핫존용 맞춤형 흑연 히터

VETEK을 선택하는 이유는 무엇입니까?

  ●극도의 열 균일성: VETEK 히터는 정밀한 구조 시뮬레이션과 설계를 거쳐 최대 2200°C의 극한 환경에서도 뛰어난 온도 일관성을 보장하여 웨이퍼 수율을 효과적으로 높입니다.

  ●고순도 재료 보증: 등방형 고순도 흑연을 엄선하여 회분 함량을 초저수준으로 유지하여 고온에서 금속이온 오염을 원천적으로 제거합니다.

  ●고급 코팅 기술: VETEK의 핵심 강점을 활용하여 SiC(Silicon Carbide) 코팅을 옵션으로 제공합니다. 이는 산화 및 부식 저항성을 크게 향상시켜 열악한 화학 가스 환경에서 더 긴 서비스 수명을 보장합니다.

  ●정밀한 맞춤화: 원통형, 나선형, 복잡한 디스크 구조 등 VETEK은 고객의 장비에 완벽하게 맞도록 고객의 기술 도면을 기반으로 고정밀 가공을 제공합니다.

  ●종합적인 물류 보호: VETEK은 흑연의 깨지기 쉬운 특성을 인식하여 포장 시스템을 업그레이드했습니다. 당사의 다층 충격 방지 강화재는 국제 운송 중 "손상 제로"를 보장하여 생산 지연에 대한 우려를 없애줍니다.

핵심 응용분야

  ●반도체 에피택시: MOCVD 장비의 핵심 열장 부품(K465i 등 주류 모델과 호환 가능)

  ●SiC 결정 성장: 실리콘 카바이드 및 기타 와이드 밴드갭 반도체 재료의 성장을 위한 정밀 열장 제어.

  ●고온 진공 장비: 진공소결로, 정밀 브레이징, 고급 열처리 장비 등에 널리 사용됩니다.

  ●고급 코팅용 기판: CVD SiC, SiN, SiO 코팅에 이상적인 모재입니다.

기술 사양

우리는 또한 특정 작동 조건에 대해 더 높은 순도 수준의 맞춤형 재료를 지원합니다.

Veteksemicon 제품 매장