위한 고순도 열장 부품; 우수한 온도 균일성과 화학적 불활성. |
| 고온로 및 진공 |
흑연 히터, 세 개의 꽃잎 흑연 도가니
|
진공로, 핫존 히터 및 고온 처리 장비를 위한 부식 방지 및 열 안정성 소재입니다. |
| 열 관리 |
고순도 흑연 펠트, 흑연 종이
|
반도체 장치의 방열판, 열 인터페이스 재료 및 전기 절연을 위한 유연하고 높은 열/전기 전도성 시트(불순물 <5ppm). |
| 부식/마모 보호 |
유리질 탄소 코팅, 실리콘화 흑연 |
E-빔 건과 열악한 환경에 탁월한 내식성, 내마모성 및 전기 전도성을 제공하는 표면 코팅 및 벌크 재료입니다. |
| 가스 분리 및 흡착 |
다공성 흑연
|
가스 분리, 여과 및 대기 제어 응용 분야를 위한 큰 비표면적을 갖춘 마이크로/중다공성 구조입니다. |
보다 자세한 제품 및 프로세스 매칭 솔루션을 보려면 관련 하위 카테고리 페이지를 참조하십시오.다공성 흑연, 등방성 흑연, 열분해 탄소 코팅등.
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