탄탈 룸 카바이드 TAC 코팅이란 무엇입니까? -Veteksemicon

탄탈 룸 카바이드 (TAC)는 무엇입니까?

탄탈 룸 카바이드 (TAC) 세라믹 물질은 최대 3880 ℃의 용융점을 가지며, 융점이 높고 화학적 안정성이 우수한 화합물이다. 고온 환경에서 안정적인 성능을 유지할 수 있습니다. 또한, 고온 저항성, 화학 부식 저항성 및 탄소 재료와 우수한 화학적 및 기계적 호환성을 가지므로 이상적인 흑연 기판 보호 코팅 재료가됩니다. 

탄탈 룸 카바이드 코팅가혹한 사용 환경에서 뜨거운 암모니아, 수소, 실리콘 증기 및 용융 금속의 영향으로부터 흑연 성분을 효과적으로 보호하여 흑연 구성 요소의 서비스 수명을 크게 확장하고 흑연에서 불순물의 마이그레이션을 억제하여 품질을 보장 ​​할 수 있습니다.에피 택셜그리고결정 성장.

그림 1. 일반적인 탄탈 럼 탄화물 코팅 성분

CVD 공정에 의한 TAC 코팅 준비

화학 증기 증착 (CVD)은 흑연 표면에서 TAC 코팅을 생성하는 가장 성숙하고 최적의 방법입니다.

TACL5 및 프로필렌을 각각 탄소 및 탄탈 룸 공급원으로 사용하고, 자산 가스로서 아르곤을 사용하여, 고온 기화 된 TACL5 증기는 반응 챔버에 도입된다. 표적 온도 및 압력에서, 전구체 재료 증기는 흑연의 표면에 흡착되어, 탄소 및 탄탈 공원의 분해 및 탄탈 공원의 조합과 같은 일련의 복잡한 화학 반응뿐만 아니라 전구체의 부산물의 확산 및 탈착과 같은 일련의 표면 반응을 겪었다. 마지막으로, 조밀 한 보호 층이 흑연의 표면에 형성되는데, 이는 극한의 환경 조건 하에서 흑연을 안정적인 존재로부터 보호하고 흑연 재료의 적용 시나리오를 크게 확장시킨다.

그림 2.화학 증기 증착 (CVD) 공정 원리

CVD TAC 코팅 준비 원리 및 프로세스에 대한 자세한 내용은 기사를 참조하십시오.CVD TAC 코팅을 준비하는 방법?

세미콘을 선택하는 이유는 무엇입니까?

세미콘주로 탄탈 룸 탄산화물 제품을 제공합니다 : TAC 가이드 링, TAC 코팅 3 개의 꽃잎 링,TAC 코팅 도가니, TAC 코팅 다공성 흑연이 널리 사용된다. SIC 결정 성장 공정; TAC 코팅, TAC 코팅 가이드 링을 갖는 다공성 흑연,TAC 코팅 흑연 웨이퍼 캐리어, TAC 코팅 감수기,행성 감수자및이 탄탈 룸 탄화물 코팅 제품은 널리 사용됩니다.SIC 에피 택시 과정그리고SIC 단결정 성장 공정.

그림 3.수의사EK 반도체에서 가장 인기있는 탄탈 룸 카바이드 코팅 제품