실리콘 카바이드 코팅

VeTek Semiconductor는 초순수 탄화규소 코팅 제품 생산을 전문으로 하며, 이러한 코팅은 정제된 흑연, 세라믹 및 내화 금속 부품에 적용되도록 설계되었습니다.

당사의 고순도 코팅은 주로 반도체 및 전자 산업에 사용되는 것을 목표로 합니다. 이는 웨이퍼 캐리어, 서셉터 및 발열체를 위한 보호층 역할을 하며 MOCVD 및 EPI와 같은 공정에서 발생하는 부식성 및 반응성 환경으로부터 이들을 보호합니다. 이러한 프로세스는 웨이퍼 처리 및 장치 제조에 필수적입니다. 또한 당사의 코팅은 고진공, 반응성 및 산소 환경에 직면하는 진공로 및 샘플 가열 분야에 매우 적합합니다.

VeTek Semiconductor에서는 고급 기계 공장 기능을 갖춘 포괄적인 솔루션을 제공합니다. 이를 통해 흑연, 세라믹 또는 내화 금속을 사용하여 기본 구성 요소를 제조하고 SiC 또는 TaC 세라믹 코팅을 사내에서 적용할 수 있습니다. 또한 고객이 제공하는 부품에 대한 코팅 서비스를 제공하여 다양한 요구 사항을 충족할 수 있는 유연성을 보장합니다.

당사의 탄화규소 코팅 제품은 Si 에피택시, SiC 에피택시, MOCVD 시스템, RTP/RTA 공정, 에칭 공정, ICP/PSS 에칭 공정, 청색 및 녹색 LED, UV LED 및 원자외선을 포함한 다양한 LED 유형의 공정에 널리 사용됩니다. LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI 등의 장비에 적용되는 LED 등.

우리가 할 수 있는 원자로 부품:

실리콘 카바이드 코팅에는 몇 가지 고유한 장점이 있습니다.

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor 실리콘 카바이드 코팅 매개변수

CVD SiC 코팅의 기본 물리적 특성
재산	일반적인 값
결정 구조	FCC β상 다결정, 주로 (111) 방향
SiC 코팅 밀도	3.21g/cm³
SiC 코팅경도	비커스 경도 2500(500g 하중)
입자 크기	2~10μm
화학적 순도	99.99995%
열용량	640J·kg^-1·케이^-1
승화 온도	2700℃
굴곡강도	415MPa RT 4점
영률	430 Gpa 4pt 벤드, 1300℃
열전도율	300W·m^-1·케이^-1
열팽창(CTE)	4.5×10-6K^-1

CVD SIC 필름 결정 구조

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

실리콘 카바이드 코팅 Epi 서셉터 SiC 코팅 웨이퍼 캐리어 MOCVD용 SiC 코팅 새틀라이트 커버 CVD SiC 코팅 웨이퍼 Epi 서셉터 CVD SiC 코팅 발열체 Aixtron 위성 웨이퍼 캐리어 SiC 코팅 Epi 수신기 SiC 코팅 반달 흑연 부품

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LED 에피 택시 프로비던스

Vetek Semiconductor의 LED 에피 택시 감수자는 파란색 및 녹색 LED 에피 택셜 제조를 위해 설계되었습니다. 실리콘 카바이드 코팅과 SGL 흑연을 결합하고 경도가 높고 거칠기가 낮고 열 안정성이 우수하며 우수한 화학적 안정성이 있습니다. LED 에피 택시 감수자는 Vetek 반도체의 가장 뛰어난 제품 중 하나입니다. 우리는 귀하의 문의를 기대합니다.

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고순도 CVD SIC 원료

CVD에 의해 제조 된 고순도 CVD SIC 원료는 물리 증기 수송에 의한 실리콘 탄화물 결정 성장을위한 최고의 소스 재료이다. Vetek 반도체에 의해 공급되는 고순도 CVD SIC 원료의 밀도는 Si 및 C- 함유 가스의 자발적 연소에 의해 형성된 작은 입자의 것보다 높으며, 전용 소결 용광로가 필요하지 않으며 거의 일정한 증발 속도를 갖는다. 매우 고품질의 SIC 단결정을 키울 수 있습니다. 귀하의 문의를 기대합니다.

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Veeco LED EP

Vetek 반도체의 VEECO LED EPI 감수자는 적색 및 노란색 LED의 에피 택셜 성장을 위해 설계되었습니다. 고급 재료 및 CVD SIC 코팅 기술은 감수체의 열 안정성을 보장하여 성장 중 온도 필드를 균일하게 만들고 결정 결함을 줄이며 에피 택셜 웨이퍼의 품질과 일관성을 향상시킵니다. Veeco의 에피 택셜 성장 장비와 호환되며 생산 라인에 원활하게 통합 될 수 있습니다. 정확한 설계와 안정적인 성능은 효율성을 향상시키고 비용을 줄이는 데 도움이됩니다. 귀하의 문의를 기대합니다.

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CVD SIC 초점 링

Vetek Semiconductor는 CVD SIC 포커스 링의 주요 국내 제조업체이자 공급 업체로서 반도체 산업에 고성능, 고출성 제품 솔루션을 제공하는 데 전념합니다. Vetek 반도체의 CVD SIC 포커스 고리는 고급 화학 증기 증착 (CVD) 기술을 사용하고 고온 저항성, 내식성 및 열전도도를 가지며 반도체 리소그래피 공정에서 널리 사용됩니다. 귀하의 문의는 항상 환영합니다.

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Aixtron G5+ 천장 성분

Vetek 반도체는 우수한 처리 기능을 갖춘 많은 MoCVD 장비의 소모품 공급 업체가되었습니다. Aixtron G5+ Ceiling Component는 최신 제품 중 하나이며, 원래 Aixtron 구성 요소와 거의 동일하며 고객으로부터 좋은 피드백을 받았습니다. 그러한 제품이 필요한 경우 Vetek Semiconductor에 문의하십시오!

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