단일 웨이퍼 EPI 흑연 장의사

설명:

단일 웨이퍼 EPI 흑연 감수자는 고 온도 안정성, 화학적 관성 및 열 전장 균일 성을 고려하여 고순도 흑연 기판 + 증기 증착 실리콘 카바이드 코팅 복합 구조를 사용하여 흑연 트레이, 흑연 고리 및 기타 액세서리 세트를 포함합니다. 대량 생산에서 고정밀 에피 택셜 시트의 핵심 베어링 구성 요소입니다.

재료 혁신 : 흑연 +SIC 코팅

석묵

● 초 고열 전도도 (> 130 w/m · k), 온도 제어 요구 사항에 대한 빠른 응답, 공정 안정성을 보장합니다.

● 낮은 열 팽창 계수 (CTE : 4.6 × 10 ° C), 고온 변형을 줄이고 서비스 수명을 연장시킵니다.

CVD SIC 코팅

● 부식 저항. H₂, HCl 및 Sih₄와 같은 반응 가스에 의한 공격에 저항합니다. 기본 물질의 휘발에 의해 에피 택셜 층의 오염을 피합니다.

● 표면 밀도: 코팅 다공성은 0.1%미만이며, 이는 흑연과 웨이퍼 사이의 접촉을 방지하고 탄소 불순물의 확산을 방지합니다.

● 고온 공차: 1600 ° C 이상의 환경에서 장기 안정적인 작업은 SIC 에피 택시의 고온 수요에 적응합니다.

열 필드 및 공기 흐름 최적화 설계

균일 한 열 방사선 구조

감수기 표면은 다중 열 반사 홈으로 설계되었으며 ASM 장치의 열 전계 제어 시스템은 ± 1.5 ° C (6 인치 웨이퍼, 8 인치 웨이퍼) 내의 온도 균일 성을 달성하여 에피 택셜 층 두께의 일관성과 균일 성을 보장합니다 (변동 <3%).

에어 스티어링 기술

에지 전환 구멍 및 경사지지 컬럼은 웨이퍼 표면에서 반응 가스의 층류 분포를 최적화하고 에디 전류로 인한 증착 속도의 차이를 줄이며 도핑 균일 성을 향상 시키도록 설계되었습니다.