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석영 제품은 고순도, 고온 저항성 및 강한 화학적 안정성으로 인해 반도체 제조 공정에서 널리 사용됩니다.

실리콘 카바이드 (SIC) 크리스탈 성장 용광로는 차세대 반도체 장치에 대한 고성능 SIC 웨이퍼를 생산하는 데 중요한 역할을합니다. 그러나, 고품질의 SIC 결정을 성장시키는 과정은 상당한 도전을 제시한다. 극한 열 구배 관리에서 결정 결함 감소, 균일 성장 보장 및 생산 비용 관리에 이르기까지 각 단계에는 고급 엔지니어링 솔루션이 필요합니다. 이 기사는 여러 관점에서 SIC 결정 성장 용광로의 기술적 과제를 분석합니다.

Smart Cut은 이온 임플란트 및 웨이퍼 스트리핑을 기반으로 한 고급 반도체 제조 공정이며, 초 고시 및 고도로 균일 한 3C Sic (입방 실리콘 카바이드) 웨이퍼의 생산을 위해 설계되었습니다. 초박형 크리스탈 재료를 한 기판에서 다른 기판으로 전달하여 원래의 물리적 한계를 깨뜨리고 전체 기질 산업을 변화시킬 수 있습니다.

고품질 및 고수익 실리콘 카바이드 기판을 제조 할 때, 코어는 우수한 열 전계 재료에 의한 생산 온도의 정확한 제어를 요구한다. 현재, 주로 사용되는 열 필드 도가니 키트는 고급 흑연 구조 성분이며, 그의 기능은 용융 탄소 분말과 실리콘 분말을 가열하고 열을 유지하는 것입니다.

3 세대 반도체를 볼 때 1 세대와 2 세대가 무엇인지 궁금 할 것입니다. 여기서 "생성"은 반도체 제조에 사용되는 재료를 기반으로 분류됩니다.

정전기 척 (ESC, E-Chuck)으로도 알려진 정전기 척 (ESC)은 정전기 흡착의 원리를 사용하여 흡착 된 재료를 보유하고 고정시키는 고정물입니다. 진공 및 혈장 환경에 적합합니다.