실리콘 카바이드 코팅

VeTek Semiconductor는 초순수 탄화규소 코팅 제품 생산을 전문으로 하며, 이러한 코팅은 정제된 흑연, 세라믹 및 내화 금속 부품에 적용되도록 설계되었습니다.

당사의 고순도 코팅은 주로 반도체 및 전자 산업에 사용되는 것을 목표로 합니다. 이는 웨이퍼 캐리어, 서셉터 및 발열체를 위한 보호층 역할을 하며 MOCVD 및 EPI와 같은 공정에서 발생하는 부식성 및 반응성 환경으로부터 이들을 보호합니다. 이러한 프로세스는 웨이퍼 처리 및 장치 제조에 필수적입니다. 또한 당사의 코팅은 고진공, 반응성 및 산소 환경에 직면하는 진공로 및 샘플 가열 분야에 매우 적합합니다.

VeTek Semiconductor에서는 고급 기계 공장 기능을 갖춘 포괄적인 솔루션을 제공합니다. 이를 통해 흑연, 세라믹 또는 내화 금속을 사용하여 기본 구성 요소를 제조하고 SiC 또는 TaC 세라믹 코팅을 사내에서 적용할 수 있습니다. 또한 고객이 제공하는 부품에 대한 코팅 서비스를 제공하여 다양한 요구 사항을 충족할 수 있는 유연성을 보장합니다.

당사의 탄화규소 코팅 제품은 Si 에피택시, SiC 에피택시, MOCVD 시스템, RTP/RTA 공정, 에칭 공정, ICP/PSS 에칭 공정, 청색 및 녹색 LED, UV LED 및 원자외선을 포함한 다양한 LED 유형의 공정에 널리 사용됩니다. LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI 등의 장비에 적용되는 LED 등.

우리가 할 수 있는 원자로 부품:

실리콘 카바이드 코팅에는 몇 가지 고유한 장점이 있습니다.

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor 실리콘 카바이드 코팅 매개변수

CVD SiC 코팅의 기본 물리적 특성
재산	일반적인 값
결정 구조	FCC β상 다결정, 주로 (111) 방향
SiC 코팅 밀도	3.21g/cm³
SiC 코팅경도	비커스 경도 2500(500g 하중)
입자 크기	2~10μm
화학적 순도	99.99995%
열용량	640J·kg^-1·케이^-1
승화 온도	2700℃
굴곡강도	415MPa RT 4점
영률	430 Gpa 4pt 벤드, 1300℃
열전도율	300W·m^-1·케이^-1
열팽창(CTE)	4.5×10-6K^-1

CVD SIC 필름 결정 구조

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

실리콘 카바이드 코팅 Epi 서셉터 SiC 코팅 웨이퍼 캐리어 MOCVD용 SiC 코팅 새틀라이트 커버 CVD SiC 코팅 웨이퍼 Epi 서셉터 CVD SiC 코팅 발열체 Aixtron 위성 웨이퍼 캐리어 SiC 코팅 Epi 수신기 SiC 코팅 반달 흑연 부품

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MOCVD 용 SIC 코팅 위성 커버

MoCVD에 대한 SIC 코팅 위성 커버는 매우 높은 온도 저항, 우수한 차단 저항성 및 미결제 산화 저항으로 인해 웨이퍼의 고품질 에피 택셜 성장을 보장하는 데 상호 대체 할 수없는 역할을합니다.

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견고한 SIC 디스크 모양의 샤워 헤드

Vetek Semiconductor는 중국의 주요 반도체 장비 제조업체이며 견고한 SIC 디스크 모양의 샤워 헤드의 전문 제조업체 및 공급 업체입니다. 우리의 디스크 모양 샤워 헤드는 반응 가스의 균일 한 분포를 보장하기 위해 CVD 공정과 같은 박막 증착 생산에 널리 사용되며 CVD 용광로의 핵심 구성 요소 중 하나입니다.

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CVD SIC 코팅 웨이퍼 배럴 홀더

CVD SIC 코팅 웨이퍼 배럴 홀더는 MOCVD 에피 택셜 성장 용광로에 널리 사용되는 에피 택셜 성장 용광로의 핵심 성분입니다. Vetek 반도체는 고도로 맞춤형 제품을 제공합니다. CVD SIC 코팅 웨이퍼 배럴 홀더의 요구 사항에 관계없이 당사에 문의하십시오.

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CVD SIC 코팅 배럴 감수기

Vetek 반도체 CVD SIC 코팅 배럴 감수자는 배럴 유형 에피 택셜 퍼니스의 핵심 구성 요소입니다. CVD SIC 코팅 배럴 감수자 감수자의 도움을 받아 에피 택셜 성장의 양과 품질이 크게 향상되었습니다. Vetek 반도체는 전문 제조업체이자 Sic Coated Barrel 감수자의 공급 업체이며 Sic Coated Barrel 감수자의 공급 업체입니다. 반도체는 반도체 산업에서 당신과 긴밀한 협력 관계를 구축하기를 기대합니다.

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CVD SIC 코팅 웨이퍼 EPI 감수기

Vetek 반도체 CVD SIC 코팅 웨이퍼 EPI 감수기는 SIC 에피 택시 성장에 없어서는 안될 구성 요소이며, 우수한 열 관리, 화학 저항 및 차원 안정성을 제공합니다. Vetek Semiconductor의 CVD SIC 코팅 웨이퍼 EPI 감수기를 선택하면 MOCVD 프로세스의 성능을 향상시켜 고품질 제품과 반도체 제조 작업의 효율성이 향상됩니다. 추가 문의를 환영합니다.

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CVD SIC 코팅 흑연 감수자

Vetek 반도체 CVD SIC 코팅 흑연 감수자는 에피 택셜 성장 및 웨이퍼 처리와 같은 반도체 산업에서 중요한 구성 요소 중 하나입니다. MOCVD 및 기타 장비에 사용되어 웨이퍼 및 기타 고정밀 재료의 가공 및 취급을 지원합니다. Vetek Semiconductor는 중국의 주요 SIC 코팅 흑연 감수체 및 TAC 코팅 흑연 감수자 생산 및 제조 기능을 보유하고 있으며 귀하의 상담을 기대합니다.

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중국의 전문가 실리콘 카바이드 코팅 제조업체 및 공급 업체로서 우리는 자체 공장을 가지고 있습니다. 해당 지역의 특정 요구를 충족시키기 위해 맞춤형 서비스가 필요하거나 중국에서 만든 고급 및 내구성 실리콘 카바이드 코팅을 구매하려면 메시지를 남길 수 있습니다.