실리콘 카바이드 코팅

VeTek Semiconductor는 초순수 탄화규소 코팅 제품 생산을 전문으로 하며, 이러한 코팅은 정제된 흑연, 세라믹 및 내화 금속 부품에 적용되도록 설계되었습니다.

당사의 고순도 코팅은 주로 반도체 및 전자 산업에 사용되는 것을 목표로 합니다. 이는 웨이퍼 캐리어, 서셉터 및 발열체를 위한 보호층 역할을 하며 MOCVD 및 EPI와 같은 공정에서 발생하는 부식성 및 반응성 환경으로부터 이들을 보호합니다. 이러한 프로세스는 웨이퍼 처리 및 장치 제조에 필수적입니다. 또한 당사의 코팅은 고진공, 반응성 및 산소 환경에 직면하는 진공로 및 샘플 가열 분야에 매우 적합합니다.

VeTek Semiconductor에서는 고급 기계 공장 기능을 갖춘 포괄적인 솔루션을 제공합니다. 이를 통해 흑연, 세라믹 또는 내화 금속을 사용하여 기본 구성 요소를 제조하고 SiC 또는 TaC 세라믹 코팅을 사내에서 적용할 수 있습니다. 또한 고객이 제공하는 부품에 대한 코팅 서비스를 제공하여 다양한 요구 사항을 충족할 수 있는 유연성을 보장합니다.

당사의 탄화규소 코팅 제품은 Si 에피택시, SiC 에피택시, MOCVD 시스템, RTP/RTA 공정, 에칭 공정, ICP/PSS 에칭 공정, 청색 및 녹색 LED, UV LED 및 원자외선을 포함한 다양한 LED 유형의 공정에 널리 사용됩니다. LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI 등의 장비에 적용되는 LED 등.

우리가 할 수 있는 원자로 부품:

실리콘 카바이드 코팅에는 몇 가지 고유한 장점이 있습니다.

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor 실리콘 카바이드 코팅 매개변수

CVD SiC 코팅의 기본 물리적 특성
재산	일반적인 값
결정 구조	FCC β상 다결정, 주로 (111) 방향
SiC 코팅 밀도	3.21g/cm³
SiC 코팅경도	비커스 경도 2500(500g 하중)
입자 크기	2~10μm
화학적 순도	99.99995%
열용량	640J·kg^-1·케이^-1
승화 온도	2700℃
굴곡강도	415MPa RT 4점
영률	430 Gpa 4pt 벤드, 1300℃
열전도율	300W·m^-1·케이^-1
열팽창(CTE)	4.5×10-6K^-1

CVD SIC 필름 결정 구조

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

실리콘 카바이드 코팅 Epi 서셉터 SiC 코팅 웨이퍼 캐리어 MOCVD용 SiC 코팅 새틀라이트 커버 CVD SiC 코팅 웨이퍼 Epi 서셉터 CVD SiC 코팅 발열체 Aixtron 위성 웨이퍼 캐리어 SiC 코팅 Epi 수신기 SiC 코팅 반달 흑연 부품

View as

에칭을위한 SIC 코팅 웨이퍼 캐리어

Etching을위한 Veteksemicon의 SIC 코팅 웨이퍼 캐리어는 실리콘 카바이드 코팅 제품의 주요 중국 제조업체이자 공급 업체로서 우수한 고온 안정성, 뛰어난 부식성 및 높은 열전도율로 에칭 공정에서 돌이킬 수없는 핵심 역할을합니다.

더보기 >> 문의 보내기 >>

CVD SIC 코팅 웨이퍼 감수기

Veteksemicon의 CVD SIC 코팅 웨이퍼 감수자는 반도체 에피 택셜 프로세스를위한 최첨단 솔루션으로, 초고 순도 (≤100ppb, ICP-E10 인증) 및 GAN, SIC 및 실리콘 기반 EPI-Layers의 오염 저항성 성장에 대한 뛰어난 열/화학적 안정성을 제공합니다. 정밀 CVD 기술로 설계된이 기술은 6 인치/8”/12 인치 웨이퍼를 지원하고 최소 열 응력을 보장하며 최대 1600 ° C의 극한 온도를 견딜 수 있습니다.

더보기 >> 문의 보내기 >>

SIC 코팅 된 행성 감수자

우리의 SIC 코팅 행성 감수자는 반도체 제조의 고온 공정에서 핵심 성분입니다. 이 설계는 흑연 기판과 실리콘 카바이드 코팅을 결합하여 열 관리 성능, 화학적 안정성 및 기계적 강도의 포괄적 인 최적화를 달성합니다.

더보기 >> 문의 보내기 >>

에피 택시를위한 SIC 코팅 밀봉 링

Epitaxy에 대한 우리의 SIC 코팅 된 밀봉 링은 화학 증기 증착 (CVD)에 의해 고급 규모의 실리콘 카바이드 (CVD)로 코팅 된 흑연 또는 탄소-탄소 복합재를 기반으로 한 고성능 밀봉 성분이며, 이는 흑연의 열 안정성을 SIC의 극도의 환경 저항성을 결합하고 세미네도르 에피축 장비 (예를 들어)를 위해 설계된다.

더보기 >> 문의 보내기 >>

단일 웨이퍼 EPI 흑연 장의사

Veteksemicon 단일 웨이퍼 EPI 흑연 감수자는 고성능 실리콘 카바이드 (SIC), GAN (Gallium nitride) 및 기타 3 세대 반도체 에피 택셜 프로세스를 위해 설계되었으며, 질량 생산에서 고정산 에피축 시트의 핵심 베어링 구성 요소입니다.

더보기 >> 문의 보내기 >>

플라즈마 에칭 초점 링

웨이퍼 제조 에칭 공정에 사용되는 중요한 구성 요소는 혈장 밀도를 유지하고 웨이퍼 측의 오염을 방지하기 위해 웨이퍼를 제자리에 고정시키는 기능을하는 플라즈마 에칭 초점 링입니다. vetek 반도체는 단일 결정질 실리콘, 실리콘 카르 바이드 및 붕소 카르 바이드와 같은 다른 재료로 혈장 에칭 링을 제공합니다.

더보기 >> 문의 보내기 >>

중국의 전문가 실리콘 카바이드 코팅 제조업체 및 공급 업체로서 우리는 자체 공장을 가지고 있습니다. 해당 지역의 특정 요구를 충족시키기 위해 맞춤형 서비스가 필요하거나 중국에서 만든 고급 및 내구성 실리콘 카바이드 코팅을 구매하려면 메시지를 남길 수 있습니다.