다공성 흑연

SiC 기판 생산업체는 일반적으로 열장 공정을 위해 다공성 흑연 실린더가 포함된 도가니 설계를 사용합니다. 이 디자인은 증발 면적과 충전량을 증가시킵니다. 결정 결함을 해결하고, 물질 이동을 안정화하며, SiC 결정 품질을 향상시키기 위한 새로운 공정이 개발되었습니다. 열팽창 및 응력 완화를 위해 씨 없는 크리스탈 트레이 고정 방법이 포함되어 있습니다. 그러나 도가니 흑연과 다공성 흑연의 제한된 시장 공급으로 인해 SiC 단결정의 품질과 수율에 문제가 발생합니다.

VeTek Semiconductor 다공성 흑연의 주요 특징:

1. 고온 환경 내성 - 섭씨 2500도의 환경을 견딜 수 있어 내열성이 뛰어납니다.

2. 엄격한 다공성 제어 - VeTek Semiconductor는 엄격한 다공성 제어를 유지하여 일관된 성능을 보장합니다.

3.초고순도 - 다공성 흑연재료를 사용하여 엄격한 정제과정을 거쳐 높은 순도를 달성합니다.

4.우수한 표면 입자 결합 능력 - VeTek Semiconductor는 우수한 표면 입자 결합 능력과 분말 부착에 대한 저항성을 가지고 있습니다.

5. 가스 수송, 확산 및 균일성 - 흑연의 다공성 구조는 효율적인 가스 수송 및 확산을 촉진하여 가스 및 입자의 균일성을 향상시킵니다.

6. 품질 관리 및 안정성 - VeTek Semiconductor는 결정 성장의 품질을 보장하기 위해 고순도, 낮은 불순물 함량 및 화학적 안정성을 강조합니다.

7.온도 제어 및 균일성 - 다공성 흑연의 열전도율로 인해 균일한 온도 분포가 가능하여 성장 중 응력 및 결함이 줄어듭니다.

8. 향상된 용질 확산 및 성장 속도 - 다공성 구조는 용질의 균일한 분포를 촉진하여 결정의 성장 속도와 균일성을 향상시킵니다.