SIC 코팅 된 행성 감수자

Sic 코팅 된 행성 감수자는실리콘 카바이드 (sic)이는 주로 금속 유기 화학 증기 증착 (MOCVD), 분자 빔 에피 택시 (MBE) 등과 같은 반도체 재료 증착 공정에 주로 사용됩니다. 주요 기능은 웨이퍼를 운반하고 회전하여 재배지 과정에서 재료 균일 성 및 열 전계 일관성을 보장하는 것입니다. 주요 기능은 웨이퍼를 운반하고 회전시켜 증착 중에 재료 균일 성 및 열 필드 일관성을 보장하는 것입니다.웨이퍼처리.

SIC 코팅 된 행성 감수자에 대한 핵심 응용 시나리오

MOCVD 에피 택셜 성장 과정

MOCVD 공정에서, SIC 코팅 된 행성 감수체는 주로 실리콘 (SI), 실리콘 카바이드 (SIC), 질화 갈륨 (GAN), 갈륨 비소 (GAA) 및 기타 물질의 웨이퍼를 운반하는 데 주로 사용된다.

● 기능적 요구 사항: 웨이퍼 표면에 증기-배출 된 재료의 균일 한 분포를 보장하고 필름 두께 및 조성의 균일 성을 향상시키기 위해 웨이퍼의 정확한 위치 및 동기 회전.

● 이점: SIC 코팅은 부식성이 매우 높으며 트리메틸 갈륨 (TMGA) 및 트리메틸 린듐 (TMIN)과 같은 고도로 반응성이 높은 금속 유기 전구체의 침식을 견딜 수있어 서비스 수명을 연장 할 수 있습니다.

실리콘 카바이드 (SIC) 전력 장치 제조

SIC 코팅 된 행성 감수체는 MOSFET, IGBT, SBD 및 기타 장치와 같은 SIC 전력 장치의 에피 택셜 성장에 널리 사용됩니다.

● 기능적 요구 사항: 고온 환경에서 안정적인 열 평등 플랫폼을 제공하여 에피 택셜 층 결정화 품질 및 결함 제어를 보장합니다.

● 이점: SIC 코팅은 고온 (> 1600 ° C)에 내성이 있으며 실리콘 카바이드 웨이퍼의 열 팽창 계수 (4.0 × 10^-6 k^-1)는 열 응력을 효과적으로 감소시키고 상피 층의 품질과 안정성을 향상시킵니다.

깊은 자외선 (DUV) 및 자외선 LED 에피 택셜 제조

SIC 코팅 된 행성 감수체는 질화 갈륨 (GAN) 및 알루미늄 갈륨 (알루미늄 갈륨)과 같은 물질의 에피 택셜 성장에 적합하며 UV-EDS 및 마이크로 LED의 제조에 널리 사용됩니다.

● 기능적 요구 사항: 파장 정확도와 장치 성능을 보장하기 위해 정확한 온도 제어 및 균일 한 공기 흐름 분포를 유지하십시오.

● 이점: 높은 열전도율과 산화 저항은 장기간 작동에 걸쳐 고온에서 우수한 안정성을 허용하여 LED 칩의 발광 효율과 일관성을 향상시키는 데 도움이됩니다.

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Veteksemicon SIC 코팅 된 행성 감수자는 고유 한 재료 특성과 기계적 설계를 통해 고온, 부식성 반도체 제조 환경에서 비교할 수없는 이점을 보여주었습니다. 그리고 우리의 주요 행성 감수체 제품은 SIC 코팅 행성 감수자입니다.알드 행성 감수자, TAC 코팅 행성 감수기등. 동시에 Veteksemicon은 반도체 산업에 맞춤형 제품 및 기술 서비스를 제공하기 위해 노력하고 있습니다. 우리는 진심으로 중국에서 장기적인 파트너가되기를 기대합니다.