TAC 코팅은 흑연 구성 요소의 서비스 수명을 어떻게 개선합니까? - Vetek 반도체

CVD 탄탈륨 카바이드 코팅Vetek 반도체의 독점적 화학 증기 증착 (CVD) 공정을 사용하여 고순도 흑연 기판 표면에서 탄탈 룸 카바이드 (TAC)의 증기 증착에 의해 생성된다.

탄탈 룸 카바이드 (TAC) 코팅은 서비스 수명을 크게 향상시킵니다.흑연 부품특히 반도체 제조 및 결정 성장과 같은 고온, 부식성이 높은 환경에서 여러 메커니즘을 통해. 

구체적인 이유는 다음과 같습니다.TaC 코팅흑연 부품의 내구성 향상 :

●  고온 저항성 향상

매우 높은 열 안정성: TaC 코팅은 2000°C를 초과하는 매우 높은 온도에서도 안정성을 유지할 수 있으며 2200C에서도 효과적으로 작동할 수 있습니다. 이러한 높은 온도 내성으로 인해 코팅은 반도체 제조 중 용융 금속 및 화학 가스의 침식을 견딜 수 있어 흑연 부품의 수명이 연장됩니다.

● 탁월한 부식 저항

화학적 침식 저항성 : TAC 코팅은 수소, 암모니아 및 실리콘 증기와 같은 부식성 가스에 대한 강한 저항성을 가지므로, 이들 가스가 흑연 기질을 부식시키는 것을 효과적으로 방지하고 가혹한 환경에서 흑연 부품의 손상 위험을 감소시킬 수있다. 이는 결정 성장 공정 동안 코팅이 불순물 이동을 억제하고 결정 품질 및 수율을 향상시킬 수 있음을 의미합니다.

● 향상된 기계적 특성

우수한 접착력 및 열충격 저항성: TaC 코팅은 흑연 기판에 대한 접착력이 강하여 고온 작업 중에 코팅이 벗겨지거나 박리되지 않습니다. 또한 내열충격성이 뛰어나 균열이나 벗겨짐 없이 급격한 온도 변화를 견딜 수 있어 흑연 부품의 수명이 더욱 연장됩니다.

● 불순물 오염을 줄입니다

초고 순도 : TAC 코팅은 불순물 함량이 매우 낮으므로 고온 조건에서 발생할 수있는 오염 문제를 줄이는 데 도움이됩니다. 원치 않는 불순물이 에피 택셜 층으로 이동하는 것을 방지함으로써, TAC 코팅은 결정 성장 공정의 순도 및 품질을 상당히 향상시킨다.

● 열 관리를 최적화하십시오

열 전도성 및 저항성 향상 : TAC 코팅은 비교적 열전도도 및 저항력이 낮아서 히터 및 기타 열 관리 부품에 적용하여 에너지 효율을 향상시키고 에너지 손실을 줄일 수 있습니다. 이 기능은 작동 효율성을 향상시킬뿐만 아니라 과열로 인한 재료 피로와 손상을 줄입니다.