반도체 세라믹 성분에 어떤 재료가 사용됩니까?

알루미나 세라믹 (Alloot) ‌

Alumina Ceramics는 세라믹 구성 요소를 제조하기위한 "작업"입니다. 그들은 우수한 기계적 특성, 초고 융점 및 경도, 부식성, 강한 화학적 안정성, 높은 저항력 및 우수한 전기 단열재를 나타냅니다. 그들은 일반적으로 연마판, 진공 척, 세라믹 암 및 유사한 부분을 제조하는 데 사용됩니다.

‌ 알루미늄 질화물 세라믹 (ALN)

알루미늄 질화물 세라믹은 높은 열전도율, 실리콘과 일치하는 열 팽창 계수, 유전 상수 및 손실이 낮습니다. 높은 융점, 경도, 열전도도 및 단열과 같은 장점으로 주로 열차 가시화 기판, 세라믹 노즐 및 정전기 척에 사용됩니다.

‌yttria 도자기 (y₂o₃)

Yttria Ceramics는 높은 융점, 우수한 화학적 및 광화학 안정성, 낮은 포논 에너지, 높은 열전도율 및 우수한 투명성을 자랑합니다. 반도체 산업에서는 종종 알루미나 세라믹과 결합됩니다. 예를 들어 YTTRIA 코팅은 세라믹 창을 생산하기 위해 알루미나 세라믹에 적용됩니다.

Silicon 질화물 세라믹 (si₃n₄) ‌

실리콘 질화물 세라믹은 높은 융점, 뛰어난 경도, 화학적 안정성, 낮은 열 팽창 계수, 높은 열전도율 및 강한 열 충격 저항을 특징으로합니다. 그들은 1200 ° C 미만의 뛰어난 충격 저항과 강도를 유지하므로 세라믹 기판, 하중 기반 후크, 위치 핀 및 세라믹 튜브에 이상적입니다.

Silicon 카바이드 세라믹 (SIC) ‌

실리콘 카바이드 세라믹, 속성의 다이아몬드와 비슷한 것은 가벼운, 초 강성 및 고강도 재료입니다. 탁월한 포괄적 인 성능, 내마모성 및 부식 저항으로 밸브 시트, 슬라이딩 베어링, 버너, 노즐 및 열 교환기에는 널리 사용됩니다.

‌zirconia ceramics (Zro₂) ‌

지르코니아 세라믹은 높은 기계적 강도, 내열성, 산/알칼리 저항성 및 탁월한 단열재를 제공합니다. 지르코니아 함량에 따라 다음으로 분류됩니다.

• 정밀 도자기 (통합 회로 기판 및 고주파 단열 재료에 사용되는 99.9%를 초과하는 콘텐츠).
• 일반 세라믹 (일반 목적 세라믹 제품의 경우).

의 구조적 특성반도체 세라믹 구성 요소

세라믹스 ense

조밀 한 세라믹은 반도체 산업에서 널리 사용됩니다. 이들은 기공을 최소화함으로써 밀도를 달성하고 반응 소결, 압력이없는 소결, 액체 상한 소결, 뜨거운 프레스 및 뜨거운 등방성 프레스와 같은 방법을 통해 제조된다.

Oporous Ceramics

조밀 한 세라믹과 달리 다공성 세라믹에는 통제 된 양의 공극이 포함되어 있습니다. 그것들은 기공 크기로 미세 다공성, 메조 포러스 및 거대 다공성 도자기로 분류됩니다. 벌크 밀도, 경량 구조, 넓은 표면적, 효과적인 여과/열 절연/음향 댐핑 특성 및 안정적인 화학/물리 성능을 사용하면 반도체 장비의 다양한 구성 요소를 제조하는 데 사용됩니다.