CVD TAC 코팅이란? - 베텍세미

우리 모두가 알고 있듯이탄탈륨 카바이드(TaC)최대 3880 ° C의 용융점이 있습니다높은 기계적 강도, 경도, 열 충격 저항; 고온에서 암모니아, 수소, 실리콘 함유 증기에 대한 좋은 화학적 불활성 및 열 안정성.

미세한 단면에 탄탈륨 카바이드 코팅

CVD TAC 코팅, 화학 증기 증착 (CVD)탄탈 룸 카바이드 (TAC) 코팅,는 기판에 고밀도 및 내구성 코팅을 형성하는 과정이다 (일반적으로 흑연). 이 방법은 고온에서 기판 표면에 TAC를 증착하여 우수한 열 안정성 및 화학적 저항으로 코팅을 초래합니다.

CVD TaC 코팅의 주요 장점은 다음과 같습니다.

● 매우 높은 열 안정성: 탄탈륨 카바이드 코팅은 2200°C 이상의 온도에도 견딜 수 있습니다.

●  내화학성: CVD TAC 코팅은 수소, 암모니아 및 실리콘 증기와 같은 가혹한 화학 물질에 효과적으로 저항 할 수 있습니다.

● 강한 접착력: TaC코팅으로 박리현상 없이 오랫동안 보호해줍니다.

●  고순도: 불순물을 최소화하여 반도체 용도에 적합합니다.

이 코팅은 반도체 제조 및 고온 산업 공정과 같은 극한 조건에 대한 내구성이 높은 환경에 특히 적합합니다.

산업 생산에서 흑연(탄소-탄소 복합재) TaC 코팅이 코팅된 소재는 기존의 고순도 흑연, pBN 코팅, SiC 코팅 부품 등을 대체할 가능성이 매우 높다. 또한, 항공우주 분야에서는 TaC가 고온 항산화제로 활용될 가능성이 크다. 및 절삭 방지 코팅이 있으며 광범위한 적용 전망을 가지고 있습니다. 그러나 흑연 표면에 조밀하고 균일하며 박편이 발생하지 않는 TaC 코팅을 제조하고 산업적 대량 생산을 촉진하는 데는 여전히 많은 과제가 남아 있습니다.

이 과정에서 코팅의 보호 메커니즘을 탐구하고 생산 공정을 혁신하며 해외 최고 수준과의 경쟁이 3세대에게 중요합니다.반도체 결정 성장 및 에피 택시.

Vetek Semiconductor는 CVD Tantalum Carbide Coating 제품의 전문 중국 제조업체이며 TAC 코팅 순도는 5ppm 미만이며 고객 요구 사항을 충족 할 수 있습니다. Veteksemi 주요 CVD TAC 코팅 제품에는 포함됩니다 CVD TaC 코팅 도가니, CVD TAC 코팅 웨이퍼 캐리어, CVD TAC 코팅 캐리어, CVD TaC 코팅 커버,,,  CVD TaC 코팅링. VeTek Semiconductor는 반도체 산업의 다양한 코팅 제품에 대한 고급 솔루션을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. VeTek Semiconductor는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 진심으로 희망합니다.

문의사항이 있거나 추가 세부정보가 필요한 경우, 주저하지 마시고 연락주시기 바랍니다.

마피아/WhatsAPP: +86-180 6922 0752

이메일: anny@veteksemi.com