실리콘 카바이드 코팅

VeTek Semiconductor는 초순수 탄화규소 코팅 제품 생산을 전문으로 하며, 이러한 코팅은 정제된 흑연, 세라믹 및 내화 금속 부품에 적용되도록 설계되었습니다.

당사의 고순도 코팅은 주로 반도체 및 전자 산업에 사용되는 것을 목표로 합니다. 이는 웨이퍼 캐리어, 서셉터 및 발열체를 위한 보호층 역할을 하며 MOCVD 및 EPI와 같은 공정에서 발생하는 부식성 및 반응성 환경으로부터 이들을 보호합니다. 이러한 프로세스는 웨이퍼 처리 및 장치 제조에 필수적입니다. 또한 당사의 코팅은 고진공, 반응성 및 산소 환경에 직면하는 진공로 및 샘플 가열 분야에 매우 적합합니다.

VeTek Semiconductor에서는 고급 기계 공장 기능을 갖춘 포괄적인 솔루션을 제공합니다. 이를 통해 흑연, 세라믹 또는 내화 금속을 사용하여 기본 구성 요소를 제조하고 SiC 또는 TaC 세라믹 코팅을 사내에서 적용할 수 있습니다. 또한 고객이 제공하는 부품에 대한 코팅 서비스를 제공하여 다양한 요구 사항을 충족할 수 있는 유연성을 보장합니다.

당사의 탄화규소 코팅 제품은 Si 에피택시, SiC 에피택시, MOCVD 시스템, RTP/RTA 공정, 에칭 공정, ICP/PSS 에칭 공정, 청색 및 녹색 LED, UV LED 및 원자외선을 포함한 다양한 LED 유형의 공정에 널리 사용됩니다. LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI 등의 장비에 적용되는 LED 등.

우리가 할 수 있는 원자로 부품:

실리콘 카바이드 코팅에는 몇 가지 고유한 장점이 있습니다.

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor 실리콘 카바이드 코팅 매개변수

CVD SiC 코팅의 기본 물리적 특성
재산	일반적인 값
결정 구조	FCC β상 다결정, 주로 (111) 방향
SiC 코팅 밀도	3.21g/cm³
SiC 코팅경도	비커스 경도 2500(500g 하중)
입자 크기	2~10μm
화학적 순도	99.99995%
열용량	640J·kg^-1·케이^-1
승화 온도	2700℃
굴곡강도	415MPa RT 4점
영률	430 Gpa 4pt 벤드, 1300℃
열전도율	300W·m^-1·케이^-1
열팽창(CTE)	4.5×10-6K^-1

CVD SIC 필름 결정 구조

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

실리콘 카바이드 코팅 Epi 서셉터 SiC 코팅 웨이퍼 캐리어 MOCVD용 SiC 코팅 새틀라이트 커버 CVD SiC 코팅 웨이퍼 Epi 서셉터 CVD SiC 코팅 발열체 Aixtron 위성 웨이퍼 캐리어 SiC 코팅 Epi 수신기 SiC 코팅 반달 흑연 부품

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Veeco LED EP

Vetek 반도체의 VEECO LED EPI 감수자는 적색 및 노란색 LED의 에피 택셜 성장을 위해 설계되었습니다. 고급 재료 및 CVD SIC 코팅 기술은 감수체의 열 안정성을 보장하여 성장 중 온도 필드를 균일하게 만들고 결정 결함을 줄이며 에피 택셜 웨이퍼의 품질과 일관성을 향상시킵니다. Veeco의 에피 택셜 성장 장비와 호환되며 생산 라인에 원활하게 통합 될 수 있습니다. 정확한 설계와 안정적인 성능은 효율성을 향상시키고 비용을 줄이는 데 도움이됩니다. 귀하의 문의를 기대합니다.

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CVD SIC 초점 링

Vetek Semiconductor는 CVD SIC 포커스 링의 주요 국내 제조업체이자 공급 업체로서 반도체 산업에 고성능, 고출성 제품 솔루션을 제공하는 데 전념합니다. Vetek 반도체의 CVD SIC 포커스 고리는 고급 화학 증기 증착 (CVD) 기술을 사용하고 고온 저항성, 내식성 및 열전도도를 가지며 반도체 리소그래피 공정에서 널리 사용됩니다. 귀하의 문의는 항상 환영합니다.

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Aixtron G5+ 천장 성분

Vetek 반도체는 우수한 처리 기능을 갖춘 많은 MoCVD 장비의 소모품 공급 업체가되었습니다. Aixtron G5+ Ceiling Component는 최신 제품 중 하나이며, 원래 Aixtron 구성 요소와 거의 동일하며 고객으로부터 좋은 피드백을 받았습니다. 그러한 제품이 필요한 경우 Vetek Semiconductor에 문의하십시오!

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SIC 코팅 된 흑연 배럴 감수자

Vetek 반도체 SIC 코팅 흑연 배럴 감수자는 반도체 에피 택시 공정을 위해 설계된 고성능 웨이퍼 트레이로, 우수한 열전도율, 고온 및 화학 저항, 고급 표면 및 생산 효율을 향상시키기위한 맞춤형 옵션을 제공합니다. 추가 문의를 환영합니다.

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MoCVD 에피 택셜 웨이퍼가 제공합니다

Vetek 반도체는 오랫동안 반도체 에피 택셜 성장 산업에 종사 해 왔으며 MoCVD 에피 택셜 웨이퍼 감수체 제품에서 풍부한 경험과 프로세스 기술을 보유하고 있습니다. 오늘날 Vetek Semiconductor는 중국의 주요 MOCVD 에피 택셜 웨이퍼 감수자 제조업체 및 공급 업체가되었으며, 웨이퍼 감수자는 Gan Epitaxial Wafers 및 기타 제품의 제조에 중요한 역할을 해왔습니다.

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수직로 SiC 코팅 링

수직로 SiC 코팅 링은 수직로용으로 특별히 설계된 부품입니다. VeTek Semiconductor는 재료와 제조 공정 모두에서 최선을 다할 수 있습니다. VeTek Semiconductor는 중국 수직로 SiC 코팅 링의 선도적인 제조업체이자 공급업체로서 최고의 제품과 서비스를 제공할 수 있다고 확신합니다.

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중국의 전문가 실리콘 카바이드 코팅 제조업체 및 공급 업체로서 우리는 자체 공장을 가지고 있습니다. 해당 지역의 특정 요구를 충족시키기 위해 맞춤형 서비스가 필요하거나 중국에서 만든 고급 및 내구성 실리콘 카바이드 코팅을 구매하려면 메시지를 남길 수 있습니다.