실리콘 카바이드 코팅

VeTek Semiconductor는 초순수 탄화규소 코팅 제품 생산을 전문으로 하며, 이러한 코팅은 정제된 흑연, 세라믹 및 내화 금속 부품에 적용되도록 설계되었습니다.

당사의 고순도 코팅은 주로 반도체 및 전자 산업에 사용되는 것을 목표로 합니다. 이는 웨이퍼 캐리어, 서셉터 및 발열체를 위한 보호층 역할을 하며 MOCVD 및 EPI와 같은 공정에서 발생하는 부식성 및 반응성 환경으로부터 이들을 보호합니다. 이러한 프로세스는 웨이퍼 처리 및 장치 제조에 필수적입니다. 또한 당사의 코팅은 고진공, 반응성 및 산소 환경에 직면하는 진공로 및 샘플 가열 분야에 매우 적합합니다.

VeTek Semiconductor에서는 고급 기계 공장 기능을 갖춘 포괄적인 솔루션을 제공합니다. 이를 통해 흑연, 세라믹 또는 내화 금속을 사용하여 기본 구성 요소를 제조하고 SiC 또는 TaC 세라믹 코팅을 사내에서 적용할 수 있습니다. 또한 고객이 제공하는 부품에 대한 코팅 서비스를 제공하여 다양한 요구 사항을 충족할 수 있는 유연성을 보장합니다.

당사의 탄화규소 코팅 제품은 Si 에피택시, SiC 에피택시, MOCVD 시스템, RTP/RTA 공정, 에칭 공정, ICP/PSS 에칭 공정, 청색 및 녹색 LED, UV LED 및 원자외선을 포함한 다양한 LED 유형의 공정에 널리 사용됩니다. LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI 등의 장비에 적용되는 LED 등.

우리가 할 수 있는 원자로 부품:

실리콘 카바이드 코팅에는 몇 가지 고유한 장점이 있습니다.

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor 실리콘 카바이드 코팅 매개변수

CVD SiC 코팅의 기본 물리적 특성
재산	일반적인 값
결정 구조	FCC β상 다결정, 주로 (111) 방향
SiC 코팅 밀도	3.21g/cm³
SiC 코팅경도	비커스 경도 2500(500g 하중)
입자 크기	2~10μm
화학적 순도	99.99995%
열용량	640J·kg^-1·케이^-1
승화 온도	2700℃
굴곡강도	415MPa RT 4점
영률	430 Gpa 4pt 벤드, 1300℃
열전도율	300W·m^-1·케이^-1
열팽창(CTE)	4.5×10-6K^-1

CVD SIC 필름 결정 구조

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

실리콘 카바이드 코팅 Epi 서셉터 SiC 코팅 웨이퍼 캐리어 MOCVD용 SiC 코팅 새틀라이트 커버 CVD SiC 코팅 웨이퍼 Epi 서셉터 CVD SiC 코팅 발열체 Aixtron 위성 웨이퍼 캐리어 SiC 코팅 Epi 수신기 SiC 코팅 반달 흑연 부품

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간 에피 택셜 장의사

Vetek Semiconductor Gan Epitaxial Sperceptor는 중국의 주요 GAN 에피 택셜 감수자 공급 업체 및 제조업체로서 CVD 및 MOCVD와 같은 에피 택셜 장비를 지원하는 데 사용되는 GAN 에피 택셜 성장 공정을 위해 설계된 고정밀 감수자입니다. GAN 장치 (예 : 전력 전자 장치, RF 장치, LED 등)의 제조에서 Gan Epitaxial 감수기는 기판을 운반하고 고온 환경 하에서 GAN 박막의 고품질 증착을 달성합니다. 추가 문의를 환영합니다.

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SIC 코팅 웨이퍼 캐리어

중국의 주요 SIC 코팅 웨이퍼 캐리어 공급 업체 및 제조업체 인 Vetek Semiconductor의 SIC 코팅 웨이퍼 캐리어는 고품질 흑연 및 CVD SIC 코팅으로 만들어졌으며, 이는 초강성 안정성을 갖고 대부분의 에피 택셜 반응기에서 오랫동안 작동 할 수 있습니다. Vetek Semiconductor는 업계 최고의 처리 기능을 보유하고 있으며 SIC 코팅 웨이퍼 운송 업체에 대한 고객의 다양한 맞춤형 요구 사항을 충족 할 수 있습니다. Vetek 반도체는 당신과 장기적인 협력 관계를 구축하고 함께 성장하기를 기대합니다.

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SIC 코팅 흑연 MOCVD 히터

Vetek 반도체는 SIC 코팅 흑연 MOCVD 히터를 생성하며, 이는 MOCVD 공정의 핵심 구성 요소입니다. 고순도 흑연 기판에 기초하여, 표면은 고온 SIC 코팅으로 코팅되어 우수한 고온 안정성 및 부식 저항을 제공한다. Vetek Semiconductor의 SIC 코팅 흑연 MOCVD 히터는 고품질 및 고도로 맞춤형 제품 서비스를 통해 MOCVD 공정 안정성 및 박막 증착 품질을 보장하는 이상적인 선택입니다. Vetek 반도체는 파트너가되기를 기대합니다.

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실리콘 카바이드 코팅된 에피 서셉터

VeTek Semiconductor는 중국 SiC 코팅 제품의 선도적인 제조업체이자 공급업체입니다. VeTek Semiconductor의 탄화규소 코팅된 Epi 서셉터는 업계 최고 품질 수준을 보유하고 있으며 다양한 스타일의 에피택셜 성장로에 적합하며 고도로 맞춤화된 제품 서비스를 제공합니다. VeTek Semiconductor는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.

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SiC 코팅 단결정 실리콘 에피텍셜 트레이

SiC 코팅 단결정 실리콘 에피택셜 트레이는 단결정 실리콘 에피택셜 성장로의 중요한 액세서리로 오염을 최소화하고 안정적인 에피택셜 성장 환경을 보장합니다. VeTek Semiconductor의 SiC 코팅 단결정 실리콘 에피택셜 트레이는 매우 긴 서비스 수명을 가지며 다양한 맞춤 옵션을 제공합니다. VeTek Semiconductor는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.

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솔리드 SIC 웨이퍼 캐리어

Vetek 반도체의 견고한 SIC 웨이퍼 캐리어는 반도체 에피 택셜 프로세스에서 고온 및 부식 내성 환경을 위해 설계되었으며 고순도 요구 사항이 높은 모든 유형의 웨이퍼 제조 공정에 적합합니다. Vetek Semiconductor는 중국의 주요 웨이퍼 캐리어 공급 업체이며 반도체 산업에서 장기 파트너가되기를 기대합니다.

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중국의 전문가 실리콘 카바이드 코팅 제조업체 및 공급 업체로서 우리는 자체 공장을 가지고 있습니다. 해당 지역의 특정 요구를 충족시키기 위해 맞춤형 서비스가 필요하거나 중국에서 만든 고급 및 내구성 실리콘 카바이드 코팅을 구매하려면 메시지를 남길 수 있습니다.