SiC 코팅이 왜 그렇게 많은 주목을 받는가? - 베텍반도체

최근 몇 년 동안 전자 산업의 지속적인 개발과 함께3세대 반도체재료는 반도체 산업의 개발을위한 새로운 원동력이되었습니다. 3 세대 반도체 재료의 전형적인 대표자로서 SIC는 반도체 제조 분야, 특히열 필드물리적 및 화학적 특성으로 인해 재료.

그렇다면 SIC 코팅은 정확히 무엇입니까? 그리고 무엇입니까CVD SIC 코팅?

SiC는 높은 경도, 우수한 열전도도, 낮은 열팽창계수, 높은 내식성을 지닌 공유결합 화합물입니다. 열전도율은 120-170W/m·K에 도달할 수 있으며 전자 부품 방열에서 우수한 열전도율을 나타냅니다. 또한 탄화규소의 열팽창 계수는 4.0×10-6/K(300~800℃ 범위)에 불과해 고온 환경에서도 치수 안정성을 유지할 수 있어 열로 인한 변형이나 파손을 크게 줄일 수 있다. 스트레스. 탄화규소 코팅(Silicon Carbide Coating)이란 탄화규소를 물리적 또는 화학적 기상증착, 스프레이 등의 방법으로 부품의 표면에 제조한 코팅을 말한다.  

화학 기상 증착 (CVD)현재 기판 표면에서 SIC 코팅을 준비하는 주요 기술입니다. 주요 과정은 기체 상 반응물이 기판 표면에서 일련의 물리적 및 화학적 반응을 겪고, 마지막으로 CVD SIC 코팅이 기판 표면에 증착된다는 것이다.

CVD SiC 코팅의 Sem 데이터

실리콘 카바이드 코팅이 너무 강력하기 때문에 반도체 제조의 링크가 큰 역할을 했습니까? 대답은 에피 택시 프로덕션 액세서리입니다.

SIC 코팅은 재료 특성 측면에서 에피택셜 성장 공정과 매우 일치한다는 주요 이점을 가지고 있습니다. SIC 코팅의 중요한 역할과 이유는 다음과 같습니다.SIC 코팅 에피 택셜 감수기:

1. 높은 열전도율 및 고온 저항

에피택셜 성장 환경의 온도는 1000℃ 이상에 도달할 수 있습니다. SiC 코팅은 열 전도성이 매우 높아 열을 효과적으로 분산시키고 에피택셜 성장의 온도 균일성을 보장할 수 있습니다.

2. 화학적 안정성

SiC 코팅은 우수한 화학적 불활성을 가지며 부식성 가스 및 화학 물질에 의한 부식에 저항할 수 있어 에피택셜 성장 중에 반응물과 부정적 반응을 일으키지 않고 재료 표면의 무결성과 청결을 유지합니다.

3. 일치하는 격자 상수

에피택셜 성장에서 SiC 코팅은 결정 구조로 인해 다양한 에피택셜 재료와 잘 매칭될 수 있으며, 이는 격자 불일치를 크게 줄여 결정 결함을 줄이고 에피택셜 층의 품질과 성능을 향상시킬 수 있습니다.

4. 낮은 열 팽창 계수

SIC 코팅은 열 팽창 계수가 낮으며 일반적인 에피 택셜 재료와 비교적 가깝습니다. 이는 고온에서 열 팽창 계수의 차이로 인해베이스와 SIC 코팅 사이에 심각한 응력이 없으며 재료 껍질, 균열 또는 변형과 같은 문제를 피할 수 있음을 의미합니다.

5. 높은 경도와 내마모성

SiC 코팅은 경도가 매우 높기 때문에 에피택셜 베이스 표면에 코팅하면 내마모성이 크게 향상되고 서비스 수명이 연장되는 동시에 에피택셜 공정 중에 베이스의 기하학적 구조와 표면 평탄도가 손상되지 않도록 보장할 수 있습니다.

SiC 코팅의 단면 및 표면 이미지

에피텍셜 생산을 위한 액세서리일 뿐만 아니라,SiC 코팅은 이러한 분야에서도 상당한 이점을 가지고 있습니다.:

반도체 웨이퍼 캐리어：반도체 처리 중에 웨이퍼의 취급 및 처리에는 매우 높은 청결과 정밀도가 필요합니다. SIC 코팅은 종종 웨이퍼 캐리어, 브래킷 및 트레이에 사용됩니다.

웨이퍼 캐리어

예열 링：예열 고리는 Si 에피 택셜 기판 트레이의 외부 고리에 위치하며 교정 및 가열에 사용됩니다. 반응 챔버에 배치되며 웨이퍼에 직접 접촉하지 않습니다.

  예열 링

상단 반달 부분은 반응 챔버의 다른 액세서리의 캐리어입니다.SiC 에피택시 장치웨이퍼와 직접 접촉하지 않고 반응 챔버에 온도 제어 및 설치된 온도가 제어되고, 하반문 부분은 기본 회전을 구동하기 위해 가스를 도입하는 석영 튜브에 연결됩니다. 그것은 온도 제어이며, 반응 챔버에 설치되며 웨이퍼와 직접 접촉하지 않습니다.

상단 반달 부분

또한, 반도체 산업, 고전력 전자 튜브 게이트, 전압 조절기와 접촉하는 브러시, X- 선 및 중성자 용 흑연 단색, 다양한 흑연 기판 및 흑연 기판 및 흑화가있는 브러시가 녹는 도가니가 녹는다. 원자 흡수관 코팅 등 SiC 코팅이 점점 더 중요한 역할을 하고 있습니다.

왜 선택하십시오VeTek 반도체?

Vetek Semiconductor에서 우리의 제조 공정은 정밀 엔지니어링을 고급 재료와 결합하여 우수한 성능 및 내구성을 갖춘 SIC 코팅 제품을 생산합니다.SiC 코팅 웨이퍼 홀더그래서 코팅 EPI UndertakerUV LED EPI 주제, 실리콘 카바이드 세라믹 코팅그리고SIC 코팅 알드 감수기. 우리는 반도체 산업 및 기타 산업의 특정 요구를 충족시켜 고객에게 고품질 맞춤 SIC 코팅을 제공 할 수 있습니다.

문의사항이 있거나 추가 세부정보가 필요한 경우, 주저하지 마시고 연락주시기 바랍니다.

mob/whatsapp : +86-180 6922 0752

이메일: anny@veteksemi.com