TAC 코팅 도가니

반도체를 처리합니다CVD TAC 코팅 된 도가니일반적으로 PVT 방법 SIC 단결정 성장 프로세스에서 다음과 같은 주요 역할을 수행합니다.

PVT 방법은 TAC 코팅 도가니 위에 SIC 시드 크리스탈을 배치하고 SIC 분말을 도가니 바닥에 원료로 배치하는 것을 말합니다. 고온 및 저압의 폐쇄 된 환경에서 SIC 분말은 승화시키고 온도 구배 및 농도 차이의 작용 하에서sic 파우더종자 결정의 근처로 옮겨지고, 재결정 화 후 상처화 상태에 도달한다. 따라서, PVT 방법은 SIC 결정 크기 및 특정 결정 형태의 제어 가능한 성장을 달성 할 수있다.

● 결정 성장의 열 안정성

Vetek 반도체 TAC 코팅 도가킬은 우수한 열 안정성 (2200 ℃ 미만으로 안정적으로 유지 될 수 있음)을 가지므로 단결정 성장에 필요한 매우 높은 온도에서도 구조적 무결성을 유지하는 데 도움이됩니다. 이 물리적 특성은 SIC 코팅 된 흑연도 Crucible이 결정 성장 공정을 정확하게 제어 할 수있게하여 균일하고 결함이없는 결정을 초래합니다.

● 우수한 화학적 장벽

TAC 코팅 된 도가치는 탄탈 룸 카바이드 코팅과 고순도 흑연 도가니 도가니를 결합하여 SIC 단결정 성장 동안 일반적으로 발생하는 광범위한 부식성 화학 물질 및 용융 물질에 대한 탁월한 저항을 제공합니다. 이 특성은 최소한의 결함으로 고품질 결정을 달성하는 데 중요합니다.

● 안정적인 성장 환경을위한 댐핑 진동

TAC 코팅 된 Crucible의 우수한 감쇠 특성은 흑연 도가니 내에서 진동 및 열 충격을 최소화하여 안정적이고 제어 된 결정 성장 환경에 추가로 기여합니다. 이러한 잠재적 인 간섭 원을 완화함으로써 TAC 코팅은 결함 밀도가 감소하여 더 큰 균일 한 결정의 성장을 가능하게하고 궁극적으로 장치 수율을 증가시키고 장치 성능을 향상시킬 수 있습니다.

● 우수한 열 전도성

Veteksemicon의 코팅 된 도가치는 우수한 열전도율을 가지므로 흑연 도가니가 열을 빠르고 균등하게 전달하는 데 도움이됩니다. 이것은 결정 성장 공정 전체에 걸쳐 온도의 정확한 제어를 결정하여 열 구배로 인한 결정 결함을 최소화합니다.

현미경 단면에서 탄탈 룸 탄화물 (TAC) 코팅

물리적 특성탄탈 룸 카바이드 코팅

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