CVD TAC 코팅 도가니

TAC 코팅 회전 감수자는 CVD 및 MBE와 같은 고온 증착 공정에서 중요한 역할을하며 반도체 제조에서 웨이퍼 처리를위한 중요한 구성 요소입니다. 그들 중에서,TAC 코팅고온 저항, 부식성 및 화학적 안정성이 우수하여 웨이퍼 처리 중에 높은 정밀도 및 고품질을 보장합니다.

CVD TAC 코팅 Crucible은 일반적으로 TAC 코팅 및석묵기판. 그 중에서도 TAC는 최대 3880 ° C의 융점을 갖는 높은 융점 세라믹 물질입니다. 그것은 매우 높은 경도 (2000 HV의 Vickers 경도), 화학적 차단 저항성 및 강한 산화 저항을 가지고 있습니다. 따라서, TAC 코팅은 반도체 처리 기술에서 우수한 고온 저항성 물질이다.

흑연 기질은 우수한 열전도율 (열 전도도는 약 21 w/m · k) 및 우수한 기계적 안정성을 갖는다. 이 특성은 흑연이 이상적인 코팅이되는 것을 결정합니다기판.

CVD TAC 코팅 Crucible은 주로 다음 반도체 처리 기술에 사용됩니다.:

웨이퍼 제조: Vetek 반도체 CVD TAC 코팅 Coating Crucible은 우수한 고온 저항 (최대 3880 ° C의 융점)과 부식성을 가지므로 고온 기화 (CVD) 및 에피축 성장과 같은 주요 웨이퍼 제조 공정에서 종종 사용됩니다. 초고 온도 환경에서 제품의 우수한 구조적 안정성과 결합하여 장비가 매우 가혹한 조건에서 오랫동안 안정적으로 작동 할 수 있도록하여 웨이퍼의 생산 효율과 품질을 효과적으로 향상시킵니다.

에피 택셜 성장 과정:와 같은 에피 택셜 프로세스에서화학 기상 증착 (CVD)및 분자 빔 에피 택시 (MBE), CVD TAC 코팅 Crucible은 운반에 중요한 역할을한다. TAC 코팅은 극한 온도와 부식성 대기 하에서 재료의 높은 순도를 유지할뿐만 아니라 재료에 대한 반응물의 오염과 반응기의 부식을 효과적으로 방지하여 생산 공정의 정확성 및 제품 일관성을 보장합니다.

Vetek Semiconductor는 중국의 주요 CVD TAC 코팅 도가니 제조업체 및 리더로서 장비 및 공정 요구 사항에 따라 맞춤형 제품 및 기술 서비스를 제공 할 수 있습니다. 우리는 진심으로 중국에서 당신의 장기 파트너가되기를 바랍니다.

현미경 단면에서 탄탈 룸 탄화물 (TAC) 코팅：

TAC 코팅의 물리적 특성：

반도체 CVD TAC 코팅 도가니 상점 ：