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중국 절강성 진화시 우이현 쯔양 거리 왕다로
VeTek Semiconductor의 CNC 정밀 가공 작업장에 들어가시면 현대 제조의 조용한 힘을 목격하실 수 있습니다. 자동화된 장비는 완벽한 리듬으로 작동합니다. 정밀한 CNC 프로그램에 의해 안내되는 고속 스핀들은 절삭 공구가 층별로 차가운 원시 블랭크를 고정밀 부품으로 변환하면서 조화롭게 작동합니다. 모든 공차는 엄격하게 통제됩니다. 모든 세부 사항을 면밀히 조사합니다. 수치 제어의 힘으로 우리는 나중에 가장 까다로운 반도체 공정에 사용될 각 자격을 갖춘 공작물을 제작합니다.
VeTek Semiconductor에서 CNC 가공은 생산 단계 그 이상입니다. 이는 당사 핵심 제품 포트폴리오의 중요한 기반입니다. 고순도 흑연 기판부터 복잡한 형상까지 당사의 가공 능력은 다음의 제조를 직접적으로 지원합니다.
•CVD 실리콘 카바이드(SiC) 코팅흑연 서셉터 및 예열 링
•CVD 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅전환 고리, 반달 모양 부품, 유성 서셉터
• 고체 SiC구성 요소 및 초점 링
• SiC 에피택시, MOCVD 및 결정 성장을 위한 고순도 흑연 열장 부품
• 주요 플랫폼(Aixtron, Veeco, LPE, ASM, Applied Materials)과 호환되는 맞춤형 반도체 프로세스 구성 요소
이러한 구성 요소는 매우 엄격한 치수 공차와 뛰어난 표면 무결성을 요구합니다. 당사의 CNC 워크샵에서는 모든 흑연 블랭크가 고순도 CVD SiC 또는 TaC 코팅(5ppm 미만의 불순물 수준을 지속적으로 달성하는 코팅)을 받기 전에 정확한 사양에 맞게 가공되도록 보장합니다.
VeTek Semiconductor를 차별화하는 것은 완전히 통합된 제조 체인과 심층적인 기술 전문 지식입니다.
원스톱 기능: 정밀 CNC 가공 → 고온 정제 → CVD SiC/TaC 코팅 → 세정 → 엄격한 테스트(GDMS, SIMS, SEM).
고급 장비 및 용량:전직 중국과학원 전문가가 설립한 12개 이상의 고정밀 생산 라인과 이중 R&D 센터.
초고순도 및 신뢰성:에피택시 및 MOCVD 공정에서 극한의 온도, 부식성 환경, 입자 오염 제로를 위해 설계된 코팅 및 재료입니다.
전체 사용자 정의:우리는 귀하의 정확한 도면을 기반으로 구성 요소를 가공하고 코팅하여 귀하의 원자로 플랫폼에 완벽하게 맞도록 보장합니다.
검증된 품질 시스템: 모든 단계에서 엄격한 치수 및 순도 관리를 통해 ISO 9001 인증 프로세스를 수행합니다.
모든 고성능 SiC 코팅 서셉터 또는 TaC 코팅 링은 여기, 즉 CNC 정밀 가공 작업장에서 시작됩니다. 차가운 흑연 블랭크는 고급 수치 제어 지침에 따라 신중하게 성형된 다음 정제 및 코팅을 통해 세계에서 가장 진보된 반도체 공장에서 수천 번의 공정 주기를 견딜 수 있는 구성 요소로 변형됩니다.
VeTek Semiconductor에서는 진정한 정밀도는 코팅 챔버 이전부터 시작된다고 믿습니다. 첫 번째 컷부터 시작됩니다.
우리의 전체 제품군을 살펴보세요CVD SiC 코팅, CVD TaC 코팅, 고체 SiC, 고순도 흑연 솔루션베텍.
에피택시, MOCVD 또는 결정 성장 응용 분야를 위한 맞춤형 가공 및 코팅 솔루션에 대해 논의하려면 지금 당사에 문의하십시오.
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