실리콘 카바이드 코팅

VeTek Semiconductor는 초순수 탄화규소 코팅 제품 생산을 전문으로 하며, 이러한 코팅은 정제된 흑연, 세라믹 및 내화 금속 부품에 적용되도록 설계되었습니다.

당사의 고순도 코팅은 주로 반도체 및 전자 산업에 사용되는 것을 목표로 합니다. 이는 웨이퍼 캐리어, 서셉터 및 발열체를 위한 보호층 역할을 하며 MOCVD 및 EPI와 같은 공정에서 발생하는 부식성 및 반응성 환경으로부터 이들을 보호합니다. 이러한 프로세스는 웨이퍼 처리 및 장치 제조에 필수적입니다. 또한 당사의 코팅은 고진공, 반응성 및 산소 환경에 직면하는 진공로 및 샘플 가열 분야에 매우 적합합니다.

VeTek Semiconductor에서는 고급 기계 공장 기능을 갖춘 포괄적인 솔루션을 제공합니다. 이를 통해 흑연, 세라믹 또는 내화 금속을 사용하여 기본 구성 요소를 제조하고 SiC 또는 TaC 세라믹 코팅을 사내에서 적용할 수 있습니다. 또한 고객이 제공하는 부품에 대한 코팅 서비스를 제공하여 다양한 요구 사항을 충족할 수 있는 유연성을 보장합니다.

당사의 탄화규소 코팅 제품은 Si 에피택시, SiC 에피택시, MOCVD 시스템, RTP/RTA 공정, 에칭 공정, ICP/PSS 에칭 공정, 청색 및 녹색 LED, UV LED 및 원자외선을 포함한 다양한 LED 유형의 공정에 널리 사용됩니다. LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI 등의 장비에 적용되는 LED 등.

우리가 할 수 있는 원자로 부품:

실리콘 카바이드 코팅에는 몇 가지 고유한 장점이 있습니다.

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor 실리콘 카바이드 코팅 매개변수

CVD SiC 코팅의 기본 물리적 특성
재산	일반적인 값
결정 구조	FCC β상 다결정, 주로 (111) 방향
SiC 코팅 밀도	3.21g/cm³
SiC 코팅경도	비커스 경도 2500(500g 하중)
입자 크기	2~10μm
화학적 순도	99.99995%
열용량	640J·kg^-1·케이^-1
승화 온도	2700℃
굴곡강도	415MPa RT 4점
영률	430 Gpa 4pt 벤드, 1300℃
열전도율	300W·m^-1·케이^-1
열팽창(CTE)	4.5×10-6K^-1

CVD SIC 필름 결정 구조

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

실리콘 카바이드 코팅 Epi 서셉터 SiC 코팅 웨이퍼 캐리어 MOCVD용 SiC 코팅 새틀라이트 커버 CVD SiC 코팅 웨이퍼 Epi 서셉터 CVD SiC 코팅 발열체 Aixtron 위성 웨이퍼 캐리어 SiC 코팅 Epi 수신기 SiC 코팅 반달 흑연 부품

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CVD SIC 코팅 가열 요소

CVD SIC 코팅 가열 요소는 PVD 용광로에서 가열 물질에서 핵심 역할을한다 (증발 증착). Vetek 반도체는 중국의 주요 CVD SIC 코팅 난방 요소 제조업체입니다. 우리는 고급 CVD 코팅 기능을 가지고 있으며 맞춤형 CVD SIC 코팅 제품을 제공 할 수 있습니다. Vetek 반도체는 SIC 코팅 난방 요소의 파트너가되기를 기대합니다.

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흑연 회전 지원

고순도 흑연 회전 감수자는 질화 갈륨의 에피 택셜 성장 (MOCVD 공정)의 에피 택셜 성장에 중요한 역할을합니다. Vetek 반도체는 중국의 주요 흑연 회전 감수기 제조업체 및 공급 업체입니다. 우리는 반도체 산업의 요구 사항을 완전히 충족하는 고급 흑연 재료를 기반으로 한 많은 고급 흑연 제품을 개발했습니다. Vetek 반도체는 흑연 감수자 회전에서 파트너가되기를 기대합니다.

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고순도 흑연 고리

고순도 흑연 고리는 GAN 에피 택셜 성장 공정에 적합합니다. 그들의 우수한 안정성과 뛰어난 성능으로 인해 널리 사용되었습니다. Vetek 반도체는 GAN 에피 택시 산업이 계속 발전하도록 돕기 위해 세계 최고의 고순도 흑연 링을 생산하고 제조합니다. Veteksemi는 중국의 파트너가되기를 기대합니다.

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CVD SIC 팬케이크 감수자

중국의 CVD SIC Pancake 감수자 제품의 주요 제조업체 및 혁신가로서. Vetek 반도체 CVD SIC 팬케이크 감수자는 반도체 장비를 위해 설계된 디스크 형 성분으로서 고온 에피 택셜 증착 동안 얇은 반도체 웨이퍼를 지원하는 핵심 요소입니다. Vetek Semiconductor는 고품질 SIC 팬케이크 감수체 제품을 제공하고 경쟁력있는 가격으로 중국의 장기 파트너가되기 위해 노력하고 있습니다.

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MOCVD용 SiC 코팅 흑연 서셉터

VeTek Semiconductor는 중국 MOCVD용 SiC 코팅 흑연 서셉터의 선도적인 제조업체이자 공급업체로, 반도체 산업용 SiC 코팅 응용 분야 및 에피택셜 반도체 제품을 전문으로 합니다. 당사의 MOCVD SiC 코팅 흑연 서셉터는 유럽과 미국 전역의 시장에 경쟁력 있는 품질과 가격을 제공합니다. 우리는 반도체 제조 발전에 있어 장기적으로 신뢰할 수 있는 파트너가 되기 위해 최선을 다하고 있습니다.

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CVD SIC 코팅 에피 택시 감수기

Vetek 반도체의 CVD SIC 코팅 에피 택시 감수기는 반도체 웨이퍼 처리 및 처리를 위해 설계된 정밀 엔지니어링 도구입니다. 이 SIC 코팅 에피 택시 감수자는 박막, 에피 층 및 기타 코팅의 성장을 촉진하는 데 중요한 역할을하며 온도 및 재료 특성을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 추가 문의를 환영합니다.

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중국의 전문가 실리콘 카바이드 코팅 제조업체 및 공급 업체로서 우리는 자체 공장을 가지고 있습니다. 해당 지역의 특정 요구를 충족시키기 위해 맞춤형 서비스가 필요하거나 중국에서 만든 고급 및 내구성 실리콘 카바이드 코팅을 구매하려면 메시지를 남길 수 있습니다.