TaC 코팅 흑연 웨이퍼 캐리어

VeTek Semiconductor는 고객을 위해 TaC 코팅 흑연 웨이퍼 캐리어를 신중하게 설계했습니다. 고순도 흑연과 TaC 코팅으로 구성되어 다양한 웨이퍼 에피택셜 웨이퍼 가공에 적합합니다. 우리는 수년간 SiC 및 TaC 코팅을 전문으로 해왔습니다. SiC 코팅과 비교하여 당사의 TaC 코팅 흑연 웨이퍼 캐리어는 내열성과 내마모성이 더 높습니다. 우리는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.

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제품 설명

VeTek Semiconductor에서 맞춤형 TaC 코팅 흑연 웨이퍼 캐리어를 구매하시면 안심하실 수 있습니다. 우리는 당신과의 협력을 기대하고 있습니다. 더 알고 싶으시면 지금 저희에게 문의하실 수 있습니다. 시간 내에 답변해 드리겠습니다!

Vetek 반도체 TAC 코팅 된 흑연 웨이퍼 캐리어는 에피 택시 반응기의 웨이퍼와 직접 상호 작용하여 효율 및 성능을 향상시킵니다. 실리콘 카바이드 또는 탄탈 룸 탄화물 코팅 옵션을 통해 Vetek 반도체 TAC 코팅 흑연 웨이퍼 캐리어는 탄탈 룸 카바이드에서 최대 2-3 배 더 긴 수명을 제공합니다. LPE SIC Epitaxy Furnaces, JSG, NASO Epitaxial Furnaces를 포함한 다양한 기계 모델과 호환됩니다.

VeTek Semiconductor TaC 코팅 흑연 캐리어는 정확한 반응 화학량론을 보장하고 불순물 이동을 방지하며 2000°C 이상의 온도 안정성을 유지합니다. 이 제품은 H2, NH3, SiH4 및 Si에 대한 탁월한 저항성을 나타내어 가혹한 화학적 환경으로부터 보호합니다. 열충격에 강해 코팅 박리 없이 빠른 작동 사이클을 가능하게 합니다.

Vetek 반도체 TAC 코팅은 매우 높은 순도를 보장하고, 불순물을 제거하며, 엄격한 치수 공차를 충족시키는 컨 포멀 커버리지를 보장합니다. Vetek Semiconductor의 고급 흑연 처리 기능을 통해 사용자 정의 요구 사항을 충족 할 수 있습니다. 코팅 서비스가 필요하든 포괄적 인 솔루션이든, 전문가 엔지니어 팀은 특정 응용 프로그램을위한 완벽한 솔루션을 설계 할 준비가되었습니다. 귀하의 요구 사항과 기대에 맞는 고품질 제품을 제공하도록 우리를 믿으십시오.

PVT 방법 SiC 결정 성장:

PVT method SiC Crystal Growth