탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅이란 무엇입니까? 특성, CVD 및 응용

2024-08-22 0 나에게 메시지를 남겨주세요

탄탈륨 카바이드(TaC)란 무엇입니까?

탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅은 흑연 및 선택된 탄소 기반 부품에 적용되는 고온 세라믹 보호층입니다. 반도체 제조에서 CVD TaC 코팅은 SiC 단결정 성장 및 에피택셜 처리를 비롯한 까다로운 응용 분야에서 중요한 용광로 및 반응기 부품을 보호하는 데 사용됩니다. 코팅 성능은 미세 구조, 순도, 두께, 접착력 및 작업 환경과의 호환성에 따라 달라집니다.

TaC 코팅의 기본물성
밀도	14.3(g/cm3)
특정 방사율	0.3
열팽창계수	6.3*10^-6/케이
경도(홍콩)	2000홍콩
저항	1×10-5Ω*cm
열 안정성	<2500℃
흑연 크기 변화	-10~-20um
코팅 두께	≥20um 일반 값(35um±10um)
열전도율	9-22(W/m·K)

표 1. TaC 코팅의 기본 물리적 특성

탄탈륨 카바이드 코팅가혹한 사용 환경에서 뜨거운 암모니아, 수소, 실리콘 증기 및 용융 금속의 영향으로부터 흑연 구성 요소를 효과적으로 보호하여 흑연 구성 요소의 서비스 수명을 크게 연장하고 흑연의 불순물 이동을 억제하여 품질을 보장합니다.에피택셜그리고결정 성장.

Common Tantalum Carbide Coated Components

그림 1. 일반적인 탄탈륨 카바이드 코팅 부품

CVD 공정에 의한 TaC 코팅 제조

화학 기상 증착(CVD)은 흑연 표면에 TaC 코팅을 생성하는 가장 성숙하고 최적의 방법입니다.

TaCl5와 프로필렌을 각각 탄소 소스와 탄탈륨 소스로 사용하고 아르곤을 운반 가스로 사용하여 고온 기화된 TaCl5 증기가 반응 챔버에 도입됩니다. 목표 온도와 압력에서 전구체 물질 증기는 흑연 표면에 흡착되어 탄소와 탄탈 소스의 분해 및 결합과 같은 일련의 복잡한 화학 반응은 물론 전구체 부산물의 확산 및 탈착과 같은 일련의 표면 반응을 겪습니다. 마지막으로 흑연 표면에 조밀한 보호층이 형성되어 극한 환경 조건에서 흑연이 안정적으로 존재하지 않도록 보호하고 흑연 재료의 응용 시나리오를 크게 확장합니다.

Chemical vapor deposition (CVD) process principle

그림 2.화학기상증착(CVD) 공정 원리

CVD TaC 코팅을 준비하는 원리와 과정에 대한 자세한 내용은 다음 기사를 참조하세요.CVD TaC 코팅을 준비하는 방법은 무엇입니까?

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