VeTek Semiconductor는 초순수 탄화규소 코팅 제품 생산을 전문으로 하며, 이러한 코팅은 정제된 흑연, 세라믹 및 내화 금속 부품에 적용되도록 설계되었습니다.
당사의 고순도 코팅은 주로 반도체 및 전자 산업에 사용되는 것을 목표로 합니다. 이는 웨이퍼 캐리어, 서셉터 및 가열 요소를 위한 보호층 역할을 하여 MOCVD 및 EPI와 같은 공정에서 발생하는 부식성 및 반응성 환경으로부터 이를 보호합니다. 이러한 프로세스는 웨이퍼 처리 및 장치 제조에 필수적입니다. 또한 당사의 코팅은 진공로 및 시료 가열 분야에 매우 적합합니다.
반응성 및 산소 환경이 발생합니다.
VeTek Semiconductor에서는 고급 기계 공장 기능을 갖춘 포괄적인 솔루션을 제공합니다. 이를 통해 흑연, 세라믹 또는 내화 금속을 사용하여 기본 구성 요소를 제조하고 SiC 또는 TaC 세라믹 코팅을 사내에서 적용할 수 있습니다. 또한 고객이 제공하는 부품에 대한 코팅 서비스를 제공하여 다양한 요구 사항을 충족할 수 있는 유연성을 보장합니다.
당사의 탄화규소 코팅 제품은 LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI 등의 장비에 적용되는 Si 에피택시, SiC 에피택시, MOCVD 시스템, RTP/RTA 공정, 에칭 공정, ICP/PSS 에칭 공정, 청색 및 녹색 LED, UV LED 및 원자외선 LED 등을 포함한 다양한 LED 유형의 공정에 널리 사용됩니다.
우리가 할 수 있는 원자로 부품:
주요 특징
● 조밀한 β상 다결정 구조로 초고순도(99.99995%)를 구현하여 입자 발생을 최소화합니다.
● HCl, NH₃, H2, SiH₄ 및 기타 부식성 공정 가스에 대한 내화학성이 뛰어납니다.
● 높은 열전도율(~300 W·m⁻¹·K⁻²)과 최대 승화 온도 2700°C까지의 열 안정성.
● 우수한 경도(2500 Vickers)와 흑연, 세라믹 및 내화 금속에 대한 강한 접착력을 제공합니다.
● 서셉터, 캐리어, 샤워 헤드 및 발열체를 포함한 복잡한 형상에 적합한 등각 코팅 적용 범위.
● LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI 등 주요 장비 플랫폼과 호환됩니다.
실리콘 카바이드 코팅의 몇 가지 고유한 장점
제품 사양
VeTek Semiconductor 실리콘 카바이드 코팅 매개변수
| CVD SiC 코팅의 기본 물리적 특성 |
| 재산 |
일반적인 값 |
| 결정 구조 |
FCC β상 다결정, 주로 (111) 방향 |
| SiC 코팅 밀도 |
3.21g/cm³ |
| SiC 코팅 경도 |
비커스 경도 2500(500g 하중) |
| 입자 크기 |
2~10μm |
| 화학적 순도 |
99.99995% |
| 열용량 |
640 J·kg⁻¹·K⁻¹ |
| 승화 온도 |
2700℃ |
| 굴곡강도 |
415MPa RT 4점 |
| 영률 |
430GPa 4pt 벤드, 1300℃ |
| 열전도율 |
300W·m⁻¹·K⁻¹ |
| 열팽창(CTE) |
4.5×10⁻⁶ K⁻¹ |
CVD SIC 필름 결정 구조
응용
반도체 공정의 다양한 요구 사항을 충족하기 위해 VeTek은 특정 실리콘 카바이드 코팅 제품을 제공합니다. 다음 표에서는 이를 주요 응용 분야별로 분류하고 일반적인 구성 요소와 적용 가능한 프로세스를 나열합니다.
| 적용분야 |
대표적인 제품 |
애플리케이션 설명 |
| Si 에피택시 |
CVD SiC 코팅 흑연 서셉터, SiC 코팅 웨이퍼 캐리어, 에피 수용체
|
고품질 에피층을 위한 균일한 온도 분포, 내화학성 및 낮은 입자 발생을 제공하여 실리콘 에피택셜 공정에 적합합니다. |
| SiC 에피택시 |
CVD SiC 코팅 유성 서셉터, SiC 코팅 웨이퍼 서셉터, 가이드 링 |
고온 SiC 에피택셜 성장(LPE 등)의 경우 열 안정성과 깨끗한 인터페이스를 제공하여 필름 균일성과 공정 수율을 보장합니다. |
| GaN/LED 에피택시(MOCVD) |
SiC 코팅 위성 커버, 샤워 헤드, 위성 디스크, 마스킹 링 |
Aixtron, Veeco MOCVD 시스템과 호환됩니다. H2/NH3 부식에 저항하고 입자 오염을 줄이며 LED 에피 수율(청색, 녹색, UV, 원자외선)을 향상시킵니다. |
| RTP/RTA 프로세스 |
CVD SiC 코팅 RTP 서셉터, RTP RTA 캐리어, 발열체
|
급속 열처리 및 어닐링을 위해 설계되었습니다. 우수한 열 전도성과 치수 안정성으로 반복적인 고온 사이클링을 견뎌냅니다. |
| 에칭/ICP/PSS |
솔리드 SiC 포커스 링, 에칭 챔버용 SiC 코팅 부품
|
높은 경도와 플라즈마 저항성은 챔버 부품을 보호하고 식각 프로파일의 균일성을 보장하며 할로겐이 풍부한 환경에서 서비스 수명을 연장합니다. |
| 고온 난방 및 지원 |
CVD SiC 코팅 발열체, 웨이퍼 캐리어, 서셉터
|
유도/저항 가열 및 진공로 응용 분야용; 높은 경도, 열충격 저항성 및 긴 부품 수명을 제공합니다. |
보다 자세한 프로세스 매칭 솔루션은 다음을 참조하세요.실리콘 에피택시그리고실리콘 카바이드 에피택시관련 신청 페이지.
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