탄탈륨 카바이드 코팅

VeTek 반도체는 반도체 산업을 위한 탄탈륨 카바이드 코팅 재료의 선도적인 제조업체입니다. 당사의 주요 제품으로는 CVD 탄탈륨 카바이드 코팅 부품, SiC 결정 성장 또는 반도체 에피택시 공정용 소결 TaC 코팅 부품이 있습니다. ISO9001을 통과한 VeTek Semiconductor는 품질에 대한 통제력이 뛰어납니다. VeTek Semiconductor는 반복적인 기술의 지속적인 연구 및 개발을 통해 탄탈륨 카바이드 코팅 산업의 혁신자가 되기 위해 최선을 다하고 있습니다.

주요 제품은TaC 코팅 가이드 링, CVD TaC 코팅 세 꽃잎 가이드 링, 탄탈륨 카바이드 TaC 코팅 하프문, CVD TaC 코팅 유성 SiC 에피택셜 서셉터, 탄탈륨 카바이드 코팅 링, 탄탈륨 카바이드 코팅 다공성 흑연, TaC 코팅 회전 서셉터, 탄탈륨 카바이드 링, TaC 코팅 회전판, TaC 코팅 웨이퍼 서셉터, TaC 코팅 디플렉터 링, CVD TaC 코팅 커버, TaC 코팅척등, 순도는 5ppm 미만이며 고객 요구 사항을 충족할 수 있습니다.

TaC 코팅 흑연은 독점 화학 기상 증착(CVD) 공정을 통해 고순도 흑연 기판의 표면을 미세한 탄탈륨 탄화물 층으로 코팅하여 생성됩니다. 장점은 아래 그림에 나와 있습니다.

Excellent properties of TaC coating graphite

탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅은 최대 3880°C의 높은 융점, 우수한 기계적 강도, 경도 및 열충격에 대한 저항성으로 인해 주목을 받고 있으며, 더 높은 온도 요구 사항이 있는 화합물 반도체 에피택시 공정에 대한 매력적인 대안이 되고 있습니다. Aixtron MOCVD 시스템 및 LPE SiC 에피택시 공정과 같은 PVT 방식의 SiC 결정 성장 공정에도 폭넓게 적용됩니다.

주요 특징:

●온도 안정성

●초고순도

●H2, NH3, SiH4, Si에 대한 내성

●열 재고에 대한 저항

●흑연과의 강한 접착력

●컨포멀 코팅 적용 범위

● 직경 최대 750mm(중국 유일의 제조업체가 이 크기에 도달함)

응용:

●웨이퍼 캐리어

● 유도가열 서셉터

● 저항 발열체

●위성 디스크

●샤워 헤드

●가이드 링

●LED 에피 수신기

●분사노즐

●마스킹 링

● 열 차폐

미세한 단면에 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

VeTek Semiconductor 탄탈륨 카바이드 코팅의 매개변수:

TaC 코팅의 물리적 특성
밀도	14.3(g/cm3)
특정 방사율	0.3
열팽창계수	6.3 10^-6/케이
경도(홍콩)	2000홍콩
저항	1×10^-5옴*cm
열 안정성	<2500℃
흑연 크기 변화	-10~-20um
코팅 두께	≥20um 일반 값(35um±10um)

TaC 코팅 EDX 데이터：

EDX data of TaC coating

TaC 코팅 결정 구조 데이터:

요소	원자퍼센트
	백금. 1	백금. 2	백금. 3	평균
씨케이	52.10	57.41	52.37	53.96
그들을	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC 코팅척 TaC 코팅 유성디스크
TaC 코팅판 TaC 코팅 회전판 TaC 코팅수신기 CVD TaC 코팅 커버 CVD TaC 코팅링 TaC 코팅판

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TAC 코팅 회전 감수기

중국의 TAC 코팅 회전 감수자 제품의 전문 제조업체, 혁신가 및 리더로서. Vetek 반도체 TAC 코팅 회전 감수자는 일반적으로 균일 한 재료 증착 및 효율적인 반응을 보장하기 위해 웨이퍼를지지하고 회전시키기 위해 화학 기상 증착 (CVD) 및 분자 빔 에피 택시 (MBE) 장비에 설치됩니다. 반도체 처리의 핵심 구성 요소입니다. 추가 상담을 환영합니다.

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Vetek Semiconductor는 중국의 CVD TAC 코팅 도가니 제품의 전문 제조업체이자 리더입니다. CVD TAC 코팅 Crucible은 탄탈륨 탄소 (TAC) 코팅을 기반으로합니다. 탄탈륨 탄소 코팅은 화학 증기 증착 (CVD) 공정을 통해 도가니 표면에 골고루 덮여 내열성 및 부식 저항을 향상시킵니다. 고온 극한 환경에서 특별히 사용되는 재료 도구입니다. 추가 상담을 환영합니다.

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CVD TAC 코팅 웨이퍼 캐리어

중국의 전문 CVD TAC 코팅 웨이퍼 캐리어 제품 제조업체 및 공장 인 Vetek Semiconductor CVD TAC 코팅 웨이퍼 캐리어는 반도체 제조의 고온 및 부식성 환경을 위해 특별히 설계된 웨이퍼 운반 도구입니다. CVD TAC 코팅 웨이퍼 캐리어는 높은 기계적 강도, 우수한 내식성 및 열 안정성을 가지므로 고품질 반도체 장치를 제조하는 데 필요한 보장을 제공합니다. 추가 문의를 환영합니다.

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TaC 코팅히터

VeTek Semiconductor TaC 코팅 히터는 융점이 매우 높습니다(약 3880°C). 녹는점이 높기 때문에 특히 MOCVD(금속 유기 화학 기상 증착) 공정에서 질화갈륨(GaN) 에피택셜 층을 성장시킬 때 매우 높은 온도에서 작동할 수 있습니다. VeTek Semiconductor는 고객에게 맞춤형 제품 솔루션을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 우리는 귀하의 의견을 기다리겠습니다.

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CVD TAC 코팅

Vetek 반도체는 중국 최고의 CVD TAC 코팅 제품 제조업체입니다. 수년 동안, 우리는 CVD TAC 코팅 커버, CVD TAC 코팅 링과 같은 다양한 CVD TAC 코팅 제품에 중점을두고 있습니다. Vetek 반도체는 맞춤형 제품 서비스 및 만족스러운 제품 가격을 지원하며 추가 상담을 기대합니다.

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