CVD TAC 코팅

CVD TAC 코팅 (화학 기상 증착 탄탈 룸 카바이드 코팅)은 주로 탄탈 룸 탄화물 (TAC)로 구성된 코팅 생성물입니다. TAC 코팅은 매우 높은 경도, 내마모성 및 고온 저항을 가지므로 주요 장비 구성 요소를 보호하고 공정 신뢰성을 향상시키는 데 이상적인 선택입니다. 반도체 처리에서 필수 물질입니다.

CVD TAC 코팅 제품은 일반적으로 반응 챔버, 웨이퍼 캐리어 및 에칭 장비에 사용되며 다음과 같은 주요 역할을 수행합니다.

CVD TAC 코팅은 종종 기판, 벽 패널 및 가열 요소와 같은 반응 챔버의 내부 성분에 사용됩니다. 우수한 고온 저항과 결합하여 고온, 부식성 가스 및 플라즈마의 침식에 효과적으로 저항하여 장비의 서비스 수명을 효과적으로 확장하고 공정의 안정성과 제품 생산 순도를 보장합니다.

또한, TaC 코팅 웨이퍼 캐리어(석영 보트, 고정 장치 등)도 내열성과 화학적 부식 저항성이 뛰어납니다. 웨이퍼 캐리어는 고온에서 웨이퍼를 안정적으로 지지하고, 웨이퍼 오염과 변형을 방지하여 전반적인 칩 수율을 향상시킬 수 있습니다.

또한, Vetek 반도체의 TAC 코팅은 플라즈마 에칭, 화학 증기 증착 시스템 등과 같은 다양한 에칭 및 박막 증착 장비에 널리 사용됩니다. 따라서 프로세스의 정확성과 반복성을 보장합니다.

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