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열분해 탄소(PyC) 코팅 흑연 링
  • 열분해 탄소(PyC) 코팅 흑연 링열분해 탄소(PyC) 코팅 흑연 링

열분해 탄소(PyC) 코팅 흑연 링

SiC PVT 결정 성장 설정에서 흑연 부품은 장기간 매우 높은 온도에서 작동됩니다. VeTek의 PyC 코팅 흑연 링은 이러한 종류의 임무를 위해 제작되었습니다. 열분해 탄소층은 CVD를 통해 고순도 흑연 위에 증착됩니다. 이를 통해 부품의 표면 안정성이 향상되고 작동 중에 떨어져 나가는 입자가 줄어듭니다. 일반적으로 증기 흐름과 용광로 내부의 열 확산 방식을 관리하는 데 도움이 되도록 열장 영역에 배치합니다. 또한 코팅은 2200°C 이상으로 올라가면 흑연 승화 속도를 늦춰 전체 부품의 수명을 연장시킵니다.
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제품 설명

1. 제품특징

● 조밀하고 기공이 없는 PyC 코팅: 결정 성장 중 가스 투과성과 입자 오염을 줄이는 균일하고 조밀한 층을 형성합니다.
● 고온을 잘 처리합니다. 2200°C 이상의 진공 또는 불활성 가스에서 구조적으로 견고한 상태를 유지합니다.
● 매우 높은 순도: 정제된 흑연으로 만들어짐여기에 고순도 CVD를 추가하여 불순물 수준을 매우 낮게 유지합니다.
● 우수한 열충격 저항성: 열팽창이 낮다는 것은 균열 없이 급속한 가열 및 냉각이 필요함을 의미합니다.
● 내식성 향상: 흑연 기판을 화학적 공격 및 고온 승화로부터 안전하게 유지합니다.손상.
● 더 긴 서비스 수명: 코팅되지 않은 흑연 링보다 훨씬 오래 지속되므로 퍼니스를 자주 서비스할 필요가 없습니다.

500X 현미경 하에서 표면이 손상되지 않고 밀봉된 열분해 탄소 코팅 효과.


2. 기술 사양
목
 단위
 일반적인 값
결정 구조
 —
 육각형
조정
 —
 001 방향을 따라 지향되거나 지향되지 않음
벌크 밀도
 g/cm3
 ~2.26
미세구조
 —
 다결정/다층 그래핀
경도
 평점
 1.4
탄성률
 평점
 11
일반적인 코팅 두께
 μm
 20~110
표면 거칠기
 μm
 1.5
제품 순도
 ppm
 5ppm 이하


3. 응용

PyC 코팅 흑연 링은 다음 분야에서 널리 사용됩니다.

● SiC 단결정 성장로(PVT 방식)
● 3세대 반도체용 열전계 시스템
● 고온 결정 성장 절연 구조
● 증기 흐름 유도 시스템
● 고온 진공로 부품반도체 열 관리 시스템


4. VeTek 반도체 제조 역량

VeTek Semiconductor는 고급 코팅 재료 및 GR에 중점을 두고 있습니다.SiC 및 기타 반도체 응용 분야용 아파이트 열장 부품입니다. 우리가 하는 일은 다음과 같습니다:

● 고순도 흑연 정제
● 정밀 CNC 가공
● 고급 CVD PyC 코팅
● 대형 열전계 부품 제조
● 맞춤형 열장 솔루션
● 엄격한 반도체 등급 품질 관리 당사는 또한 고객의 도면이나 용광로 구성을 기반으로 맞춤형 PyC 코팅 흑연 부품을 제작합니다.




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